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介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理。针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法。结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响。 相似文献
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由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法。 相似文献
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在以正弦波为测量基准信号的激光脉冲飞行时间测距系统中,由于高频信号之间的串扰或器件非线性等因素的影响,将产生脉冲飞行时间周期误差,导致测距精度降低。为此提出了一种利用测距仪在一定距离条件下的测量数据计算定时误差的方法,通过最小二乘法拟合构造出一条含误差补偿功能曲线,并将该曲线进行离散化处理,将离散化数据存入单片机内,在距离测量时以含误差补偿功能曲线作为测量基准,实现对脉冲飞行时间周期误差的补偿。该方法具有原理简单、数据可靠、操作方便等优点。所研制的激光脉冲测距仪经过误差补偿后,测距误差小于3 mm。 相似文献
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以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由于热膨胀不能真实反映工件台位置带来的定位误差. 相似文献
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为了提高激光位移传感器测距精度,针对当前激光位移传感器测距误差自动校正方法存在的缺陷,提出了基于人工智能技术的激光位移传感器测距误差自动校正方法。首先分析激光位移传感器测距的原理,分析引起激光位移传感器测距误差产生的原因,然后引入人工智能技术对激光位移传感器测距变化特点进行描述,建立激光位移传感器测距误差预测模型,最后根据预测结果对激光位移传感器测距误差进行校正,并与其它方法进行了测试实验,结果表明,由于人工智能技术可以对激光位移传感器测距误差进行自动校正,人工智能技术的激光位移传感器测距精度高达95%以上,使激光位移传感器测距误差可以控制在有效范围内,同时激光位移传感器测距误差较正结果要优于其它方法,验证了本方法的激光位移传感器测距误差校正优越性。 相似文献
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针对激光在机测量工件特征时的测量精度问题,对测量系统的关键误差影响因素及补偿应用进行了研究。使用激光位移传感器作为测量工具对工件特征进行在机测量时,测量结果受激光位移传感器倾斜误差和数控机床几何误差影响。为了校正激光位移传感器在物面倾斜时引起的测量误差,设计了倾斜误差试验,利用勒让德多项式对倾斜误差进行了建模和补偿,补偿后倾斜误差可减小至±0.025 mm以内。针对不动式激光在机测量时数控机床线性轴几何误差对测量结果的影响,设计了球杆仪倾斜安装试验,利用参数化建模的方式对X轴和Y轴的几何误差进行了解耦。最后根据建立的倾斜误差与几何误差模型,对工件特征的在机测量结果进行了补偿。结果表明,对工件特征在机测量结果进行误差补偿后,线性尺寸测量误差小于0.05 mm,角度测量误差小于0.08°,相较于补偿前在机测量精度明显提高。 相似文献
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星间激光干涉测距系统是下一代低低跟踪重力测量卫星的核心载荷,要求实现纳米级位移测量精度.针对此要求,设计了一种具有锁相应答转发体制的激光干涉测距系统,依据系统组成与工作原理推导系统测量原理、频率传递关系,顶层剖析分解激光干涉测距系统中的测量误差项,对各误差项建立预算模型,并进行合理的数值计算,总体实现优于7.5 nm/Hz1/2@0.1 Hz(0.1 Hz为傅里叶频点)的星间距离变化测量精度,满足下一代低低跟踪重力场高精度反演对星间激光干涉测距系统的测距需求. 相似文献
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MPEG-2视频信号错误控制和错误掩盖技术 总被引:3,自引:0,他引:3
以MPEG-2的语法规范作基础,从控制错误发生和控制错误传播的角度,简述了MEPG-2的分级工具和视频码流层结构,比较详细地介绍了I帧、P帧和B帧的错误掩盖技术,此外,还推荐了一些错误掩盖方法。 相似文献
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在日常计量器具检定工作中,计算检定结果时,常常会遇到误差计算以及通过计算误差来判断仪表准确度等级是否合格等问题.本文通过具体实例给出分析. 相似文献
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大气折射误差的残差模型 总被引:4,自引:0,他引:4
本文从定义出发,推导出目标在球面分层低层大气或电离层内仰角折射误差、距离左和相位应单脉冲雷达与三站雷达的距离变化率折射误差的残差模型。 相似文献