高精度电容测微仪的自校正方法

本详细叙述了一种电容测微仪的自校正方法,并就其工作原理进行了讨论。采用这 方法不需要其它高精度标准,仅利用两相同精度的电容传感器和自校正装置即可进行多次相互校准,最终得到各自准确度达到自身能力极限的校正结果。     

利用钢丝—电容测微仪法测量机床竖直运动直线度和滚动误差

介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架近的竖直钢丝作为测量基准，用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝，当机床主轴竖直运动时，机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测微仪测得，钢丝本身的直线度可用转位法消除。再增加一个测微仪，还可测出导轨本身的直线度误差。将刀架沿水平方向运动到两个不同位置，分别测出两位置处的竖直运动直线度误差，由这两组数据可以计算出     

电容测微仪新的应用和工作特性的标定方法

本文介绍电容测微仪在大型机械安装，校准和形位误差测量方面的一种新的应用方法，以及与该方法相适应的工作特性的标定和拟合方法。     

改进电容测微仪稳定性的技术措施

简述了JDC系列精密电容测微仪的组成原理,介绍了为改进仪器的稳定性而对稳压电源、主放大器、参比电容、传感器、滤波电路等组成环节所采取的一些技术措施。     

纳米级电容测微系统的研究

本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题,对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型,给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析,并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0.1nm,测量范围±2~±50μm,满量程非线性优于0.5%。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位。     

激光测微仪测量准确度的研究

本文分析了激光测微仪测量部分的基本原理，讨论了主要部件所带来的测量误差，并在此基础上提出了有效的误差校正方法，以提高仪器的测量准确度。     

基于虚拟技术的电感测微仪

本文介绍了一种基于虚拟技术的电感侧微仪,其中包括仪器的组成与工作原理、硬件设计、软件设计以及实验结果。     

单片机电感测微仪的研制

本文介绍了单片机电感测微仪的特点，主要性能指标，系统的基本功能等。     

运算式电容测微仪解调滤波器动态特性优化

为改善运算式电容测微仪的动态特性,扩展其动态测量范围,对影响其动态特性最大的解调滤波器的参数进行优化。以解调滤波器动态特性的理论分析为基础,通过Matlab仿真以及实验确定解调滤波器的优化参数,同时对解调滤波器的动态特性进行实际测试。测试结果表明:优化后,滤波器在0~2 k Hz的工作频率范围内,幅频特性的变化不超过3%,其动态特性较好地满足不失真测试条件的要求,可将电容测微仪的动态测量范围扩展到0~2 k Hz。     

利用钢丝－电容测微仪法测量机床竖直运动直线度和滚动误差

介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架附近的竖直钢丝作为测量基准，用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝，当机床主轴竖直运动时，机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测微仪测得，钢丝本身的直线度可用转位法消除。再增加一个测微仪，还可测出导轨本身的直线度误差。将刀架沿水平方向运动到两个不同位置，分别测出两位置处的竖直运动直线度误差，由这两组数据可以计算出机床竖直运动时的滚动误差。     

电感测微仪在现场测量中的应用

某密封件的微小锥面精度要求高,在组织生产时,过程控制要求严,测量精度高,因而对其进行快速精确测量较为困难。在生产实践中通过使用电感测微仪配合专用的测量头和改装的测量台架可解决现场微小锥面测量的难题。     

调幅式电感测微仪电路设计中的关键技术

介绍了调幅式电感测微仪的测量原理,从信号测量电路的角度对影响电感测微仪精度的关键技术进行了剖析,在此基础上提出了零点误差控制技术、激励电源的稳频稳幅技术、数字相敏检波技术以及电路的抗干扰设计技术等来提高测量精度的措施。最后通过一系列的实验对该电感测微仪进行了评价,由实验结果表明,该测量电路性能良好,能应用于精密测量仪器中。     

电感测微仪误差的微机补偿

本文介绍用微机对电感测微仪零点飘移误差和工频干扰误差实现修正补偿的方法,并提出了零飘监控补偿原理和低频等幅周期干扰的鉴相定幅补偿原理。     

数显测微仪与微机连接的研究

本文介绍接口电路的硬件设计方法和混合编程技术，将数显测微仪显示值直接送入计算机内，实现了微机的数据输入。     

用模数换器进行电感测微仪零漂补偿

本文介绍了利用双斜率积分型模糊数转换ＩＣＬ７１０６的动态自调零功能对电感测微仪零漂及系统误差进行自动补偿的方法。     

用模数转换器进行电感测微仪零漂补偿

本文介绍了利用双斜率积分型模数转换器ＩＣＬ７１０６的动态自调零功能对电感测微仪零漂及系统误差进行自动补偿的方法。文中除了给出了原理电路还进行了详细分析。其设计思想也适用于其它需进行自补偿的传感器测量装置。