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本文以日本千野制作所的湿敏元件产品为例,较为详细地论述了高分子薄膜电容式湿敏元件的工作原理、特点、检测电路和应用系统等。 相似文献
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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构,温度传感器采用半导体氧化物NTC材料的厚膜顺采用高分子电阻型结构,从而实现了温湿一体化,这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便,而且独湿敏元件的温度补偿更为准确,并且具有体积小、价格廉、晚皇集成、使用方便等特点。 相似文献
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本文报道的钴铁尖晶石多孔湿敏陶瓷,具有电阻率低,电阻和相对湿度呈线性关系的特点。该材料制成的湿敏元件不需要加热清洗,性能稳定。以石墨粉为造孔剂制成多孔湿敏陶瓷,可以提高湿敏元件的湿度灵敏度,并且有利于改进湿敏元件的长期稳定性。最后,讨论了石墨的钝化作用。 相似文献
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通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。 相似文献
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新型温湿敏集成传感器研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种新的湿敏薄膜材料Ta_2O_5和一种新的硅衬底材料SOI/SDB的制备技术及它们的特性,给出了包含P-N结温敏元件的FET湿度的传感器结构及其特点. 相似文献
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一种新的高分子湿敏传感特性的计算方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对高分子湿敏元件的湿度温度系数具有一定分布范围,在不同的相对湿度下其温度湿度系数又有所区别的问题,提出了一种基于插值法任意温度下高分子湿敏传感特性的计算方法,该方法可以推广应用到存在相似问题的其他类型传感器。 相似文献
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高分子材料和湿度传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
<正> 目前,使用高分子材料巳可制成各种传感器。采用高分子材料制成的湿度传感器具有精度高、重复性好、计测简便、制造容易等特点。这种湿度传感器的结构一般都比较简单,大体上都是将高分子感湿材料放在上电极和下电极之间,使其成为不短路的装置。此外,为了使它的响应性能更好,应尽量使高分子感温材料薄膜化,一般膜厚最好在1μm以下。利用高分子材料制成的湿度传感器主要有四种。 相似文献
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一种季胺盐型高分子材料的合成和表征
及其湿敏特性的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在化工业、建筑业、造纸业、皮革业等许多领域,丙烯酸树脂是一个重要的角色~([1]),近来,我们发现用它可以作为高分子湿敏材料,它成膜性极好,对湿度有较敏感的响应,但其耐水性较差,我们通过改进湿敏元件的制作工艺,在载片上增涂一层保护膜,有效地克服了它在应用中的这一缺点. 相似文献
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氯化锂型电解质湿敏元件怕结露、不耐污染的弱点为众人注目。作者利用光化学原理制作的硬化树脂电解质感湿材料,研制成工作温度达80℃的线性组合式湿度传感器,它的显著特点是耐湿和耐污染。本文介绍这种新元件的研制原理,性能特点和对耐湿、耐污染和耐温性能所作的可靠性试验。 相似文献
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超微粒氧化铁薄膜的敏感特性研究 总被引:3,自引:1,他引:2
随着半导体技术和微电子技术的发展,半导体气敏元件的品种、数量和质量都有了很快的发展。为了满足信息社会对气体传感器小型化、集成化和智能化的要求,气敏材料正在向超微细化、薄膜化和复合化的方向发展。超微粒薄膜气敏材料由于具有工作温度低、灵敏度高、响应恢复快、易集成、一致性和稳定性较好的独特优点,在近期内得到了很大的发展,并且成为当前气敏材料研究的热门课题。 本文采用PCVD法生长出均匀透明的非晶氧化铁敏感膜,经热处理而制备的薄膜型气敏元件,无需掺杂便具有优良的气敏性能,显示出良好的应用前景。 相似文献
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<正> 引言 众所周知,湿敏元件的功能是检测环境空间湿度的电测元件,通常有电解质、高分子、半导体陶瓷这三大类型,不管是属于那一种类型的湿敏元件它都由感湿、电极、结构这三个部份所组成。 湿敏元件电极的理想特性应当是: 相似文献