极高真空电离规的校准实验研究

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9～10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。     

极高真空规新进展

本文分析了影响极高真空规测量下限的几个限制因素,介绍国外极高真空测量技术的最新发展状况。     

极高真空测量坐标系

极高真空测量指的是低于10~(-9)帕范围内的压力测量。首先介绍了最有希望解决10~(-11)～10~(-13)帕测量难题的电离规的测量下限所受到的四个限制因素.在第二部分综述了极高真空的测量技术.先对迄今为止所研究的极高真空测量技术进行归纳和分类.然后重点介绍了对热阴极电离规的收集极的改进情况.热阴极电离规中.对收集极的研究是进行得最多.也最有成效的一个方面.分析了7种改进方法.最后介绍了阴极和阳极的改进情况.第三部分建立了极高真空测量坐标系.三个坐标轴分别表示离子收集极、阳极技术、阴极技术.每一项具体技术也是对应于坐标轴上的元素.并用数字待号来表示.利用这个坐标系可以对极高真空测量技术有一个全面的总体认识.从而方便地分析各种技术之间的联系.然后对如何应用这个坐标系进行了应用举例.文末列出了有关的参考文献20篇.     

光阴极直流高压电子枪的极高真空系统

设计了一套用于光阴极直流高压电子枪的极高真空系统。首先对电子枪真空腔室的钛阳极、阴极和高压陶瓷分别进行表面处理及烘烤除气后确定材料表面放气率,然后对真空室压强进行模拟计算并确定配泵方案,最后在现场组装、检漏后对真空系统进行调试。调试过程中为了保证不能被直接加热的内部阴极杆在烘烤时充分除气,使用ANSYS-Fluent软件的S2S辐射模型对烘烤过程进行模拟并确定烘烤温度与时间。经过真空调试,电子枪腔内真空度为5.6×10~(-10)Pa,满足其极高真空设计要求。     

轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程.通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程.该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统.     

极高真空的获得和测量

简介 任何真空系统的性能,都是由真空室的材料、泵和真空计的选择而确定的。获得极高真空(低于10-9帕)的首要条件是使用放气率低的材料。现有的不锈钢和因康镍合金是合适的,这种合金在适当条件下,对于氢的放气率低于10-10帕·米·秒-1(10-13托·升·秒-1·厘米-2)。其次,要确切地了解泵和真空计的低压性能。由于测量和抽气极限之间互相干扰,满足后一要求常常是困难的。我们利用了低温泵提供压强与抽速以及低的已知放气率的材料无关的特点,获得了低于微微帕范围(10-12托)的压强,而且可以容易地求得任何测量装置的低压极限。沿用这种方法,我们…     

空间行波管专用排气工艺极高真空系统的研制

空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术,包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于1×10^-9Pa,多路带载真空度优于5×10^-9Pa,对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。     

极高真空测量和超高真空标准评论

一、绪论 空间探索、宇宙模拟、聚变反应、表面物理、材料研究和低温技术等尖端科学和工业的发展,给予真空技术以巨大的推动力量。六十年代标志着真空技术进展到一个崭新的阶段-极高真空(10-11-10-15乇)领域。 六十年代以来的十多年间,超高真空技术得到了更广泛的应用,极高真空获得有了迅猛的发展。1962年在双层壁深冷抽气系统中获得了推测为8×10-15乇的极高真空 (1,2)。随后,诸如采用深冷冷凝泵(3,4)绝对冷凝泵(5)、深冷分子筛吸附录 (6)、深冷霜吸附录(7)、吸气离子泵(8)、冷冻升华泵(9)等先进抽气手段的系统,都获得了≤10-12乇的水平。 …     

超高/极高真空校准研究进展

本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展.介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点.从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10~(-10)Pa～10~(-8)Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确.     

质谱法测量极高真空的若干问题

本文叙述极高真空残气分析质谱计的性能要求,以及影响极高真空残气分析的若干因素。 影响测量下限的因素是软X射线和其它辐射引起的光电发射和电子碰撞脱附(EID)。与X射线不同,电子碰撞脱附效应除和真空系统的历史、气体组分、电子流等因素外,还和离子源的结构有关。如果仪器设计和操作不当,EID效应将给测量带来很大误差。热阴极的存在是导致真空系统组分改变的主要原因,必须选择工作温度低的阴极材料。 一、引言 极高真空界限的划分至今还不统一。若从真空获得和测量的角度来看,将低于10-12托(10-10帕)的真空称为极高真空是较为确切的…     

极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。     

超高/极高真空测量发展综述

本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展.内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解.     

用国产锆—铝吸气剂获得极高真空性能的研究

本文从实验上研究了国产 Ｚｒ－Ａｌ１６非蒸散型吸气剂的放气特性、吸气速率及极限压力，给出了超高．极高真空状态的运转规范，首次获得了 ２．６×１０－１０Ｐａ 的极低压力，从而证实国产锆－铝吸气剂的性能接近国际同类产品水平。 为了更有效地使用吸气剂，本文提出了非蒸散型吸气剂的物理模型，由该模型出发推导出了表示吸气剂特性的一组方程式．运用该方程可解释实验结果及吸气剂的某些特性，同时给出部分和实验结果较好符合的理论结论。     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

空间行波管极高真空的获得与测量

空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10~(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质谱,并由此确定了空间行波管经济可行的烘烤排气时间。利用四极质谱计对空间行波管进行了检漏实验,结果表明四极质谱计具有很高的灵敏度,非常适合极高真空的检漏。建立了放气量极低的测量空间行波管真空度的测试平台。对空间行波管的老练、高低温实验、存储等过程的真空度进行了测试。空间行波管在进行老练时,管内真空度下降约一个数量级,经过140h老练后,在老练离子泵的抽气作用下,管内真空度上升到5.0×10~(-8)Pa,这时去掉老练离子泵,其真空度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验,并在室温下存储6个月,真空保持良好。这些结果为分析空间行波管质量提供了很好的依据。     

精密合金热处理用简易高真空热处理炉

前言以精密合金制成的仪表元件和试样,往往要经过一定规范的热处理,才能达到所期望的性能。这些元件或试样一般尺度较小,表面光洁度要求高。如资料和经验表明的那样,元件表面的轻度氧化即会对性能产生不良影响:弹性合金的后效增大,半硬磁材料矫顽力升高,精密电阻材     

真空系统内容积测定的简易方法

则kendall[文1]最近指出经常需要测定真空系统内容积,尤其对于半定量闪烁解吸质谱学该值是有一定要求的。本文所讨论的方法是在实验室里,通常以最短的时间和常用的设备进行测定的,它与其他方法的差异在于其他方法因系统形体复杂或向系统内充入液体而遇到种种困难。因此系统容积测定的两种常用方法是: (1)将一定量气体充入未知容积逐次测量其相对压差的膨胀法. (2)维持未知容积内气压不变逐次测量置换量的置换法。 后种方法是由kendall(文 1)导出的.它要求精致而复杂的设备.这里报导的是简用采易设备运用数学式推算的精确方法。 容积测定设备…