高热负载反射镜测量用现场表面轮廓仪

1.介绍高精度光学组件的测量几乎总是在清洁的实验室里,在温度和声音很稳定的环境中,在通常大气压进行的。一些同步辐射(SR)用的光学 组件要承受每毫米几瓦的高热载荷,因此,要在类似于实际使用的条件下进行测量,即要在一个拥挤的、噪声的大厅中,在超高真空、高热载荷条件下进行测量。这些条件显然与传统可见光干涉测量条件是不可比拟的。但是,为了验证反射镜理论计算的性能和为了监测可能由于冷     

测量微观尺寸的干涉术

干涉术由“干涉”一词派生而来，是用干涉现象测量光波长尺度的距离。在可见光波段，这个距离约为590urn或1／43000英寸。这是一种精密系统，其灵敏度惊人。环境中的任何振动、移动或热膨胀都可检测。迈克尔逊的早期实验可受1000英尺之外马路交通振动的影响。如用比可见光更短的波长，精度还可更高，但此波长也增大了环境的局限性。齐戈（Zygo）公司的R．Smythe说，“干涉术是可实现距离测量的最灵敏、最实用的技术”。图1当所测对象上反射回来的光束与参考光束组合时，便产生亮暗线，即条纹。通过充暗线距离的分析，可以确定距离、角度和…     

用全息干涉法测量物体表面应变

提出了用全息干涉术测量物体表面应变的一种方法。首先由条纹失量理论计算空间应变场,然后应用投影交换关系来求解表面应变。据此测定了电木圆筒和地质结构模型的表面应变。介绍了条纹矢量理论、投影变换矩阵、表面应变计算公式及实验计算实例。结果表明,这种方法能实现对实验测试数据的快速处理,因而对于处理复杂形体表面的微小应变是方便而有效的。     

微小型光学元件尺寸的视觉测量系统研制

设计了一种微小型光学元件尺寸的视觉测量系统.提出一种穹顶光和同轴光结合的暗场散射照明方案来突出元件的表面特征;利用子区域和全图的亮度差值进行光照补偿,以消除边缘重影;针对边缘局部亮度过高且不均的问题,使用基于区域分割的Otsu算法提取边缘.使用最小二乘法拟合元件边缘计算尺寸.实验结果表明:基于区域分割的Otsu算法测量...     

用数码相机测量颗粒尺寸分布的研究

介绍了反演粒径分布的shifrin变换理论,应用该理论就本文提出的测量方法进行了模拟计算,对几微米以上几种样品的粒径进行了测试实验,通过数码相机采集的衍射图样灰度图,由shifrin变换求得的粒径连续分布较直方图显示更为详细,对峰值粒径的测量也有较高的精度,同时仅需要很少的预知信息。     

片式元件SMT焊点三维形态计算与试验测量

由于ＳＭＴ中焊点形态影响焊点质量和可靠性，国外对ＳＭＴ焊点形态的预测和控制研究有所重视。文中用有限元方法对ＲＣ３２１６片式元件焊点三维形态进行计算，考虑了焊点钎料量对焊点三维形态的影响；提出了一种用触针测量法研究点三维形态的实验方法，并对计算结果和实验结果进行了比较，结果表明，计算结果与实验结果吻合良好。     

激光干涉粒子成像乙醇喷雾场粒子尺寸和粒度分布测量

研究了一种基于激光干涉粒子成像(IPI)技术的粒子尺寸测量方法。该方法是利用粒子散射光在成像系统离焦像面上所形成的干涉条纹图,采用小波变换和模板匹配提取条纹图像中心,利用傅里叶变换和修正Rife方法提取干涉条纹间距/条纹数,进而计算得到粒子尺寸大小,其测量精度可达到亚像素精度。对51.1μm的标准粒子进行了测量,粒径测量值为(49.79±0.41)μm,绝对误差1.31μm,并应用于乙醇雾场粒子测量,给出了沿x方向和y方向不同测量点处的瞬时雾场粒子的粒径分布、平均粒径以及索太尔平均直径(SMD)。     

用于大尺寸光学元件的透射和反射膜层

对于宽孔径的短波长ArF和KrF激光器来说,制作尺寸200mm和更大的大尺寸窗口牢固的透射和反射膜层问题是一个重要问题。这样一些激光器是目前最强的紫外辐射源,这样的光源是激光热合成系统有前途的激光器和亚微微秒激光脉冲的高功率放大器。与此有关,我们研究了在尺寸为350mm以内的光学元件上获得牢固膜层的可能性。     

基于表面等离子体共振和双频激光干涉相位测量的空气折射率测量

设计了一种基于表面等离子体共振和相位检测的空气折射率实时测量系统,该系统采用双频激光外差干涉光路和具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振传感器。理论分析表明测量光信号的p、s分量的相位差相对于参考光信号的变化与空气折射率近似呈线性关系,并由此得到测量公式,传感器的自适应结构将角漂移引起的误差降低了一个数量级并大幅提高了测量灵敏度。与Edlen公式的测量比对实验结果表明,在44.0°入射角(共振角附近)和0.1°的相位测量精度下,空气折射率的测量精度优于5×10-6。该测量系统还可为更高精度的空气折射率测量仪提供足够精确的初值。     

基于光纤传感器的元件表面粗糙度测量方法

元件表面粗糙度属于机械加工中体现元件表面微观形态的核心参数,提出基于光纤传感器的元件表面粗糙度测量方法,根据定位装置变换光纤传感器探头中定位与距离,光源传输的光纤以光纤束的形式直射到元件上,经元件表面轮廓调节后出现反射与散射,部分光纤经过接收光纤束与光电转换变成光纤传感器测量信号;为了去除光源光强干扰,通过补偿电路增大光纤传感器测量信号的完整性,通过完整的光纤传感器测量信号准确获取元件表面原始轮廓信号,再采用FIR滤波器去除光纤传感器所获取的元件表面原始轮廓信号中的噪声;并将降噪后的元件表面原始轮廓信号传输至单片机,单片机采用光学散射法计算元件表面微观粗糙度,获取光传感器测量的元件表面粗糙度信息。经验证,针对不同粗糙程度的元件表面,所提方法均可准确测量元件表面的粗糙度。     

0.04到110GHz测量系统用宽带同轴元件的开发

包括新型连接器系统（Ｗ－型连接器）耦合器，终端和波导一同轴转接器的内在同轴元件被用于构成能连续覆盖０．０４～１１０ＧＨｚ的矢量网络分析仪（ＶＮＡ）。覆盖相同频率范围的晶片探头作了描述。     

低相干光干涉的物体测量和层析像检验

1 前言光CT的目的是用近红外光将生物体的结构和功能信息以层析像来检测和可视化,光CT的关键在于如何避免生物体中的强光散射并且取出特定位置的光吸收信息,因此,它区别于光学测量方法用超短脉冲的时间分辨率测量和用连续光的层析像检测,尤其是期待后者是利用光通信、测量和信息处理中使用的光器件来实现测量系统的小型化和稳定化,这样,连续光CT更加接近实用化。     

片形元件和表面组装技术的现状和发展动向

本文以近年来迅速发展并逐步普及的表面组装技术为中心,简要介绍片形元件,表面组装技术及设备的现状和发展动向。