黏度标准物质研制

为满足液体黏度测量仪器量值溯源、黏度测量质量控制对黏度标准物质的需求,研制具有不同黏度水平的系列黏度标准物质.以精制甲基硅油为原料,采用哈克旋转流变仪、标准毛细管黏度计和基准恒温槽测试该系列标准物质的流动性、黏度、黏度-温度变化率以及表面张力,并对其均匀性、稳定性和不确定度进行检验和评定.实验结果表明:该系列黏度标准物质均匀性和稳定性良好,在(20±5)℃下可保存一年,相对扩展不确定度为0.24％～0.61％(k=2).通过与国家一级黏度标准物质量值比对,其定值结果的准确性达到国家二级标准物质的技术指标要求.该系列标准物质可用于黏度测试过程中的方法验证和检测结果质量控制等.     

表面和亚表面特性对多层膜光栅成像对比度的影响

基于Si/SiO2材料对制备出名义节距为50 nm的多层膜光栅,重点分析了多层膜光栅研磨抛光过程中的亚表面损伤和湿法刻蚀均匀性问题。并利用原子力显微镜（AFM）和透射电子显微镜（TEM）对多层膜的截面粗糙度和刻蚀光栅结果进行了测量和分析。测量结果显示:多层膜光栅制备过程中的截面粗糙度降低和刻蚀均匀性的提高,有助于TEM测量获得均一的高成像对比度多层膜光栅图像。     

黏度标准物质研制

为满足液体黏度测量仪器量值溯源、黏度测量质量控制对黏度标准物质的需求,研制具有不同黏度水平的系列黏度标准物质。以精制甲基硅油为原料,采用哈克旋转流变仪、标准毛细管黏度计和基准恒温槽测试该系列标准物质的流动性、黏度、黏度-温度变化率以及表面张力,并对其均匀性、稳定性和不确定度进行检验和评定。实验结果表明:该系列黏度标准物质均匀性和稳定性良好,在(20±5)℃下可保存一年,相对扩展不确定度为0.24%~0.61%(k=2)。通过与国家一级黏度标准物质量值比对,其定值结果的准确性达到国家二级标准物质的技术指标要求。该系列标准物质可用于黏度测试过程中的方法验证和检测结果质量控制等。     

纳米计量标准的发展现状与趋势

纳米计量技术能够为超精密加工技术提供纳米级位移和三维形貌,在纳米技术中扮演着重要角色.纳米计量标准包括台阶、膜厚、光栅及线宽等,用来校准现场条件下的纳米测量仪器.为了解纳米计量标准的发展现状与趋势,分析了台阶、膜厚、光栅以及线宽等纳米计量标准的国内外现状、国际比对情况和发展趋势,对实现解决测量仪器的溯源性,建立国际单位制下的纳米计量体系做出了相应工作.随着一个技术节点到下一个技术节点,为保证测量仪器的准确度,需要开展更小尺寸下纳米计量标准和测量方法的研究.     

晶圆级微纳米栅格标准样片制备及比对测量

正本文提出一种晶圆级微纳米栅格计量标准样片研制方法,并依托集成电路生产线开展周期为500nm、1000nm和2000nm的晶圆级一维线距栅格、二维网格栅格和二维XY栅格图案的批量化制备,同时进一步利用5个可溯源至SI单位的扫描电子显微镜对标准样片进行了比对测量。     

市场监管总局启动铜元素校准溶液标准物质国家计量比对活动

正日前,市场监管总局委托全国标准物质计量技术委员会启动实施"铜元素校准溶液标准物质国家计量比对"活动,全国范围内取得铜元素溶液标准物质定级证书的研制单位可报名参加。国家标准物质是保障测量结果溯源性和一致性的重要资源。此次计量比对活动由中国     

基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板

利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上,基于 NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究,得到一维纳米光栅结构平均节距为212.6±0 4nm,与52Cr原子共振跃迁(7S3→7P04)的半波长(λ/2)理论值212.8nm基本一致,测试结果非常准确.文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离,解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题,对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义.     

微米、纳米颗粒国家标准测量装置的研究

研究的目标是建立一套可溯源至激光波长的微米、纳米颗粒国家标准测餐装置,它用扫描电子显微镜高倍数放大、对准和定位颗粒影像,采用纳米位移扫描工作台和激光干涉仪测量微米、纳米量级的标准颗粒直径,其测量标准不确定度可优于5 nm+5×10~(-3).通过文中测量认证的标准颗粒校准各类不同原理和测量范围的颗粒测量仪器,达到各型颗粒测量仪器的量值准确和统一,并溯源至激光光波波长.     

纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源

微电子及纳米技术的发展 ,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高。文中就建立这一量值溯源体系进行探讨 ,包括 :样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等 ,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性     

水中氟离子溶液标准物质的研制

文章以氟化钠标准物质为原料，超纯水为溶剂，采用重量-容量法制备水中氟离子溶液标准物质，介绍了水中氟离子溶液标准物质的研制方法。研制的水中氟离子溶液标准物质利用离子色谱法进行检测，分别采用F检验和回归曲线法进行均匀性和稳定性检验，方差分析和线性拟合结果表明该标准物质具有良好的均匀性和稳定性。选择国家二级标准物质采用同样的检测方法进行验证，结果表明制备的标准物质的方法准确度满足要求。研制的水中氟离子溶液标准物质的定值结果为1 000 mg/L,相对扩展不确定度U_rel=1%(k=2)。该标准物质量值准确，且具有溯源性，可用于水中氟离子测量过程的质量控制及分析方法的确认和评价。     

