干冰微粒喷射清洗技术

简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒污染物和有机污染物的清洗机理。在此基础上,介绍了自主研发的一台基于干冰微粒喷射技术的半导体清洗设备,对该设备的结构和各部分的作用作了简要介绍,论述了使用该设备对硅片进行清洗的工艺流程。通过对比实验发现,采用压强为8 MPa、纯度为5N的CO2作为气源,喷嘴前压强设置为11 MPa,使用该设备可以达到很好的清洗效果。     

干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响

采用干冰微粒喷射法对ITO玻璃表面进行了清洁处理,并与浸泡式低频超声波湿法清洗的ITO玻璃进行了对比测量,结果表明:干冰微粒喷射法处理后,ITO薄膜表面的接触角减小,表面污染物颗粒数量下降,ITO薄膜表面上碳的含量较之未处理时降低了48.5%,锡、铟的含量分别增加了533.33%和267.57%,说明干冰微粒法对ITO薄膜表面的有机污染物和杂质颗粒的清洗效果超过了超声波湿法。此后,制备了干冰微粒法清洗ITO阳极的有机电致发光器件(OLED)器件,以及结构相同但ITO电极是用超声波湿法清洗的OLED器件,对这两种器件的参数进行了测量,其结果表明:干冰微粒喷射法清洗器件的启亮电压、亮度和电流效率与超声波湿法清洗的相比较均有所改善。     

干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究

对干冰微粒喷射法和低频超声波法清洗ITO玻璃的效果进行了比较研究.用接触角测量仪、SEM和XPS测量了清洗前后ITO玻璃表面的浸润性、污染颗粒数量和元素成分及含量等洁净度指标.研究表明,与超声波法清洗相比,干冰微粒喷射法清洗可以使ITO玻璃表面的接触角更小,有机碳含量减少40.5%,污染颗粒数量也显著减少,是一种清洗ITO玻璃的有效方法.     

基于干冰清洗的核电厂电缆除霉测试与分析

针对核电厂运行电缆出现长霉现象,利用干冰清洗这一新型、环保、高效的清洗方法对核电厂电缆进行清洗与检测,对清洗结果和检测数据进行深入分析与总结,最后提出了利用干冰清洗电缆时效率最高的相关参数.     

半导体IC清洗技术

介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法,并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。     

兆声清洗法和离心喷射清洗法的比较

用基于改进的RCA清洗液结合兆声清洗法和离心喷射法清洗抛光的硅片,干燥后用激光扫描法测试抛光硅片表面颗粒.结果表明,改进的RCA清洗液结合兆声的清洗方法对于去除硅片表面的微小颗粒具有更高的效率.     

组装工艺中的等离子清洗技术

等离子清洗在当今组装工艺中是不可欠缺的技术。本文介绍清洗技术在组装工艺中的作用和具有两种等离子方式的SPC——100的系统及有效性，同时根据其应用的广泛性而选择介绍应用例。     

二氧化碳雪清洗技术

本文要解答的问题是：1，二氧化碳雪清洗剂是怎样形成的?它与其它二氧化碳清洗剂有何不同?2，二氧化碳雪的清洗机理是怎样的?3，二氧化碳雪清洗剂有那些实际应用?4，使用二氧化碳雪清洗剂时应该注意那些问题?     

金属清洗替代技术(七)

金属清洗手册是瑞典的环境研究院(IVL)、金属研究院、表面化学研究院共同编写的一本学术专著，在编写过程中得到瑞典环保局和瑞典国家工业技术发展基金的资助。此书系统地总结了瑞典1996年之前在清洗行业全部淘汰ODS清洗剂以及二氯甲烷等含氯清洗剂的替代技术和经验。瑞典专家在参加中国洗净工程技术合作协会2005年11月在北京举办的国际论坛和清洗设备展览会时，把此书赠送给我们。我们认为此书不仅对我国的金属行业，而且对整个清洗行业淘汰ODS的工作都有借鉴意义，因此将其主要内容以连载的形式在“国际”栏目上发表，以飨读者。     

集成电路组装后的清洗与免清洗技术

从超声波清洗用清洗溶剂,特别是替代消耗臭氧层物质的氯化氟代碳（CFC）清洗溶剂等方面介绍了集成电路的清洗技术;还介绍了集成电路的免清洗工艺技术, 使用免清洗工艺技术对各道关键工序的控制及采用免清洗技术的主要优势。     

浅析LMDS宽带无线接入技术

简要介绍LMDS技术特点、频段使用、系统组成及市场应用状况。     

浅谈多路微波分配系统(MMDS)

本文阐述多路微波分配系统的频段、优缺点等 ,并给出其收发信系统的框图。然后 ,指出实用中需要考虑的几个问题。     

浅谈IPTV

IPIV即网络电视,又可称为交互电视或宽带电视。它建立在宽带网络用户基础之上,通过采用因特网协议的IP宽带网络向用户提供多种服务,用户可通过“计算机”或“普通电视机 机顶盒”两种方式使用IPTV业务。     

GPRS系统简介

对通用分组无线业务（GPRS）系统结构及其所能够提供的业务进行描述,同时也对GPRS网与现有GSM网的关系进行了说明。     

新一代非易失性存储器——NVSRAM的原理和应用

本文介绍了针对高端存储应用的最新非易失性存储器NVSRAM.可以根据应用要求以及功能需要选择最佳的非易失性存储器架构.     

专业术语英汉对照

专业术语英汉对照电视照明名词（续）──马增令编集Ｍ０９ｍｅｔｅｒ－ｃａｎｄｌｅ－ｓｅｃｏｎｄ米烛秒（曝光量单位）１０ｍｉｒｒｏｒｂａｌｌ转球反光灯１１ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃｌｉｇｈｔ单色光１２ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃｒａｄｉａｔｉｏｎ单色光辐射...     

浅谈网络银行

针对当前网络银行出现部分银行被收购甚至破产以及网络银行偷盗严重等现象,分析了网络银行发展过程中存在的忽视业内竞争、网络安全性差、金融风险大等方面问题,并且介绍了解决这些问题的方法.     

WATM 技术简介

近年来,ＡＴＭ和无线通信两种技术得到了极为快速的关系。无线ＡＴＭ（ＷＡＴＭ）作为ＡＴＭ网络的无线延伸的一种解决方案吸收了学术界和工业界广泛的兴趣。重点总结ＷＡＴＭ系统的结构,并分析ＡＷＴＭ的协议模型,对ＷＡＴＭ协议集的每人个组成部分进行逐一探讨。最后总结目前国外有关ＷＡＴＭ的研究课题组及其研究的进展情况。     

嵌人式系统综述

介绍了嵌入式系统的概念,对嵌入式系统的结构、特点和发展趋势做了简单的概述.