关于溅射离子泵电源性能指标的几点建议

对中国科技大学国家同步实验室蒋迪奎等三位作者提出的关于国产SIP电源的性能指标提供几点补充和建议电源功率，起动电压和分挡，短路电流和起动特性，以及噪声等，并对其进行了讨论。     

提高溅射离子泵抽速的研究

按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。     

3L2—220型溅射离子泵研制

本文谈及３Ｌ２－２２０型溅射离子泵结构的确定和参数的选择，并给出测试结果。     

全自动溅射离子泵电源及其性能检测

介绍了一种全自动溅射离子泵电源.有关性能检测及技术应用都作了论述.对采用电子技术解决各种问题的关键要点也进行了评论,并得出几点结论.     

一种小型离子泵电源的设计

真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战,小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势。本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案,介绍了系统组成与拓扑结构,给出了电路参数计算和分析说明,并对该电源进行工程上的测试验证。实践表明,该电源能适配多种型号的离子泵,工作稳定可靠。     

溅射离子泵阴极的分析研究

对一在10~(-5)Pa 真空下连续抽空气15000h 以上的溅射离子泵 Ti 阴极,测量了表面几何“起伏”,分析了剖面金相照片,并用 X 光衍射、XPS、AES 进进了分析研究。结已表明,表层 Ti 原子几乎全部与 N 结合生成 TiN;整块材料内有部份 Ti 的氢化物生成,并且阴极表面约6%的区域提供了约80%的溅射量。     

溅射离子泵开关电源的设计

针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理.在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源.该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点.     

用溅射离子泵轴氦

本文中给出了惰性气体和传统型的二极型和三极型泵的氦抽速和抽气量的大量数据。报导了抽氦之后各种不同泵再生程序的有效性，包括烘烤和Ｎ２辉光放电清洗特性。本文还报导了随后抽Ｎ２时氦的比较解吸情况。这些泵的Ｎ２抽速作为确定泵尺寸与其相应氦抽速关系的基准。     

微型溅射离子泵性能测试

本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源.实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据.     

CrAlTiN镀层在精密铣刀上的应用研究

介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的CrAlTiN超硬纳米梯度复合镀层在铣刀上的应用,试验结果表明,铣刀在离子镀处理之后寿命提高为原来的3倍.采用SEM和TEM分析了镀层铣刀磨损后的表面形貌及无镀层铣刀的失效方式,揭示了镀层提高铣刀寿命的原因.     

CIPS 60－50电解防污专用电源研制

论述了防污系统专用电源的设计方案、工作原理、以及性能和特点。并对脉宽调制技术、限流保护、快速反馈等方案提出了见解。     

CIPS 60－50电解防污专用电源研制

论述了防污系统专用电源的设计方案、工作原理、以及性能和特点。并对脉宽调制技术、限流保护、快速反馈等方案提出了见解。     

国产溅射离子泵主要性能测试及现状

在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965-92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要.     

高温核动力厂核蒸汽供给系统的比值控制

结合１０ＭＷ高温气冷实验堆核蒸汽供给系统的控制系统设计，介绍了适合于高温核动力核蒸汽供给系统控制的一种新方法－－比值控制。仿真结果表明：比值控制使堆芯氦气出、入口温度变化在允许范围内，主蒸汽温度维持为给定值。     

机载交流电源的相位测量

分析了机载400Hz三相交流供电系统相位测量的特点，常用测量方法的基本原理和存在问题，并提出有关提高测量精度的措施。     

开关型小功率激光电源

抛弃了传统Ｈｅ──Ｎｅ激光电源的升压方法，采用８０９８单片机的ＰＷＭ输出信号驱动逆变器，并对系统进行全面控制。给出了系统的硬件结构及软件设计。实际应用表明，此电源具有体积小、重量轻、恒流特性好、调节范围宽等特点，极易实现激光电源电路和测量仪器电路的一体化。