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光隙法和配对法是长度测量中常用的测量方法。本文对于影响光隙法各种因素进行了测试分析,判断光隙法测量精度和适用范围。对于配对法可用低一等的量块进行检定和测量。结合精密长度计量,制定出测量方案,给出达标准的测试结果。 相似文献
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基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术 总被引:2,自引:1,他引:1
提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测. 相似文献
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衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统(英文) 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统.该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线工作台,光栅调节架和探测器组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响其中包括距离测量误差、波长误差、光栅准直误差即光栅刻线与入射光和反射光组成的平面不垂直、光栅转动过程的误差、光栅表面面型误差、探测器误差,经计算得到系统的绝对误差为minute.计算表明,该系统的测量精度满足软X射线Mach-Zehnder干涉系统对双频调整光栅的性能要求. 相似文献
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将传感器技术与微电子测量技术相结合,研制了一种数字化光干涉式甲烷测定器检定仪.能够自动测量光干涉式甲烷测定器的气室压力和检定环境温度,按温度、压力和甲烷浓度的关系式直接换算出以体积分数表示的甲烷浓度值.并与光干涉式甲烷测定器上的干涉条纹移动量所表示的甲烷浓度值进行快速地直接比较.克服了由液体式压力计组成的光干涉式甲烷测定器检定装置的读数无法与测定器示值进行直接比较的缺点,而且减小了人为读数误差和环境因素影响产生的测量误差,提高了检定结果的准确性和可靠性. 相似文献
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圆柱角尺是一种制造方便、精度高的专用量具,普遍用作光隙法检定直角尺的基准,但由于光隙法采用估计读数,存在很大误差,况且为避免直角尺侧角误差,给检定带来的影响,故仅局限于宽座直角尺的检定,使用范围很窄。我厂计量室利用圆柱角尺与装有杠杆千分表的一个精密圆环所组成的检具,用于检定 相似文献
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针对传统的刀口形直尺直线度检定方法存在人员测量误差较大、检测效率较低、无法将直线度进行量化等问题,本文通过分析目前测量现状,给出了一种可快速可靠的对刀口形直尺直线度进行检定的测量方法,可提高刀口形直尺直线度测量的可靠性和检测效率. 相似文献
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在万能工具磨床上磨削图1所示的角度样板时,因控制斜面交点尺寸(L)较为困难,必须边磨边测,但又不能取下来测量。这时可用一个光滑圆柱以光隙法进行测量,只要三个平面都和圆柱表面相切,L尺寸即可控制在0.01毫米以内。圆柱直径D的大小,根据2α的大小可从图2和图3的几何关系求得。 相似文献
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JJG63—83第6条和JJG116—83第8条分别规定了四棱样板直尺和平尺两工作面的平行度,用测量两个工作面的厚度尺寸差来检定。厚度尺寸差不符合GB1183—80规定的平行度定义,那么规程这样规定可行吗? 平行度误差是指包容被测表面并平行于基准平面,且距离为最小的两平行平面间的距离。国标规定,检测平行度时,应排除基准平 相似文献
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在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差.根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因.以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较. 相似文献
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GPS接收机检定中测量误差超限处理方法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在GPS接收机检定中,面对"测量误差超限"应如何处理,应怎样确定引起误差超限的原因,能否由此判定仪器不合格或者精度达不到指标要求?该文提出了一套处理测量误差超差的方法,对GPS接收机的检定和测量人员具有重要意义。 相似文献
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以平板为代表的大、中型精密平面的平面度误差的测量方法可分为角差法和线差法两大类。角差法的测量精度分析见“平板平面度误差测量精度分析”(《实用测试技术》97,4期。以下简称①文)一文。本文准备对线差法的测量精度进行分析。1 被测点的测量误差用线差法测量平面度误差的方法是:将被测平面按一定的布置形式划分为若干个截面,每截面若干点,然后用线差法测出每个截面上各被测点对两端点连线的偏差,最后通过数据处理求出被测平面的平面度误差。1-1 被测线直线度偏差及各点测量误差的计算所谓“线差法”其实质是:用模拟法… 相似文献
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1 前言精密薄片塞规 (如图 1所示 ) ,主要用于精度要求较高的间隙测量和精密厚度的比较测量等。该塞规由于厚度较薄 ,尺寸精度要求较高 ,因此 ,测量时很难掌握其准确性。现就根据薄片塞规的技术要求 ,对实际测量方法及不确定度的评定如下。图 12 底工作面平面度的检测由于薄片塞规底工作面是加工基准 ,因此其平面度要求较高。在加工时采用了精研技术 ,为了防止其变形 ,使用了专用工装进行加工。在检测时 ,我们采用2级平面平晶进行测量 ,通过观看干涉条纹的情况来计算出其误差大小。测量时该工作面的干涉条纹为弯曲形 ,其弯曲度ba=35 ,测量… 相似文献
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光干涉式甲烷测定器主要用于测定矿山、工厂等场所的甲烷含星,如果其干涉条纹不准确,仪器就会产生示值误差,误差的大小直接影响测量的准确度,从而影响安全生产.所以光干涉式甲烷测定器应及时进行检定、调修.下面就光干涉条纹不准原因逐一进行分析. 相似文献
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在工厂里经常遇到的就是直线度误差的检测,直线度误差的测量方法中,光隙法是一种简单实用的测量方法。一、光隙法的两种具体方法1.标准光隙法标准光隙是利用尺寸依次差异为1μm或2μm的量块研合在平面平晶上,再将刀口尺放在等高的量块上形成标准光隙,然后将刀口尺放在被测表面上,以形成的光隙与标准光隙进行比较,从而得出所测得直线度的误差。由于标准光隙法的特殊测量原理,可以避免不同观察者对光隙大小的判断结果相差太大。 相似文献