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旋转运动机构,一般由动力源.传动机构、轴承.转轴和转动件等构成.早期的信息设备如同工业机械一样,常用一个动力源经皮带、齿轮、.联轴器和离台器等将动力传送给各分支执行机构.称为集中动力式.如70年代的打印机(图1)即为一例.随着机电一体化技术的发展.动力供给已由原来的集中式改为分散式,即适应负载系统的需要分 相似文献
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白荣宗 《电子工业专用设备》1991,20(1):59-62
<正> 近年来,随着大规模集成电路集成度的不断提高,其图形更加微细化。目前,已经达到0.5微米或0.5微米以下。在制造这种大规模集成电路的过程中,特别在光刻工艺的光刻设备内和检测过程的测试装置中,高精度的定位机构起着重要的作用。 例如,在形成微细图形时,广泛使用的缩小式投影光刻机和电子束光刻机中,承放硅晶片并移动的xy工作台的定位精度就决定着光刻图形的位置精度。 另外,在x射线光刻机中,光刻图形的位置精度也由定位机构的机械精度来确定。 为了高精度地形成大规模集成电路的图 相似文献
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《电子技术与软件工程》2017,(2)
采用三菱系列1PG定位模块改造传统单片机控制系统,能够实现精确定位,操作维护工作量减少,提高现场生产功效。主要采用三菱FX1n-24MR PLC,三菱GOT1020-LBL触摸屏、三菱伺服驱动器及三菱伺服电机实现。 相似文献
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转阀式直接驱动伺服阀的参数自调整模糊PID控制 总被引:1,自引:2,他引:1
孙惠杰 《微电子学与计算机》2008,25(9)
转阀式直接驱动电液伺服阀具有很大的优越性,但必须对其进行有效的控制.针对摩擦非线性比较严重,建立精确数学模型困难的情况,采用自整定模糊PID控制.介绍了设计过程,研制出针对转阀的模糊规则和合适的PID参数调整规律,最后通过数字仿真验证了该控制方法较强的抗干扰能力. 相似文献
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挤出成型是塑料成型加工工艺中的主要加工方法之一,大部分热塑性塑料均可用此方法。本文将主要讨论的就是塑料挤出机的主机变频和伺服传动控制的一些要点,以及安用变频与伺服在其中的应用特点。 相似文献