超高真空热处理炉的研制

介绍了超高真空热处理炉的研制过程,探讨了研制过程中的难点和解决方案。该设备的研制成功对超高真空工业炉的研制具有一定的参考意义。     

特大型超高真空排气台的研制

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10^-8 Pa;烘烤温度25~600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。     

全金属小型超高真空气动阀的研制

一、概述 随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要和加速器等科学技术发展的需要,高真空阀门已不能满意,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空气动阀被重视和应用。我所已经研制成功我国第一台小口径超高真空全金属铟密封的气动阀门。并已经应用在高能加速器上,使用效果良好,满足技术要求。 这种阀是由阀体、密封阀盖、传动部分和摆动气缸四部组成。阀的材料用 1Cr 18Ni9Ti制成,可防腐蚀,阀口密封材料采用金属铟作为密封垫圈,可在…     

低温波荡器超高真空系统研制

在高能辐射同步光源验证装置(HEPS-TF)阶段,研制了一台低温永磁波荡器(CPMU)样机,周期长度为13.5 mm.低温波荡器的磁结构放置在真空室中,存在大量的材料出气与夹气,为了提供束流正常运行所需的超高真空环境,研制了波荡器的超高真空系统.首先估算了波荡器的放气率、放气量,并根据指标要求计算了真空系统所需的有效抽...     

超高真空扫描隧道显微镜定位系统的研制

本文介绍了超高真空扫描隧道显微镜（ＵＨＶ－ＳＴＭ）定位系统的设计方法，并对误差进行了分析和修正。定位系统在操作范围为－５６０～＋５６０ｎｍ时的定位精度达到了０．１ｎｍ，该系统性能稳定，运行可靠。达到了设计要求     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

离子阱低温超高真空系统的研制

离子阱是一种常用于光谱研究的装置,低温超高真空环境是其工作的基本条件.介绍了一套由真空腔体、真空抽气系统、温度监测及控制系统、脉管制冷机等组成的离子阱低温超高真空系统.在三种不同条件下对真空腔体进行抽真空对比试验,分析了影响真空系统极限真空的关键因素.采用超高真空获得方法与工艺,真空系统在常温和低温状态下分别获得了1.9×10-8Pa和5.0×10-10pa的真空度,在高真空绝热条件下,离子阱最低温度达到3.9K.文章最后对该系统的研制过程以及结果进行总结,提出了适用于同类低温超高真空系统设计与研制的相关结论.     

一套超高真空测试系统的研制

本文介绍了超高真空测试系统的结构特点。测试表明,系统在没有通液氮的情况下,极限真空度为1.8×10~(-11)托,通液氮的情况下,抑制规测得的极限真空度为6×10~(-12)托。测试系统暴露氮气(1大气压)10分钟后经8小时250℃烘烤,钛离子泵起动后3小时真空度为3.4×10~(-11)托。由于极限真空高,该系统能作超高和极高真空规管的对比测试和相对校准,还能作超高真空规管的本底压强的测量。     

超高真空气相氢渗透系统的研制

报道了超高真空气相氢渗透实验装置的设计及研制。用溅射离子泵获得超高真空，监测室本底真空度为6×10~(－7)Pa。用圆弧刀口银垫片活密封方式对试样进行密封，实验的极限温度可达650℃。采用B－A规对渗透氢流所引起的压强变化进行动态监测，再通过标准漏孔对系统进行标定，从而定量监测氢渗透动力学过程。采用本实验装置，准确地测量了HR－1型奥氏体不锈钢的氢渗透热力学参数。     

全金属超高真空气动闸板阀的研制

一、概述 近年来,随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空闸板阀已被重视和较多的应用。我所已研制成功直径为 150毫米和 200毫米两种超高真空全金属铟密封的气动闸板阀。 这种阀是由阀体、密封阀盖、摆动气缸三部组成(如图1所示)。阀的材料采用1Cr18Ni 9 Ti制成,可防腐蚀,阀口密封铟垫圈采用水冷却方法,可使阀烘烤至300,经过试验证明这种阀具有结构简单,占空间位置小(尤其是采用摆动形式,结…     

超高真空

真空科学及工艺学的最新发展,促进了星际空间环境的模拟、表面物理化学的研究、以及在高能核物理与热核熔合方面的实验。这些发展使研究工作老获得了极高真空也就是极低压强。为什么呢?在回答这些问题并论述超高真空技术以前,让我们考虑一下真空的一般特性。 “真空”这一名词指在任何一容器中充满压强低于大气压的气体状态而言。因此,压力亦就正确的说明了真空的特性。大气压强就是当0℃时在980.665厘米秒-2的标准重力加速度下760毫米高水银柱所产生的压强。在真空研究中所使用的是普通的压强单位是毫米汞柱或乇;在某些研究中也使用毫巴。…     

超高真空排气台微机控制系统的研制

本文介绍了超高真空排气台微机控制系统的主要技术性能、硬件设计方案、系统的软件设计，并强调抗干扰的重要性及其所采取的措施等。     

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制是根据兰州近代物理研究所建造的重粒子加速器的要求,作为3500升/秒的分子泵配套的主阀门被提出来的,要求阀门具有高度的可靠性,不允许阀门在中途出现任何一点故障。 我们针对着阀门的结构、性能、可靠性展开了研究试制工作。 一、超高真空阀门的     

超高真空粘附、摩擦实验装置的研制

本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。     

程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

2000℃超高真空钽片炉的研制

一、引言 近几年来,稀有金属的烧结和提纯,对真空电阻炉提出了愈来愈高的要求。将超高真空技术应用于冶金工业已成为急待解决的问题。例如,由于电子技术要向小型和微型化发展,对于钽、铌电容器的要求是体积小和比容高。而在钽、铌的烧结过程中有较高的真空度或者适当的降低烧结温度是提高电容器质量的重要途径之一。实践证明,钽或铌粉的压制品烧结质量与炉子的真空度有密切的关系,真空度提高一个数量级,烧结温度大约能降低100～120℃左右。而且电容器的烧结质量则有显著的提高,这是因为炉内真空度的提高对烧结制品的提纯效果会显著提高。温…     

超高真空的获得

超高真空技术是从1950年BA型电离真空计的发明以后迅速发展起来的。现代科学技术的发展对超高真空技术是一个很大的促进。本文将向读者简要地介绍某些超高真空获得的主要手段和现状(同时介绍一些我在国外进行考察的印象和体会)。     

超高真空气相氢渗透装置的研制与应用

本文叙述了一种测量金属中氢渗透率、扩散系数和溶解度的装置,这是一套由不锈钢制做的并配有四极质谱仪的超高真空系统。此装置具有很高的测量灵敏度、准确度和稳定性。金属试样用双金丝圈密封于样品室内,这种密封方法比文献中已报导的其他密封方法更加方便和可靠。用此装置在60～450℃温度范围内,测定了氢在α-Fe、4340钢和316L奥氏体不锈钢中的渗透率、扩散系数和溶解度常数,并给出了这些参数与温度关系的Arrhenius方程。