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在碳化硅表面使用高温磁控溅射法制备铝薄膜过程中有时会出现异常“斑点”现象,针对出现该异常现象可能的原因进行了研究,确认其主要因素为溅射温度和溅射功率,SiC表面状态和金属体系对异常现象的出现影响很小。采用白光干涉仪测定正常和异常区域表面形貌和粗糙度,结果表明“斑点”区域粗糙度明显低于正常区域,两者分别为1.7和5.6 nm。采用聚焦离子束分析技术对比剖面结构差异,发现“斑点”区域存在明显晶粒合并现象,金属表面晶界比正常区域少很多。“斑点”形成的可能原因是沉积过程温度过高,导致Al膜沉积初始成核过程中大量晶核合并、晶界消失,从而表面粗糙度显著降低。 相似文献
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首先分析了可能形成斑点的几种化学元素,再从95%Al2O3陶瓷生产过程中原料、设备、工艺以及环境等方面,分析讨论了斑点产生的原因,最后提出采取的有效预防控制措施。 相似文献
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超声图像中的特殊斑点噪声严重影响了图像质量,针对此问题提出了一种基于Nakagami分布的自适应斑点抑制与边缘增强方法.根据斑点噪声的Nakagami分布模型,设计一个基于斑点局部统计特性的自适应滤波器.并应用"窄条"技术以不同方向与长度的"窄条"来近似图像的局部线性特性,滤波区域采用"窄条"代替常用的方形窗口,其中"窄条"的方向由假设试验优化方法确定,"窄条"长度与斑点的局部统计特性相关.实验证明,该方法在抑制斑点噪声、保留与增强图像边缘和细节方面均具有良好的性能. 相似文献
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王立军王聪张润铭高荷笑 《真空电子技术》2023,(5):1-10
阴极斑点是真空电弧等离子体的重要源头,而真空电弧阴极斑点烧蚀形貌形成的过程是对阴极斑点特性展开研究的基础,对于提高真空电弧相关设备的性能及寿命有重要的理论指导意义。为对真空电弧阴极斑点烧蚀形貌形成的过程进行系统性的回顾,本文从实验与仿真两方面的研究现状进行了综述分析。论文总结分析了国内外对阴极斑点微观行为的实验研究,从建模仿真的角度综述了阴极斑点理论模型的发展历程,进一步对阴极斑点烧蚀形貌二维与三维模型的主要仿真结果总结分析。通过仿真与实验结果对比,讨论了现有真空电弧阴极斑点烧蚀形貌形成过程的实验与仿真研究存在的不足,并对其进一步展开研究进行了展望。 相似文献
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本文介绍几种常用的观察和分析氧化铅摄象管靶面斑点的方法。研讨各种斑点形成的机理和制作工艺、原材料纯度对氧化铅摄象管斑点形成的影响,提出减少和消除各种斑点的工艺措施,使氧化铅摄象管的斑点得到改善。 相似文献