现场真空漏孔校准装置的设计

为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响,通过理论研究,设计了现场真空漏孔校准装置,可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运,装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置由抽气系统、校准室系统、真空漏孔连接系统、流量输出系统、充气系统、定容室与压力测量系统及烘烤系统等7个部分组成,复合了定容法及固定流导法两种校准方法,预计真空漏孔校准范围为5＆#215;10-10～5＆#215;10-5 Pa？m3/s,合成标准不确定度为10％。     

比对法校准真空计检定规程的编制

在真空计的校准工作中,为了统一真空量值,保证量值的精确传递.必须科学地制定检定规程.详细介绍了比对法校准的若干规定.符合国际标准的要求.对制定检定规程的意义和制定规程的依据.以及检定规程的主要内容和编制过程,都作了具体说明.使规程成为真空计量人员在比对校准真空计的工作中共同遵守的依据.在规程主要内容中,着重介绍了比对校准装置,在校准室的大小、形状、规管的安装位置、连接形状和连接长度诸方面,都有详尽的叙述.     

大型全金属超高真空规管比对系统

本文主要介绍了全金属超高真空规管比对系统。该系统具有大容积、全金属等优点。图１展示了系统装置：该系统装置的真空校准室容积为１９８升，规管及连接管道的总容积为 ４．２升，两者之比为 ４７．２倍，满足了 ＩＳＯ／ＤＩＳ ３５６８标准。该系统的极限真 空为 １．７×１０－９Ｐａ，校准范围为 １０－２～１０－８Ｐａ． ９只规管均匀地分布在校准室容器上 （图２），以便减少规管间的相互影响．讨论了影响压强稳定度和均匀性的因素（图３）。 例举了比对实验的实测结果（表 ２）。此系统满足了北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮 存环所用超高真空规管校准的需要，同时，也为其它用户提供良好的服务。     

一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计北大核心CSCD

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。     

一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计

针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,...     

实用超高真空比对校准系统

介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10^-7～10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

现场真空校准装置的设计

基于客户提出的在工作现场对真空计进行校准的切实需求,研究并设计了现场真空校准装置。该装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成。考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求,设计中采用了模块化分体式结构,复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等真空校准方法。可根据不同的校准需求,选配不同的模块和方法实现对真空计的校准。现场真空校准装置预计达到的技术指标是,校准范围为10-4～105Pa,合成标准不确定度小于7%。     

分流法超高/极高真空校准装置性能研究

分流法超高／极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10^-10 Pa的极高真空；采用的分流法真空规校准方法，使压力校准下限延伸到了10^-10 Pa；利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，使用惰性气体校准时，减小了校准下限的不确定度；校准装置的校准范围为（10^4～10^-10）Pa，合成标准不确定度为1．5％～3．5％。     

比较法真空标准漏孔校准方法研究

比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计提供的标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。     

几种热阴极电离真空计电参数校准及分析

通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的ZJ-27,ZJ-12,ZJ-10,ZJ-2等四种热阴极电离真空计进行电参数校准。通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法校准热阴极电离真空计电参数的可行性。     

Dynamic extension - A new principle for a vacuum primary standard for UHV-range (10-10 Pa) calibration of hot cathode ionisation gauges

The main obstacle in the construction of primary vacuum standards for very low pressures - ultra-high vacuum (UHV) - is outgassing from the walls of the apparatus. Thus, principles utilising a higher pumping rate in the calibration chamber, e.g., the pressure ratio technique, seem to be more useful for this range. However, a serious problem is inherent in this method, namely, that the gas in the calibration chamber is not in equilibrium and thus cannot be characterised by a single scalar pressure value, although such a value is then used to evaluate the measurement. This discrepancy can be overcome by using a hot cathode ionisation gauge as a transfer standard calibrated by the dynamic extension method.The dynamic extension method is explained and compared with the pressure ratio technique. The basic conditions for achieving acceptable uncertainty values are considered.     

Digitaler Gasdosierer im Grobvakuumbereich

Digital gas dosing device for rough vacuum Vacuum gauges are calibrated by comparing the gauge under calibration with a reference gauge. Both gauges are mounted at a vacuum chamber. Different pressures are generated in sequence, and at each pressure the readings of both gauges are recorded. In the coarse vacuum range, the pressures are usually generated by successive injection of gas into the chamber via a manually operated dosing valve. This procedure requires some time and also fatigues the operator's hand. Therefore, a digital gas dosing device based on electromagnetic valves was developed, which allows a faster und more precise pressure generation than the analogue dosing valve and which is also friendly to the operators hand. Dosing device and its usage are described.     

比较法真空规校准装置性能研究

比较法真空规校准装置是真空计量的主要工作标准,主标准器溯源到静态膨胀式真空标准装置。为了保证量值传递数据的准确可靠,对装置的不确定度进行了分析和评定,同时对装置的计量性能稳定性和重复性进行了测试和研究。     

放射性电离真空计的校准方法

主要介绍了放射性电离真空计结构、工作原理及放射性电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。放射性电离真空计修正因子采用阿伦方差进行不确定度评定,可以提高校准的准确度,确保卫星、火箭发射的安全。     

真空规原位置校准装置

介绍了一种真空规原位置校准的设备,以及原位置校准技术研究,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,同时可以满足真空规的在线原位校准。     

动态流导法真空校准装置的性能测试

介绍了动态流导法真空校准装置的校准原理、校准方法,测试了性能指标,校准了分离规和磁悬浮转子规.实验结果表明,校准范围为(2.6×10-7～2.4×10-1)Pa,不确定度小于1.4%,磁悬浮转子规的校准结果与德国PTB的校准结果的一致性好于1.6%.     

固定流导法校准真空漏孔方法研究

固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高.通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近,从而避免了四极质谱计的非线性影响.稳压室中的气体压力比较大,所以稳压室不需要特别严格的材料处理工艺,具体校准过程中也不需要彻底的烘烤出气就能得到纯净的单一气体.固定流导法校准真空漏孔的不确定度的评定值为2.6%,可以通过精确校准电容薄膜规和控制温度来进一步降低漏孔校准的不确定度.