微机电系统技术的发展趋势研究

微机电系统技术作为新的技术领域,已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类,指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。     

微机电系统CAD的研究分析

概述了微机电系统CAD的研究进展，重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同。总结了微机电系统CAD的技术特点，并据此提出了微机电系统的设计原则，还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。     

微机电系统科学与技术的现状研究

概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem——MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述了MEMS的主要研究内容。简要介绍了MEMS的基本加工技术，实际应用情况以及国内外MEMS的研究发展现状。     

微机电系统在计量领域中的应用

MEMS技术的出现使得开发小型化、低成本、高安全性和高可靠性的计量仪器成为可能。微型机械电子系统（MEMS,Microelectromechanical systems）是一种机械结构和电子设备在微米量级的集成化系统,体积小、重量轻,适合大批量生产,并能够实现机、电、热、光等多物理场器件组合等优点,非常适合计量系统的大批量生产和应用,将给计量技术的发展带来巨大的变革。通过微机电系统在计量领域中的应用,证明了MEMS已经拓展成为一种＂使能技术（Enabling technology）＂,这种技术可以将多种机、电、热、光等器件集成于一体,不但能感知和处理信息,还能通过机械机构的动作对系统进行控制,并且使系统结构体积缩小,重量降低,测量功能扩展,使计量技术产生了一个质的飞跃。     

微机电系统在计量领域的应用

介绍了MEMS技术及其发展现状,介绍了MEMS技术在计量仪器中的应用及发展前景。     

生物微机电系统与生物芯片技术进展

评述生物微机电系统和生物芯片的最新进展；能够在液体中操纵单个细胞的微型机器人和生物分子电机驱动的内米器件代表了当前生物微机电系统的最新成就。使用纳粒子探头的扫描DNA检测技术和把生物分子亲和识别信息转换为纳米机械变形的检测技术是2种全新的生物芯片检测技术；蛋白质芯片在后基因组时期将发挥重要作用；带有扩散阱阵列的纳米流体分离器件、集成纳升DNA顺和细胞电穿孔芯片则分别反映了生物芯片在分离新模式、微分析系统集成和细胞控制方面的研究现状。单元尺寸趋向纳米量级及系统集成度不断提高是总的发展趋势。     

微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。     

《微机电系统（MEMS）》专题文章导读

回顾近30年的科学发展史可以看出，发展最快、微小型化最成功的是电子器件。相比之下，非电子器件小型化的速度要慢得多。早在1959年物理学家Richard Feynman就提出了“There’s plenty of room at the bottom．”的观点，1982年Petersen K．E．在IEEE会议上发表了“Silicon as Mechanical Material”一文，     

光造型技术在微机电系统中的应用研究

在分析了当前制作微机电系统的几种技术的基础上，采用自由度较大的、制作复杂结构能力较强的光造型（SL）技术。研究过程中在以下方面有所进展与创新；STL文件纠错、CAD直接切片、固化单元研究、提出与传统机械设计不同的设计思想及方法等。为解决光造型技术在微系统的设计及加工过程中存在的问题提出了以下措施；在微机电系统设计中采用虚拟现实技术；改进制造工艺以提高精度和速度；利用多种复合材料制作微零件；结合多种微细加工技术微系统整体制造工艺。     

纳米硬度计及其在微机电系统中的应用

微机电系统（MEMS）技术的迅速崛起，推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的NanoInkdenterXP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果，说明它在微机电系统中的应用。     

虚拟现实技术在国外钢铁工业中的应用

从虚拟试运行系统和和虚拟培训系统两个方面介绍了虚拟现实技术在国外钢铁工业中的应用。虚拟试运行系统已应用于紧凑式无头连铸连轧产线、电炉设备和薄板坯连铸连轧产线,虚拟培训系统主要应用于高炉、转炉、连铸、热轧和中厚板的生产。通过应用虚拟现实技术,钢铁企业可以节约设备成本,缩短工期,并在试运行、操作和维护阶段测试控制参数,验证控制程序,检查运行状态。     

简介虚拟制造中的网络虚拟现实技术

介绍了网络虚拟现实建模语言（VRML），VRML具有动态对象描述和超链接、通用性、扩展性、易实现性等特点。VRML浏览器和生成VRML文件的工具广泛使用于多种平台的计算机，是虚拟制造VM与虚拟设计中的网络虚拟现实技术的基础。     

微型光机电系统

微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。     

基于虚拟现实的汽车设计与展示系统研究与开发

介绍了虚拟现实技术的基本知识以及虚拟现实软件EON Studio的基本工作原理及其脚本节点的应用,以某汽车模型为应用对象,建立了1个基于EON Studio的汽车设计系统,详细叙述了整个系统的创建过程。     

CAE与虚拟现实结合中的一种数据接口

如何将虚拟现实技术应用到CAE中是当前的一个新兴课题。而在对大型商业CAE软件中所建的有限元模型进行真实感处理的过程中,数据格式的转换是一个首要的问题。本文对CAE与虚拟现实结合中的几何数据接口进行了探讨与实现。本文详细介绍了Nastran中使用的输入文件BDF文件的格式以及如何将其转换为能被Multi-Gen导入的STL格式,以实现有沉浸感的有限元模型可视化效果。     

虚拟现实软件工具集

近年来,虚拟现实(VR)作为一种最新的人机交互技术,得到了越来越多的应用和研究.为了高效、快捷地建立一个虚拟现实系统,选择合适的开发工具是非常重要的.文中对一些常见的虚拟现实软件工具集进行了集中介绍,以便为相关领域的开发人员提供便利,帮助他们根据具体的应用需要选择合适的开发工具.     

虚拟现实技术及其城市漫游系统

介绍了虚拟现实技术的特点及其在城市漫游领域的初步应用,探讨了城市仿真环境的构建原理及实现方法,并利用图形丁作站和三维建模及演示软件达到了在虚拟环境中交互式漫游的目的,结合宁波市科技园区实时漫游系统,给出了一个具体的应用实例。     

虚拟现实技术在数控技术教学中的应用

介绍了虚拟现实技术的概念、基本特征与类型，并从虚拟现实技术的特点和应用出发，论述虚拟现实技术在教育领域，尤其是在数控技术教学中的应用，从而丰富了数控技术教学与培训的方法和手段，提高了数控技术教学的效果和质量。     

虚拟现实技术及其在液压教学中的应用

本文简要介绍了虚拟现实技术的基本特征及其关键技术,并根据当前教学现状,指出虚拟现实技术在现代教学中的应用,进一步探讨了基于计算机仿真技术的虚拟教学形式,探索新的教学模式和方向。最后阐述了目前高校液压传动教学中应用虚拟现实技术所存在的问题及其解决方案。     

虚拟制造技术及其应用

虚拟现实（ＶＲ）是一个正在发展的高新技术,它允许用户在一个采用计算机生成的三维的动态的虚拟环境中活动或与之相互作用。虚拟制造（ＶＭ）是ＶＲ技术和计算机仿真技术在制造领域的发展及应用,是敏捷制造的关键技术之一,它试图将与制造有关的各项技术在一个共同的平台上集成在一起。本文介绍了虚拟制造的概念、特征、所需技术及其在先进制造技术上的应用实例。