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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 59 毫秒
1.
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件.介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望.  相似文献   

2.
多层弯曲磁微执行器的宏模型   总被引:4,自引:1,他引:3  
首先介绍了多层弯曲磁微执行器的基本工作原理。根据磁路定律和等效磁荷方法 ,提出了考虑边缘漏磁效应的执行器工作的宏模型。计算结果与 ANSYS模拟和已有的实验结果进行了比较。该宏模型可以在设计执行器时应用  相似文献   

3.
多层弯曲磁微执行器的有限元分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
首先简单介绍了多层弯曲磁微执行器的工作原理 ,然后建立了有限元分析的模型 ,并对模型进行网格划分。再利用泊松方程结合已知的边界条件求出各节点的磁势 ,从而进一步求出了上极板的弯曲量。最后 ,将有限元模型的结果和 ANSYS分析结果进行了比较。这一模型可在设计该类执行器时使用  相似文献   

4.
弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器。该悬臂梁一端固支,另一端自由翘离基底。在静电力作用下,悬臂梁粘连的位置和长度会改变,使得执行器的电压一位移特性严重依赖加载历史。研究了在不同电压加载方式下,悬臂梁粘连点、端部位移的变化,以及这种变化对驱动电压的影响。实验研究了悬臂梁在方波电压下的振动,并设计实验系统测量了吸下和弹起时间。  相似文献   

5.
薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状   总被引:5,自引:1,他引:5  
贾振元  武丹  杨兴  郭东明  郭丽莎 《压电与声光》2000,22(3):157-159,167
超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用,并对超磁致伸缩薄膜的微执行器中的应用进行了展望。  相似文献   

6.
微执行器的研究与展望   总被引:3,自引:0,他引:3  
在微机电系统中,微执行器是核心部件。为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点等。针对热执行器,提出了个人的一些见解。  相似文献   

7.
基于热膨胀效应的微执行器进展   总被引:8,自引:2,他引:8  
匡一宁  黄庆安 《电子器件》1999,22(3):162-170
本文首先分析了热驱动微执行器的基本及其相对于静电驱动,磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构的原理,特点,它们的某些典型应用也随后作了介绍,最后对热驱动微执行器计算机辅助设计的前景进行了展望。  相似文献   

8.
研究了一种由多晶硅电阻、硅和金属层构成的双层弯曲热执行器。利用有限元方法计算了该执行器的纵向偏转和温度分布。为了提高精度,本文提出了一种三层结构的有限元模型,当用厚度为1μm的硅和0郾5μm厚的铝薄膜构成执行器时,在5V电压的驱动下可以获得最大位移为25郾62μm。由有限元分析还可以得到温度分布,最后和实验结果进行了比较,并讨论了误差产生的原因。  相似文献   

9.
管道微机器人中压电执行器的研究   总被引:6,自引:1,他引:6  
马建旭  马培荪 《压电与声光》1999,21(2):108-112,118
微执行器作为微机械系统的核心单元,一直是微机械发展关键。文章介绍了一种应用于管道微机器人的足式压电执行器。在交变电压作用下,该压电执行器将压电体的弯曲振动转化成其弹性足沿管壁的移动,从而实现执行器的运动。在分析其工作原理的基础上,研制了压电微执行器的驱动电源,并进行了简单的实验研究。研究表明该执行器具有结构简单,易于微型化,响应快,驱动方便等特点。  相似文献   

10.
微尺度流动的雷诺数(Re)比较低,其混合主要通过扩散来完成,因此需要较长的距离与时间才能混合均匀。为实现微尺度低Re数流体的快速均匀混合,以甲醇及染色甲醇为工质,采用脉冲电压激励微铂膜产生可控气泡,并以气泡周期性胀缩产生的脉冲压力为动力源,研究脉冲压力横向扰动产生的混沌流对微通道内流动混合的影响。结果表明:脉冲压力横向作用使流体的交界面产生了强烈的卷曲拉伸,有效地强化了混合,该微混合器能够在毫米级混合长度及毫秒级混合时间内快速均匀混合,脉冲频率越高,混合效果越好。本研究结果为解决微尺度下低Re数流动混合难题提供了一种有效的崭新手段。  相似文献   

