10cm×30cm矩形射频离子束源的研制

本文介绍了射频(Radio frequency,RF)感应耦合等离子体(Inductive couple plasma,ICP)离子束源的设计研究.该射频离子束源可工作于Ar,在使用四栅引出系统时,可获得100-1000 eV的离子束.当射频功率为900 W,在Ar为工作气体时,束流可达到600 mA.在束流为120 mA时,距源26 cm处,在主轴方向27 cm的范围内不均匀性小于±6%.该离子束源可作为大面积离子束刻蚀、离子束抛光等的离子束源.     

硅基体的金属钼反冲注入

在某基体的表面,真空蒸镀一层其它材料的薄膜,用离子轰击时将引起原子级联碰撞而导致基体原子和薄层原子的混合,特别是在界面区域的混合。所谓反冲注入是指薄层原子在此过程中进入基体的现象。目前,离子束混合已开始应用到半导体器件及金属等材料改性的领域中。     

离子束分解卤化物涂层镀膜技术的初步实验

离子束轰击化合物涂层镀膜是七十年代发展起来的一种新方法。本文叙述了用这种方法在硅片和玻璃片上形成钯膜的过程,并给出了用扫描电子显微镜和俄歇电子谱仪观察分析的结果。最后讨论了镀膜的机理和可能的应用。     

强脉冲离子束辐照混合的RBS研究

采用卢瑟福背散射(Rutherford backscattering spectroscopy,RBS)方法对强脉冲离子束辐照Ti/Al、Al/Ti和Ni/Ti三组薄膜/衬底体系所形成的混合层进行了研究.在Ni/Ti组合中形成了厚度比离子射程大得多的、混合度较高的梯度混合层.发现熔融态混合的程度不仅取决于两材料在熔融态的表面张力的差别,而且取决于它们熔点的差异.这两个参量较接近的混合程度较好.     

C—N多晶的离子束合成及分析

介绍了用离子束合成法研制新型材料β－Ｃ３Ｎ４的条件及过程，用ＲＢＳ、ＸＲＤ等手段分析研究该方法生成物的配比、结构和物相，观察到ＣＮ化合物多晶。     

IS-A离子源的实验研究和初步应用

为加热HT-6M托卡马克等离子体而研制的IS-A十厘米双潘宁离子源具有强流、大功率、高质子比等特点。经过进一步的发展,该源可以引出多种气体离子束,以满足不同实验的需要。本文详细地研究了几何结构和运行条件对源等离子体的影响。报道了该离子源在其它领域中的初步应用。     

Au/Si体系离子束混合层的透射电镜研究

用剖面制样技术对在150K、293K、373K温度下Ar离子束混合的Au/Si界面层进行了透射电镜研究,获得不同深度的一些结构细节。     

聚焦离子束技术最近进展

本文评述了聚焦离子（ＦＩＢ）技术的最新进展。这些技术包括离子植入，离子束辅助蚀刻和沉积以及就地制造，由于ＦＩＢ的无掩模能力和高电流密度，发现ＦＩＢ作为一种显微外科手术工具的在超大规模集成（ＵＬＳＩ）器件或材料分析以及就地制造方面有重要应用，最近的聚焦离子束系统能产生直径小于１０ｎｍ的聚焦离子束，而且作为纳米制造工具的重要性也日益增加，使用ＦＩＢ主要在ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ异质结构中制造了各种小尺寸     

重离子束对牧草的改良

采用80MeV／u^20Ne^10 离子束贯穿处理豆科与禾本科牧草种子,大田和根尖细胞观测的结果表明,随着贯穿剂量的增加,幼苗生长明显减弱,呈负相关性。而染色体畸变率和微核率随剂量的增加而显著增加,呈正相关性。同时,从大田长势来看,禾本科牧草比豆科牧草对重离子辐射敏感性强,禾本科牧草适宜剂量为20-30Gy,豆科牧草为150Gy。     

离子束注入酪氨酸分子的剂量效应研究

研究发现，氮离子束注入酪氨酸（Ｔｙｒ）样品具有与传统的γ射线不同的剂量效应规律。并从物理机制入手分析了这一特殊规律形成的根源，导出了这一规律所遵循的数学解析式，体现了质量沉积效应的重要性。     

中国科学院物理研究所的离子束分析及离子注入改性研究

介绍了中国科学院物理研究所离子束研究室的主要设备、分析方法、离子注入材料改性研究以及近年来在半导体材料、高Ｔｃ超导材料、环保等领域中的研究工作。     

氮离子束注入对玉米体细胞培养影响的初步研究

将能量为６０ｋｅＶ、剂量为２×１０＾１６Ｎ＾＋／ｃｍ＾２的氮离子束分别注入３个玉米自交系的成熟种子。从其Ｍ１成株上取下未成熟的胚作外植体，在ＭＮ和ＡＧ培养基上进行离体培养，以末注入的相同材料为对照。结果发现，Ｍ１的平均愈伤组织诱导频率比对照高１１．７％，其中在ＭＮ和ＡＧ培养基上，分别比对照高１５．５％和７．９％。不同类型的材料，在两种培养基上的愈伤组织诱导频率存在差异，而且在诱导过程中Ｍ１与对照材     

强脉冲离子束在金属中引起的应力波效应

金属在强脉冲离子束辐照及其后的快速冷却过程中所经历的应力过程是强脉冲离子束金属材料改性的最重要的机制之一。对应于这种过程，金属材料的微观结构和微硬度发生了改变。本文以45＃钢和纯铝为样品，将实验中测量到的不同强度的强脉冲辐照后样品微硬度和微观结构的变化与热力学计算所描述的热力学过程相对照，解释了出现微硬度双峰是由于应力波的形成和传播使然，并预言了由于应力波的在样品背面的反射，在较强能通量的强脉冲离子束辐照下样品背表面一定深度处也会出现微硬度增加的现象，该现象已被实验所证实。