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研究了在钢和Al中脉冲注入Ti和Mo的条件下金属间化合物形成的规律及生长机理,给出了金属间化合物生长与靶温的关系,得出的实验结果与计算相符合。与电镜中退火原位观察结果比较发现,注入过程中金属间化合物生长温度(400℃)比退火中金属间化合物生长温度(600℃)低得多,说明注入过程中空位流和间隙原子流能促进金属间化合物的生长。通过脉冲注入已得到十余种金属化合物和金属间化合物,这些化合物的出现提高了注入 相似文献