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灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。实验结果验证了该方法的精确性:传感器样品的灵敏度测试值为42.462~44.460 mV/MPa,与仿真值之间的相对误差控制在3.3%以下,同时得到非线性低于0.16%的良好线性度以满足应用需求。 相似文献
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非接触式压力微传感器的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
非接触式压力传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条件下,由小扰度向大扰度过渡时,不产生非线性跳变,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。 相似文献
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为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法.建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析.设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制.实验结果表明,在士10 m/s2)的测量范围内,加速度计的标度因数为0.212 7,满量程输出电压为0.427 3 V,非线性度≤0.98%.该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制. 相似文献
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电涡流传感器输入/输出特性曲线具有很强的非线性,为保证仪表输入/输出的线性化关系,必须对电涡流传感进行非线性补偿。采用RBF网络对电涡流传感器进行非线性补偿,并将补偿结果与拟合函数法(最小二乘法)进行比较。结果表明:神经网络产生的补偿曲线更顺滑,预测性更强,补偿后的传感器线性度更好。 相似文献
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为了解决涡流传感器的非线性问题,应用遗传算法(GA)训练径向基函数(RBF)神经网络(NN)实现其非线性补偿.介绍非线性补偿的原理和网络训练方法.从实测数据出发,建立了涡流传感器的非线性补偿模型.该方法能同时优化网络结构和参数,具有全局寻优能力,补偿精度高、鲁棒性好、网络训练速度快、能实现在线软补偿.实验结果表明,所采用的涡流传感器非线性补偿方法是有效的和可行的.补偿后,最大非线性误差在0.5%范围内,具有良好的线性. 相似文献
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压力传感器技术是传感器技术中最早建立及发展起来的领域之一,但依然不能适应当前飞速发展的现实需要。主要问题是价格昂贵、输入-输出特性非线性严重以及难以敏感微小的压力。 美国Silicon Microstructures Inc(SMI)(EXAR公司的一个全资子公司)开发了一系列低价位、线性度在0.1%及 相似文献
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MATLAB作为数学工具,在各行各业发挥着巨大作用。而电涡传感器作为一种非接触式的位移传感器,具有灵敏度高、线性范围大、频率范围宽,抗干扰能力强等优点。本文首先介绍了电涡流传感器的基本原理。并在传感器的后续标定过程中采用MATLAB数学工具对采集到的数据进行拟合运算,得到电涡流传感器的非线性度特性,对传感器的检测有很大帮助。 相似文献