11.
12.
薄膜晶体管研究进展   总被引:3,自引:0,他引:3  
薄膜晶体管是液晶显示器的关键器件,对显示器件的工作性能具有十分重要的作用。本文论述了薄膜晶体管的发展历史,描述了薄膜晶体管的工作原理,分析了非晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管、有机薄膜晶体管、ZnO活性层薄膜晶体管的性能结构特点与最新进展,并展望了薄膜晶体管的应用。  相似文献   

13.
本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。  相似文献   

14.
低温p-Si薄膜的制备研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
引言 近年来,有源液晶显示技术在液晶显示产业和研究领域都独占鳌头。在有源液晶显示技术中,多晶硅薄膜因高迁移率展现出独特的优势,它的器件尺寸小,可以获得更高的开口率和分辨率;由于迁移率的提高可以将周边驱动集成于显示板内部,可以有效降低材料成本,同时LCD整体的重量和厚度将会大幅度的减少。  相似文献   

15.
简要说明了非晶硅、多晶硅和有机半导体用作薄膜晶体管沟道层的不足,从电学性质、光学性质和制备温度等几方面介绍了氧化物薄膜晶体管在有源阵列驱动显示技术中的优势,并介绍了氧化物沟道层制备工艺的优化和掺杂方法.最后,展望了氧化物半导体薄膜晶体管应用前景.  相似文献   

16.
运用数字锁相技术研究了Pb(Zr,Ti)O_3(PZT)铁电薄膜的介电性能测试技术,随着薄膜微图形化尺寸的缩小,电路寄生参数的影响将逐渐变大并成为主导因素,从而严重影响薄膜介电性能测试的准确性.通过补偿方法,消除了电路寄生参数的影响,准确测量了薄膜的介电常数.通过对溶胶-凝胶制备的PZT薄膜样品的介电性能测试表明,上述补偿法可满足PZT铁电薄膜制备技术及微机电系统中器件设计对PZT微图形性能测试的要求.  相似文献   

17.
薄膜磁致伸缩系数测试系统的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
根据激光光杠杆放大原理设计实现了薄膜磁致伸缩系数的计算机辅助测试系统。根据激光光杠杆的放大作用,利用位置敏感传感器(PSD)探测激光光点的位移,将激光点位移信号转换成电信号,利用KEITHLY2182电压表测量电信号,在Testpoint测试软件平台上开发了磁致伸缩系数测试程序,通过计算机对KEITHLY2182电压表的控制,实时读出KEITHLY2182电压表所测到的电压并进行数据处理。通过标定,该测试系统能较好地对薄膜磁致伸缩系数进行测量。  相似文献   

18.
侯延冰 《现代显示》2006,(11):20-23
薄膜电致发光(thinfilmelectroluminescece,TFEL)具有主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、反应快、工作温度范围宽以及图像清晰度高等诸多优点,曾经被认为是一种很有前景的平板显示技术。但是,由于这种显示技术存在的固有问题和其它与之的竞争显示技术的快速发展的影响,使得TFEL虽经过30多年的发展,但一直不能实现大规模产业化。本文对TFEL技术和产业化做一个介绍。  相似文献   

19.
薄膜材料研究中的XRD技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
晶格参数、应力、应变和位错密度是薄膜材料的几个重要的物理量,X射线衍射(XRD)为此提供了便捷而无损的检测手段。分别从以上几个方面阐述了XRD技术在薄膜材料研究中的应用:介绍了采用XRD测量半导体薄膜的晶格参数;结合晶格参数的测量讨论了半导体异质结构的应变与应力;重点介绍了利用Mosaic模型分析位错密度,其中比较了几种不同的通过XRD处理Mosaic模型,且讨论了它们计算位错密度时的优劣。综合XRD技术的理论及在以上几个方面的最新研究进展,对XRD将来的发展做出了展望。  相似文献   

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