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激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。 相似文献
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金属线膨胀系数测定仪研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在金属线膨胀系数测量中,通过引入半导体恒温加热器与温度自动控制电路配合实现温差控制.通过光纤位移传感器测量微小位移.对现有的仪器进行改进,可以更加精确地测定金属线膨胀系数. 相似文献
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低膨胀合金的线膨胀系数测量方法--接触式干涉法 总被引:4,自引:1,他引:3
田叶青 《理化检验(物理分册)》2003,39(3):135-137
线膨胀系数是低膨胀合金的重要性能指标,针对低膨胀合金线膨胀系数的测量精度要求较高,提出了采用接触式干涉法进行测量,并具体介绍其原理、装置、测量步骤以及对试样的要求。多年实践证明,该方法合理、简便、经济、可靠,结果达到精度要求。 相似文献
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本文扼要叙述了利用激光干涉仪动态测量高精度线纹尺的方法与同时用比长仪测量线纹尺的结果进行了比较,结果十分接近,从而使当前大量的激光干涉仪拓宽了用途。 相似文献
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正一项能够为半导体制造商每年节省数十亿美元的测量性能上的基础性突破为其发明者——美国国家标准与技术研究院(NIST)研究人员在2013年赢得RD 100大奖。这项由NIST研究人员开发的被称作定量混合测量法的技术(Quantitative Hybrid Metrology,QHM),利用统计技术以及由两种或两种以上仪器测量所获得的测量值,来严格确定半导体芯片上纳米 相似文献
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正NIST简介概述美国商务部直属的国家标准和技术研究院(NIST)是支持美国测量和标准要求的主要联邦机构。它的前身是美国国家标准局(NBS),成立于1901年,1988年更名为国家标准和技术研究院,目的在于进一步提高其技术开发支持角色的影响力。自成立之时,NIST就一直提供标准化高精密度块规所需的测量标准和测量工具,以制 相似文献
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结合下落法和绝热量热法测量原理,研制了一套下落法测量装置及其相应的电测设备.介绍了下落法量热计装置测量原理、结构、加热炉均温区、量热计标定、标准参考物质比热测量等内容,比热测量采用美国国家标准技术研究院(NIST)的标准参考物质SRM781-Mo,测量温度范围为370~720 K,新装置的比热测量结果与NIST标准参考物质证书给出的参考值进行了比较,最大相对偏差不超过1.6%.在测量温度范围之内,新研制的量热计对标准参考物质SRM781的比热测量结果与该物质的比热参考值相一致. 相似文献
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