标准物质在产品质量监督检测中的应用

近年来，随着技术监督事业的发展，标准物质在产品质量检测中应用越来越广泛。标准物质有哪些作用？在产品质量监督检测中，如何使用标准物质来保证和控制检测质量以及需要注意的事项，笔者的体会是：标准物质的基本作用：标准物质按其定值方法、准确度、均匀性、稳定性分为一级标准物质和二级标准物质，广泛应用于各领域部门，可谓种类多、用途广。其基本作用是：第一，保存和传递物质的化学成份与特征量值、建立测量的溯源性。标准物质被国家定为依法管理的计量器具，它和国家确定的其它计量器具一样具有可溯源到国际单位制基本单位的准确…     

冲击试样缺口投影仪标准比对样板缺口半径的校准方法及测量不确定度分析

针对金属材料冲击试验缺口加工中冲击试样缺口投影仪的计量现状,介绍了冲击试样缺口投影仪的结构和标准比对样板V形、U形缺口圆弧半径的技术要求,并提出了冲击试样缺口投影仪标准比对样板详细的测量标准设备和校准方法并做测量不确定度分析,实现了冲击试样缺口投影仪标准比对样板缺口半径的量值溯源和计量校准的要求。     

血清中乳酸标准物质的研制

为满足临床血清乳酸测量结果量值溯源需求,研制血清中乳酸标准物质。标准物质以人血清为基质,加入与人体构型相同的高纯乳酸,制备为3个浓度水平的标准物质候选物,采用同位素稀释高效液相色谱-串联质谱法进行多家实验室定值,采用酶膜法对标准物质均匀性、稳定性进行评价。实验结果表明,该系列血清中乳酸标准物质均匀性稳定性良好,在-80℃条件下可保存9个月以上,3个浓度水平标准物质定值结果分别为(5.53±0.14) mmol/L、(10.22±0.09) mmol/L、(15.76±0.27) mmol/L,包含因子k=2。该标准物质作为血清中乳酸量值溯源的载体,可以有助于临床乳酸参考系统的建立,应用于临床乳酸测定仪的校准、乳酸检测方法评价以及相应质量控制。     

典型纳米结构制备及其测量表征

针对纳米器件中的典型几何特征,制备了3种纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,制备出了具有名义线宽尺寸分别为20 nm、25 nm、35 nm的纳米栅线结构。用离线的图像分析算法对所制备的纳米线宽样板的线边缘粗糙度/线宽粗糙度(LER/LWR)以及栅线线宽的一致性进行了评估。实验表明所制备纳米线宽样板的栅线具有较好的一致性,LER/LWR值小,且具有垂直的侧壁。采用电子束直写技术(EBL)和感应耦合等离子体刻蚀(ICP)制备了名义高度为220 nm的硅台阶样板。实验表明刻蚀后栅线边缘LER/LWR的高频成分减少,相关长度变长,均方根偏差值(σ)增大。采用聚焦离子束(FIB)制备了纳米单台阶和多台阶结构,并对Z方向的尺度与加工能量之间的关系进行了分析。     

细颗粒物PM_(2.5)浓度测量及计量技术

介绍细颗粒物PM2.5浓度测量、测量仪器的量值溯源方法和标准装置、切割头切割特性的检测方法,以及检测用标准粒子的制备;研制PM2.5采样器切割头检测装置,制备粒径范围在1.0⁴.0μmm的用于PM2.5采样器切割头切割特性检测的系列标准粒子,对可吸入颗粒物测量仪量值传递方法和准确性检验方法进行研究。通过本研究工作,可以建立PM2.5测量的参考方法,实现对PM2.5测量结果的准确溯源,使得PM2.5的检测数据可溯源至质量标准。     

水中氯根成分分析标准物质的研制

采用氯化钠纯度标准物质和三次纯化水,制备了水中氯根成分分析标准物质。对氯化钠的称量质量进行了校正,应用离子色谱法测定了三次纯化水中氯根的空白含量,并应用离子色谱法对研制的标准物质进行了均匀性和稳定性检验。结果表明,研制的水中氯根成分分析标准物质具备很好的均匀性和稳定性,标准值为100μg/m L(Urel=1%,k=2),可用于测量仪器校准、测量过程质量控制及分析方法确认和评价。     

一种可溯源原子力探针显微镜

研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统。在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量。通过对台阶高度为(21.4±1.5)nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21.56 nm,标准差为0.51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性。     

有机标准物质化学纯度评定方法进展

一、引言ISO导则30中,标准物质(RM)的定义是具有一种或多种足够均匀和很好确定了的特性值,用以校准测量装置、评价测量方法或给材料赋值的一种材料或物质。有证标准物质(CRM)的定义是附有证书的标准物质,其一种或多种特性值用建立了溯源性的程序确定,使之可溯源到准确复现的用于表示该特性值的计量单位,而且     

构建与小康社会相适应的国家化学计量体系--国家标准物质研究中心介绍

国家标准物质研究中心(以下简称中心)是国内惟一的国家级化学计量研究机构，以研究、维护、提高和加强国家化学测量体系，提高国家竞争力，改善公共健康、安全和环境质量为己任，全力推进国家化学测量基、标准体系的建设和完善，建立测量可比性和溯源性，构建与小康社会相适应的国家化学计量体系。     

亚微米-微米级粒径的国家标准物质研制

对6种编号分别为GBW(E)120128~GBW(E)120133,标称值分别为0.6、5、10、15、25、50μm的国家二级粒径标准物质,采用不同聚合技术制备得到单分散标准物质候选物,采用扫描电子显微镜对平均粒径进行定值,结果可溯源至国家长度标准。结果表明:标准物质的均匀性、稳定性良好,可广泛应用于亚微米-微米级微粒粒径分析仪的校准与计量检定。