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相似文献
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1.
介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理。针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法。结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响。  相似文献   

2.
纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的确定方法   总被引:9,自引:5,他引:9  
戴高良  晃志霞  殷纯永  徐毅  许捷 《中国激光》1999,26(11):987-992
介绍了确定纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的两种方法:纳米比对方法和幅值估算方法,前者通过将双频激光干涉仪和计量院纳米精度F-P干涉仪进行纳米比对确定非线性误差,具有测量结果直接和米定义溯源的优点;后者通过测定偏振干涉仪测量信号的幅值调制度估算非线性误差,具有简单易行、受外界因素干扰小等优点。实验结果表明,对于此干涉仪系统,非线性误差的测量结果小于2.5nm,估算结果为1.4nm,两者在误差允许的范围内一致。  相似文献   

3.
由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法。  相似文献   

4.
黄民双  刘晓晨  马鹏 《红外与激光工程》2018,47(3):317004-0317004(5)
在以正弦波为测量基准信号的激光脉冲飞行时间测距系统中,由于高频信号之间的串扰或器件非线性等因素的影响,将产生脉冲飞行时间周期误差,导致测距精度降低。为此提出了一种利用测距仪在一定距离条件下的测量数据计算定时误差的方法,通过最小二乘法拟合构造出一条含误差补偿功能曲线,并将该曲线进行离散化处理,将离散化数据存入单片机内,在距离测量时以含误差补偿功能曲线作为测量基准,实现对脉冲飞行时间周期误差的补偿。该方法具有原理简单、数据可靠、操作方便等优点。所研制的激光脉冲测距仪经过误差补偿后,测距误差小于3 mm。  相似文献   

5.
以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由于热膨胀不能真实反映工件台位置带来的定位误差.  相似文献   

6.
沈红伟  刘娜 《激光杂志》2021,42(10):167-170
为了提高激光位移传感器测距精度,针对当前激光位移传感器测距误差自动校正方法存在的缺陷,提出了基于人工智能技术的激光位移传感器测距误差自动校正方法。首先分析激光位移传感器测距的原理,分析引起激光位移传感器测距误差产生的原因,然后引入人工智能技术对激光位移传感器测距变化特点进行描述,建立激光位移传感器测距误差预测模型,最后根据预测结果对激光位移传感器测距误差进行校正,并与其它方法进行了测试实验,结果表明,由于人工智能技术可以对激光位移传感器测距误差进行自动校正,人工智能技术的激光位移传感器测距精度高达95%以上,使激光位移传感器测距误差可以控制在有效范围内,同时激光位移传感器测距误差较正结果要优于其它方法,验证了本方法的激光位移传感器测距误差校正优越性。  相似文献   

7.
蒋晓耕  杨肖  孟祥冬  高端  王浩 《应用激光》2023,(10):179-187
针对激光在机测量工件特征时的测量精度问题,对测量系统的关键误差影响因素及补偿应用进行了研究。使用激光位移传感器作为测量工具对工件特征进行在机测量时,测量结果受激光位移传感器倾斜误差和数控机床几何误差影响。为了校正激光位移传感器在物面倾斜时引起的测量误差,设计了倾斜误差试验,利用勒让德多项式对倾斜误差进行了建模和补偿,补偿后倾斜误差可减小至±0.025 mm以内。针对不动式激光在机测量时数控机床线性轴几何误差对测量结果的影响,设计了球杆仪倾斜安装试验,利用参数化建模的方式对X轴和Y轴的几何误差进行了解耦。最后根据建立的倾斜误差与几何误差模型,对工件特征的在机测量结果进行了补偿。结果表明,对工件特征在机测量结果进行误差补偿后,线性尺寸测量误差小于0.05 mm,角度测量误差小于0.08°,相较于补偿前在机测量精度明显提高。  相似文献   

8.
《现代电子技术》2017,(24):178-180
对于运动误差测量系统中几何误差较大的问题,提出一种基于激光干涉仪的运动误差测量系统设计。设计的运动误差测量系统硬件由计算机、电气控制柜、电动机、激光干涉仪、同心仪等组成。软件系统引入一种测量数学模型,能够进行快速误差鉴别、行踪测量,通过测量模型的数据有效地避免了几何误差的出现,提高了运动误差测量系统测量的准确度。实验验证了基于激光干涉仪的运动误差测量系统的设计方案的有效性。  相似文献   

