车间使用的新型干涉仪

本文描述一种用于检测光学表面和光学零件的新型干涉仪。它和现有的干涉仪相比,有明显的改进,尤其适合光学车间使用。     

JQG-1000型激光球面干涉仪

激光球面干涉仪是利用激光干涉原理测量光学球面的一种新颖仪器,也是最近发展起来的很有前途的光学测试仪器。在一定的意义上,它可以摆脱光学冷加工中采用样板来检验光学球面的传统方法,代之以仪器直接测量被加工的光学球面。这种显著优点已引起光学工业的重视。在各级党委的领导和关怀下,我们三个单位通过二年来的协作,已初步试制出样机,并正在生产实践中作进一步的考验。现将仪器初步介绍如下:     

数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究

干涉测量在现有的光学元件面形检测方法中具有测量精度高的优势,应用相对广泛。但干涉仪元件的加工和装调误差会降低面形检测精度。提出一种利用夏克哈特曼波前传感器对实际干涉仪系统进行多点标定的方法,利用波前标定数据在光学设计软件ZEMAX中实现对虚拟干涉仪系统的修正,结合数字莫尔移相算法,消除实际干涉仪加工和装调误差的影响。选取平面镜和可变形镜作为待测镜分别进行面形测量实验,结果表明,标定和修正后的数字莫尔移相干涉仪系统检测精度提高,与Zygo干涉仪的检测结果相比,面形趋势保持一致且峰谷值(PV)值误差相差在0.07λ(λ=532 nm)以内。     

关于光学样板的精度及其工艺保证

光学样板是光学零件制造过程中用来检验光学零件面形误差的一种基本量具。本文简述了光学样板的精度等级及误差分布规律,並指出了制造A级标准样板时可采用的某些加工方法。提示了正确给定样板光圈对象质的影响。     

大口径数字波面检测技术的研究

现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度。数字波面干涉仪是一种高精度光学元件检测设备,但目前传统的技术无法满足检测大口径光学元件的要求。在普通数字波面干涉仪的基础上,采用目标函数多孔径拼接技术,能很好地解决大口径光学元件检测问题,最终得到较完整的波前信息。     

用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪

为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。     

加工角度检测的几种方法

角度的检测除了常用万能角度尺外,还有用样板、圆柱、正弦规、光学量仪等方法来检测,文中以具体的零件为例,介绍了几种相关的常用检测方法。     

实时数字干涉技术

随着电子技术和计算机技术进入干涉测试领域,出现了用于光学零件面形检验、测量精度达到λ/100的实时数字干涉仪,它标志着光学测试技术发展的新水平,代表了光学检测仪器的一个发展方向。我国在研制实时数字干涉仪方面正处在起步阶段。本文综述实时数字干涉技术的背景概貌,介绍几种采用不同位相调制方法实现直接位相测量的技术:外差干涉技术、锁相干涉技术和条纹扫描技术。     

JDG—1型激光多用干涉仪

<正> 我国第一台多用途、高精度的光学测试仪器—JDG-1型激光多用干涉仪,最近在安徽光学精密机械研究所研制成功.这台仪器可用于测量光学零件的平面度、平行度、球面     

条纹周期动态可调的通用型干涉仪

提出一种新型结构的通用型干涉仪,用于实现不同结构、不同形状的光学透镜、光学晶体等元件的快速目视观察与精确测量。该干涉仪利用可相对旋转的双光楔对条纹周期进行动态调制完成实时检测。以两块雅敏干涉平板为主体结构,在双光路中各自放入一对楔角完全相同的光楔对,建立条纹周期和条纹倾斜方向与光楔对相对旋转角度之间的关系,并采用光学晶体畴反转实时检测验证干涉仪的测量性能。试验结果表明,干涉仪的相位检测精度约为0.2 rad(λ/30),条纹周期(一对黑白条纹)为0.105~5.993 mm/pair,光路中光楔对的相对转角可在0~179°调节。干涉仪具有完全对称的光路结构,由于较高的稳定性和抗干扰能力,可针对不同类型光学元件的结构特点进行条纹周期的实时调制,并可达到较高的检测精度。