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微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究 总被引:2,自引:2,他引:0
通过四因素三水平正交实验,对微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺进行了研究.采用单位时间试样厚度变化表征抛光速度,以平均粗糙度表征抛光质量.获得了以优化抛光质量为目的的工艺参数:抛光压力:0.05 MPa;主轴转速:200 r/min;偏心距:105 mm;抛光时间:60 min.在该条件下获得了表面平均粗糙度为2.86 nm的超光滑表面,并且抛光速率为12.35 nm/min,并对抛光因素对表面质量和抛光速度的影响趋势进行了分析. 相似文献
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调节自配抛光液的H2 O2含量、pH值、抛光盘转速和抛光压力,通过电化学实验,探究单晶硅互抛抛光过程中抛光工艺参数对腐蚀电位、腐蚀电流和抛光速率的影响规律,并解释其电化学机理.实验结果表明:雾化施液单晶硅互抛抛光速率随着pH值、H2 O2浓度和抛光盘转速的增大呈现先增大后减小的趋势,并在pH值为10.5、H2 O2浓度为2%、抛光盘转速为70 r/min处达到最大值,随着抛光压力的不断增大而增大;通过雾化施液单晶硅互抛抛光实验得到合理的工艺参数:pH值为10.5、H2 O2浓度为2%、抛光盘转速为60 r/min、抛光压力为7 psi,在该参数下,硅片的抛光速率达到635.2 nm/min,表面粗糙度达到4.01 nm. 相似文献
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不锈钢杯内壁的电化学抛光 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了双极性电化学抛光的基本原理,采用该方法对不锈钢杯内壁进行了抛光工艺研究,确定了抛光工艺.结果表明:用双极性电化学抛光法对不锈钢杯内壁进行抛光,可以得到理想的抛光效果,而且解决了采用传统的电化学抛光法抛光不锈钢杯内壁存在的阴极安装困难而且易短路等问题. 相似文献
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通过技术及现场施工人员不断的实践和探索,对抛光工艺不断完善,实现了使用抛光方法处理流挂质量问题的突破,达到了高效、高质、降低成本的目的. 相似文献
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本文使用陶瓷抛光渣取代天然石英粉制备纤维增强硅酸钙板,探讨了陶瓷抛光渣的掺量对纤维增强硅酸钙板抗折强度的影响,并通过XRD和SEM分析了陶瓷抛光渣的掺入对纤维增强硅酸钙板内部的矿物晶体种类、结晶程度和晶体形貌的影响.实验结果表明,掺加陶瓷抛光渣不会改变纤维增强硅酸钙板内部主要矿物晶体的种类,但是矿物晶体的发育程度会随着掺量的增加而降低,并最终使纤维增强硅酸钙板的抗折强度下降.少量的陶瓷抛光渣取代石英粉生产纤维增强硅酸钙板是可行的,考虑到生产和工程实际,陶瓷抛光渣取代石英粉的取代量应控制在15%以内. 相似文献
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以硅溶胶为原料,通过化学沉淀法对硅溶胶进行铈锆改性,制备出抛光用单分散的CeO2/ZrO2硅溶胶复合磨料.考察了不同铈锆掺杂量的CeO2/ZrO2硅溶胶复合磨料对蓝宝石晶片抛光性能的影响,研究了CeO2/ZrO2硅溶胶复合磨料对蓝宝石晶片的抛光机理.通过透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)-能谱仪(EDS)、X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)对样品的组成、形貌等进行表征.以所制备的复合磨料对蓝宝石晶片进行抛光,利用原子力显微镜(AFM)检测抛光后的蓝宝石晶片表面粗糙度.结果表明:CeO2/ZrO2硅溶胶复合磨料中最佳的铈锆掺杂量为:铈掺杂量为1.5wt%,锆掺杂量为1.0wt%,材料去除速率可以达到36.1 nm/min,表面粗糙度可以达到0.512 nm,而相同条件下纯硅溶胶抛光后的蓝宝石表面粗糙度为1.59 nm,材料去除速率为18.4 nm/min,该复合磨料表现出较好的抛光性能. 相似文献
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铌酸锂晶体的抛光机理及精密加工工艺 总被引:3,自引:0,他引:3
采用Stober法制备了平均粒径分别约为50nm和300nm的SiO2抛光液.通过透射电镜、粒径测定仪、zeta电位仪测试和分析了制备的SiO2抛光液的粒径分布、分散度和稳定性.结果表明:抛光液中SiO2溶胶颗粒为球形,溶胶粒子的分散度小,并且具有较好的稳定性.用制备的粒径分别为50nm和300nm的SiO2抛光液对铌酸锂晶体样品进行化学机械抛光,研究了压力、抛光盘速度、抛光液流量及时间对抛光过程的影响.抛光结果表明:采用粒径为50nm的SiO2抛光液的抛光效果最好.最佳抛光工艺参数是:采用沥青抛光盘,50nm的SiO2抛光液,转速为40r/min,抛光液流量为3mL/min,压力为17kPa,抛光时间为60min,去除率为30nm/min.采用激光平面干涉仪、原子力显微镜检测了抛光后样品的面型精度和粗糙度,样品的最佳面型精度为0.134λ(λ=0.6328nm),粗糙度为0.32λ. 相似文献
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针对铝材酸性电解抛光工艺废水污染严重的问题,对碱性电解抛光工艺进行了研究,并确定了碱性电解抛光中各种药品的用量及运行条件。结果表明:碱性电解抛光技术在一定程度上能够满足铝材抛光的需求。通过实验,获得了抛光效果好、使用寿命长、无磷的抛光液。 相似文献
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银电化学抛光工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用电化学抛光方法对银进行了表面处理,考察了抛光液各组分以及主要工艺参数对抛光效果的影响.结果表明,经本工艺抛光后的银表面光亮、清洁,达到镜面效果.抛光液组成简单,维护方便,操作安全,是一种理想的银电化学抛光工艺. 相似文献
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