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相似文献
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1.
微电子光刻设备国内外现状   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

2.
介绍圆片级封装的设计考虑、基础技术、可靠性、应用情况及发展趋势。  相似文献   

3.
制作圆片级封装凸焊点的垂直喷镀机研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了为满足微电子新颖封装——圆片级封装(WLP)在硅圆片上制作凸焊点的需要,根据有限元分析模拟优化,设计研制了FEP-1垂直喷镀机。该机可用于φ100-φ150mm(φ4-φ6英寸)圆片上电镀Au、PbSn、In等凸焊点。在150mm液晶显示驱动电路硅圆片上,用该电镀机电镀制作出了合格的高度为17μm、间距为20μm的金凸点。  相似文献   

4.
介绍了圆片级封装的定义、状况及支撑技术。  相似文献   

5.
受控倒塌芯片连接新工艺是一种由IBM公司开发、由Suss Micro Tec公司推向商品化的新型焊凸形成技术。受控倒塌芯片连接新工艺采用各种无铅焊料合金致力于解决现有的凸台。形成技术限定,使低成本小节距焊凸形成成为可能。受控倒塌芯片连接新工艺是一种焊球转移技术,熔焊料被注入预先制成并可重复使用的玻璃模板(模具)。这种注满焊料的模具在焊料转入圆片之前先经过检查以确保高成品率。注满焊料的模具与圆片达到精确的接近后以与液态熔剂复杂性无关的简单工序转移在整个300mm(或300mm以下)圆片上。受控倒塌芯片连接新工艺技术能够在焊膏印刷中实现小节距凸台形成的同时提供相同合金选择的适应性。这种简单的受控倒塌芯片连接新工艺使低成本、高成品率以及快速封装周期的解决方法对于细节距FCiP以及WLCSP凸台形成均能适用。  相似文献   

6.
本文对圆片级封装的定义、演变、进展状况及支撑技术进行了介绍和分析评论。  相似文献   

7.
本文介绍了一种当前正在快速发展的微电子器件的新颖封装-圆片级封装(WLP)的定义,主要优缺点,焊盘再分布和植球等主要工艺过程等。  相似文献   

8.
2009年4月22日,德国便携式晶圆片级照相机零部件生产商Nemotek技术公司购买了SUSS的多项光刻设备。SUSS是三维集成、先进封装、MEMS、纳米技术等创新方案的设备供应商。此次订购包括200mm生产性光刻机、涂胶台、烘烤、显影设备。  相似文献   

9.
圆片级封装技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
圆片级封装(Wafer-LevelPackaging,WLP)已成为先进封装技术的重要组成部分,圆片级封装能够为芯片封装带来批量加工的规模经济效益。在圆片规模上开始加工,结束于芯片规模的圆片级封装技术将在面型阵列倒装芯片的封装中得到日益广泛的应用。圆片级封装加工将成为业界前端和后端之间的高性能衔接桥梁。综述了圆片级封装的技术及其发展趋势。  相似文献   

10.
本文论述了当前IC封装发展趋势、未来IC封装的支柱。  相似文献   

11.
后摩尔时代的封装技术   总被引:2,自引:2,他引:2  
介绍了在高性能的互连和高速互连芯片(如微处理器)封装方面发挥其巨大优势的TSV互连和3D堆叠的三维封装技术。采用系统级封装(SiP)嵌入无源和有源元件的技术,有助于动态实现高度的3D-SiP尺寸缩减。将多层芯片嵌入在内核基板的腔体中;采用硅的后端工艺将无源元件集成到硅衬底上,与有源元件芯片、MEMS芯片一起形成一个混合集成的器件平台。在追求具有更高性能的未来器件的过程中,业界最为关注的是采用硅通孔(TSV)技术的3D封装、堆叠式封装以及类似在3D上具有优势的技术,并且正悄悄在技术和市场上取得实实在在的进步。随着这些创新技术在更高系统集成中的应用,为系统提供更多的附加功能和特性,推动封装技术进入后摩尔时代。  相似文献   

12.
在IC设计中如果没有充分考虑封装需要,可能会带来一些问题,甚或影响IC性能。本文将讨论与IC设计有关的一些封装要求。  相似文献   

13.
IC封装中的热设计探讨   总被引:1,自引:1,他引:0  
简要介绍了集成电路各项热阻的含义及热阻的测试方法,并从封装材料的热传特性、电路的封装形式以及电路的内部机械参数等方面,探讨了改善集成电路热阻的方法,供从事封装热设计的工程技术人员参考.  相似文献   

14.
通过在动力系统中安装变频器、暖通空调机组由全自动控制改人工与自动相结合的控制方式、冬季电制冷改自然制冷等方面进行了实践与探索。  相似文献   

15.
MEMS加工技术及其工艺设备   总被引:3,自引:1,他引:2  
微电子机械和纳米技术的研究覆盖了亚微米到纳米尺寸的特征范围,它主要依靠光刻和图形转换设备和工艺获得,但又不仅限于半导体加工范畴。光学光刻设备、感应耦合等离子体刻蚀,金属的溅射涂覆,金属的等离子体增强CVD、介质隔离、掺杂注入、粒子柬微写设备和X射线源可以看作MEMS和纳米技术的机械加工手段,其各有独具的优势限制。现正被用于定制的MEMS器件到真空微电子器件和新颖的纳米工具的研究与开发应用。抗蚀剂喷涂技术为复杂形貌的MEMS器件光刻提供了高均匀性作图的厚胶基础。对于MEMS技术进入产业化的主要技术瓶颈-MEMS封装技术研究与开发已成为当今世界各国关注的热点。同时,对于MEMS器件的测试技术的研究,目前在国际上也引起了高度的重视。  相似文献   

16.
本文简要叙述了无铅化立法确定的最后期限、凸点成形工艺、晶圆片凸点成形电镀技术、凸点下金属化及可靠性问题和无铅化材料的发展方向。从而说明,通过漏印板印刷和电镀的晶圆片凸点形成技术事例,证明可靠的无铅化技术是适合的。  相似文献   

17.
依据Web服务互操作性组织发布的WS-I基本概要1.1(WS-IBasicProfile1.1),利用WS-I TestTools测试工具,搭建Soap应用测试环境,对概要文件进行了测试应用分析。  相似文献   

18.
本文介绍了圆片级封装的设计考虑、基础技术、可靠性、应用情况及发展趋势。  相似文献   

19.
微电子封装业和微电子封装设备   总被引:5,自引:1,他引:4  
介绍了国际和国内半导体封装业的发展情况及几种新颖封装,指出中国即将成为国际半导体封装产业的重要基地之一,这为我国发展半导体封装设备提供了良好的市场前景,例举了有关半导体封装工艺、检测、试验及支撑所需的设备。  相似文献   

20.
微电子封装与设备   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文介绍了目前国际微电子封装的发展趋势,阐述了我国微电子封装发展的特点,说明了发展微电子封装设备的必要性,并提出发展我国徽电子封装设备的几点建议。  相似文献   

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