硅静电和准静电微马达的研制

本文介绍的静电可变电容型和准静电感应型两种马达的转子直径均为16μm.研制出了槽宽为4μm、槽深为0.3μm的泵入式螺旋槽微止推空气轴承,以减小摩擦力.     

微型驱动器及其测试技术

微驱动器是微型机电系统的关键部分。本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器，并介绍了微驱动器的测试技术。     

微型全方位移动机器人的研制

本文介绍了采用2毫米电磁型微马达作为驱动器的移动微型机器人．其整体尺寸为10mm×6mm ×5mm．作为微型机器人的核心部件,微马达采用电磁型轴向磁通结构以获得较大的输出力 矩．该马达的设计创新还在于其控制上可以在不同的阶段采用同步电机和步进电机两种 控制方式．微型机器人的控制器通过超细直径的柔性导线与机械结构相连,创新的结构设计 使得机器人的转弯半径非常小,将导线连接的影响降至极小．通过算法可以控制该机器人前 进、后退、灵活转弯．本文详细论述了该微机器人的设计、制作、结构部件和性能．     

一种压电纳米马达的运动动力学分析

利用压电晶体的逆压电效应，设计并制作了一种纳米精度步进马达．将实际结构简化为理论模型，从理论上对马达的动态特性进行分析，获得了纳米马达步进运动的一些参数判据，并对马达的步进运动特征进行了软件模拟．     

基于电磁微马达的移动微机器人驱动控制

介绍一种基于MEMS技术制作的电磁微马达驱动的毫米级移动微机器人及其控制方案。该微型机器人体积为 9.5mm× 9.5mm× 9.5mm ,共有 3个微马达 ,两个用于轮子驱动 ,另外一个通过 3∶1的减速装置来控制微机器人全方位转动。微马达的直径只有 5mm ,是由微细加工工艺制作的。文中设计了一种新颖的控制电路 ,其核心使用微控制器 (MCU)AT90S85 15 ,通过键盘可以实现微机器人前进、后退、左转、右转和加速、减速 6种动作 ,并介绍了微马达的驱动控制方法和程序设计     

亚毫米多晶硅微齿轮的初步研制

自1989年美国加里弗尼亚大学报导采用IC技术首次成功地制作了微型静电电动机(转子直径为60μm和120μm)之后,以硅材料为主的微机械加工技术得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.微齿轮是微电动机的主要构件,通过它的研制,可以全面了解和     

液压马达在首钢京唐5500m~3高炉上料主皮带的应用

首钢京唐钢铁公司是国家＂十一五＂发展的重点项目,其5500m3高炉是目前国内第二大、世界前列的特大型高炉。本文重点介绍了2#高炉上料主皮带液压马达系统的配置结构、液压马达控制系统功能特点及工艺控制程序,着重阐述了液压马达在上料主皮机的应用特点,旨在探讨大型高炉上料皮带驱动新方式。     

电磁微马达驱动全方位永磁轮式爬壁微机器人

介绍了一种全方位微型轮式爬壁机器人.将轴向磁通电磁微马达与永磁轮集成在一起,实现驱动吸附一体化设计.采用一套转向齿轮和三个永磁轮,设计了全方位的爬壁机构.通过动力学分析,导出微机器人爬壁所需的力矩和磁力,并结合永磁轮自身的设计约束,采用ANSOFT和Pro/Engineer仿真对其尺寸进行了优化,从而在相司负载的情况下...     

微机器人技术发展现状

概述 1.自从美国加州大学贝克利分校于1987年首次研制成功Φ60～120μm的静电型微马达以后,近年来的微机械研究(在美国称为MEMS)仍趋上升趋势。据统计,美国国家科学基金会从1988年起开始资助MEMS的基础研究,每年投入200～300万美元,国防部从1992年起拨款支     

航空发动机燃油力矩马达控制电路设计

针对力矩马达在航空发动机电子燃油控制装置中应用的特点,结合力矩马达的工作原理,详细分析了力矩马达的控制特性,采用基于电流负反馈方法实现力矩马达快速、精确控制,并对电路的设计原理与结构进行了分析;通过仿真软件Multisim仿真和试验验证,结果表明,所设计的控制电路能够满足航空发动机燃油控制的需求.