9.
针对目前广泛应用的滚珠丝杠螺旋线误差检测系统的不足,对传统测量仪器进行了改造,以双频激光干涉仪作为长度测量基准、圆光栅作为角度基准,设计以可编程逻辑器件(CPLD)为核心电路的计算机测量系统方案,并进行样机实验研究和试运行,运行结果证明该套测量系统能够实现两级以上丝杠螺旋线误差的动态测量,测量效率高。  相似文献   

10.
星间激光干涉测距系统是下一代低低跟踪重力测量卫星的核心载荷,要求实现纳米级位移测量精度.针对此要求,设计了一种具有锁相应答转发体制的激光干涉测距系统,依据系统组成与工作原理推导系统测量原理、频率传递关系,顶层剖析分解激光干涉测距系统中的测量误差项,对各误差项建立预算模型,并进行合理的数值计算,总体实现优于7.5 nm/Hz1/2@0.1 Hz(0.1 Hz为傅里叶频点)的星间距离变化测量精度,满足下一代低低跟踪重力场高精度反演对星间激光干涉测距系统的测距需求.  相似文献   

11.
MPEG-2视频信号错误控制和错误掩盖技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
以MPEG-2的语法规范作基础,从控制错误发生和控制错误传播的角度,简述了MEPG-2的分级工具和视频码流层结构,比较详细地介绍了I帧、P帧和B帧的错误掩盖技术,此外,还推荐了一些错误掩盖方法。  相似文献   

12.
激光标线仪误差分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
激光标线仪发射相互垂直的水平激光线和垂直激光线,作为建筑工程与装修装饰用施工的基准,得到了广泛的应用。本文从激光标线仪的原理入手,分析了水平激光线的几种可能的误差:水平度、倾斜度和弯曲度的形成机理和表达方法。将这些误差进行分离,可以指导仪器的的校正;将这些误差进行合成,可以综合评定仪器的精度。  相似文献   

13.
D-InSAR受多种误差的影响,其中基线误差与相位误差是其中两个主要的误差来源,严重影响形变检测精度。首先将基线误差归结到雷达平台位置误差上来,在准确的差分干涉模型基础上,考虑完整的差分干涉处理流程,对仅有垂直向形变情况下的差分InSAR检测中雷达平台位置误差与相位误差的传播特性进行分析,并利用实验对所得结论进行了验证。  相似文献   

14.
总结了视频图像中的差错控制技术及其最新进展.首先详细评述了3种基本的差错控制技术:基于编码器的差错弹性,基于解码器的差错隐藏,基于编/解码的交互式差错隐藏,然后总结了编码标准H.263 ,H.263 ,MPEG-4,H.264中的差错控制工具,最后指出了视频差错控制的研究重点和发展方向.  相似文献   

15.
在日常计量器具检定工作中,计算检定结果时,常常会遇到误差计算以及通过计算误差来判断仪表准确度等级是否合格等问题.本文通过具体实例给出分析.  相似文献   

16.
测量系统是武器的重要信息源,其测量精度直接影响武器系统的射击精度。对某测量系统的误差源进行了分析,建立了系统误差模型,分析得出系统误差存在复杂的误差特性,并对某次校飞的方位角误差进行了分析。研究结果可为下一步的误差分析与处理提供支撑。  相似文献   

17.
工艺误差对AWG串扰特性的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
分析了阵列波导光栅器件的制作过程中引入的各种工艺误差。对波导尺寸误差、折射率误差以及长度误差进行了等效,并计算了位相误差和振幅误差的方差。最后分析了位相误差和振幅误差对阵列波导光栅的频谱特性尤其是相邻通道间的串扰特性的影响。  相似文献   

18.
开关电流技术(SI)是一种可取代开关电容技术的数据采样技术.首先介绍了SI技术,然后以SI电路基本单元为例,分析了SI电路存在的各种误差,并针对这些误差提出了解决方法;最后提出了一种新的改进电路.实验结果表明,采用TSMC 0.35μm工艺参数和Hspice仿真电路,所设计的电路误差小,输出波形理想,从而可达到预期的目的.  相似文献   

19.
大气折射误差的残差模型   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文从定义出发,推导出目标在球面分层低层大气或电离层内仰角折射误差、距离左和相位应单脉冲雷达与三站雷达的距离变化率折射误差的残差模型。  相似文献   

20.
温度是机械加工中最基本的参数之一,在生产过程中常需要对温度进行检测和监控。数控机床加工中,常需要对数控机床进行热误差计算并实现热误差补偿,通过热误差补偿技术来达到提高数控机床加工精度的目的。因此,研究一种基于串行通信的多路温度采集和实时监控系统,对提高工业控制性能、提高数控机床的加工精度以及提高生产效率有着重要的意义。  相似文献   

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