低温型氧化锆氧传感器的研制

用氢氟酸和硫酸混合溶液对氧化锆元件进行表面自理可以增加氧化锆电池电极表面积，从而增强电极材料与电解质表面分子用力，使氧化锆电池的工作温度通常的７００－８００℃降至５００℃以下。     

氧化锆氧传感器在工业锅炉中的应用

介绍了氧化锆氧传感器的基本原理和燃煤工业锅炉送风控制系统，指出将氧化锆氧传感器和计算机技术应用到工业锅炉中，是减少燃煤工业锅炉的排放污染和降低运行成本最有效的办法。     

氧化锆氧传感器的研究进展

氧化锆氧传感器具有较高的测氧精度和良好的高温稳定性，被广泛应用于内燃机尾气排放中氧含量检测等领域。随着氧传感器研究的不断深入和陶瓷层压工艺技术的日益成熟，氧传感器逐渐向小型化方向发展，其形状由管式转为板式。同时，传统的氧传感器起始工作温度较高，而采用固体参比层代替参比空气有望降低氧传感器的工作温度，并易于降低氧传感器的加工难度，从而可降低产品成本。对近年来在氧化锆氧传感器板式结构、固体参比层和微型化研究等领域的发展进行了相关综述。     

8098单片机在氧化锆氧分析仪器中应用

南京分析仪器厂于80年代初,从英国肯特公司引进了氧化锆氧分析器成套制造技术,生产了基于模拟电子技术的DH-6型氧化锆氧分析器,在引进、消化基础上发展成了多种型号的系列化氧化锆测氧仪器（如表1所示）。此后在     

一种氧化锆氧分析仪数据采集与处理系统

介绍了一种微机化氧化锆氧分析仪数据采集与处理系统,该系统采用单片机进行数据采集与处理,具有功能强、精度高、成本低、易维护等特点。     

氧化锆的测氧原理和使用维护

氧化锆在冶金、化工、电力、陶瓷、汽车、环保等工业部门都在广泛应用，本文详细介绍了氧化锆的测氧原理，结构类型以及其在工业炉的应用和氧化锆的安装、使用和维护方法。     

氧化锆测氧的数据处理方法

针对工业氧化锆测氧过程中存在的现场噪声复杂、探头老化快、不同探头特性具有离散性等不利因素，提出了一种新的数据处理方法，采用数字滤波、探头老化的软件补偿、特性曲线拟合等措施，有效地克服了以上缺点。     

ZO系列氧化锆氧分析仪存在问题分析及技改方案

氧化锆氧分析仪通过烟气中氧含量的连续测量和监视,可达到帮助生产工艺提高燃烧效率、节约能源和减少空气污染的目的。本文阐述了氧化锆氧分析仪的工作原理和结构组成,着重讨论了实际使用中存在的问题,分析了问题的形成原因,并提出了技术改进方案。     

限流型氧传感器

制作了具有快速响应和高度灵敏特点的限流型氧传感器,传感器再现性好,功耗小,在使用氧２范围（０－１０％）内输出线性良好。氧传感器应用温度范围是６８０－８００℃,最佳使用温度是７５０℃。     

氧化锆测氧仪设计

针对工业氧化锆测氧过程中存在的锆头老化快，特性易漂移，校正困难等不利因素，提出了一种新的测氧仪设计方法，采用无电位计设计，程序自动校正、锆头第化的软件补偿等措施，可以有效地克服以上缺点。     

CMOS微机械加工温度传感器所用多晶硅层的特性研究

为了用ＣＭＯＳ工艺与微电子机械加工系统机容技术研制一种温度传感器。对其所用的５种多晶硅层的电阻温度关系及其可重复性进行了实验研究。测得材料的基准温度电阻，电阻温度系数及能够确定传感器工作范围的临界温度。找到适于作传感器的两种多晶硅层。     

汽油杂质对氧传感器响应特性的影响

汽油中的硫、磷、铅、锰、硅等微量杂质会严重影响电喷发动机系统中氧传感器的氧敏效应，是使氧传感器失效的主要原因之一。分析了这些杂质对氧传感器响应特性的影响以及损坏氧传感器的主要原因。研究发现：硫和锰会与氧传感器中的多孔铂电极发生反应，降低电极活性而恶化由稀至浓响应速度。铅会与铂电极形成低共熔物，延长氧传感器的响应时间。而硅和磷的作用主要在于对多孔电极层和保护层的严重堵塞。     

传感器外部噪音消除的新方法

本文提出了一种交变消除传感器噪音（ＡｌｔｅｒｎａｔｉｎｇＮｏｉｓｅＣａｎｃｅｌｉｎｇ,ｏｒＡＮＣ）的新方法,它不仅能消除传输线上的噪音,还能消除传感器上的噪音。这相对于传统的消噪音方法来说是一大改进。最后我们用实验验证了该方法的正确性。     

测氧传感器在气体渗碳中的应用

论述了气体渗碳过程中的炉气碳势控制原理、测氧传感器的内部结构及炉气碳势与氧电势之间的相互关系。实测了不同温度、不同氧电势下的炉气碳势,并通过测氧传感器、碳势控制仪、流量计及电磁阀构成的控制回路实现了炉气碳势的自动控制。由于采用了智能化的控制方式,碳势控制精度得到很大提高。     

扩展电阻温度传感器的参数优化

对扩展电阻温度（SRT）传感器的阻温特性（R－T）进行了研究。实验结果表明，器件的结构尺寸、衬底的掺杂浓度大大地影响着器件的最高工作温度（Tmax），而工艺条件的影响很小。适当小的n^ 圆形半径和适当高的衬底掺杂可使SRT传感器的正温度系数（PTC）工作区在2mA的正向偏置电流下拓宽至400℃以上。     

T形铠装铂电阻传感器

本文叙述了在涤纶、锦纶等化纤生产中应用的Ｔ形铠装铂电阻传感器的结构、性能、加工及使用情况等。     

薄膜SOI扩展电阻温度传感器

重点阐述了在薄膜SOI上制成的扩展电阻温度(SRT)传感器的阻温特性(R-T)。利用器件二维模拟软件PISCES研究了最高工作温度(Tmax)的Si膜厚度效应，模拟结果表明，在相同的衬底掺杂浓度下，Si膜尽度越薄，器件的Tmax越高。实验结果也验证了这一点，薄膜SOISRT传感器不仅具有非常好的器件特性，Tmax高至450℃以上，而且它的工作偏置电流低至1μA，比体Si SRT传感器小10^3倍。因此，薄膜SOISRT传感器具有很广阔的低功耗应用前景。     

S枪磁控溅射镍薄膜温度传感器

本文分析了薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力的方法，应用正交试验技术得出了最佳工艺条件，应用Ｓ枪磁控溅射方法和薄膜工艺制成了零电阻分别为１００Ω、５００Ω、１０００Ω的镍薄膜电阻元件，其电阻温度系数达到德国ＤＩＮ４３７６０标准。