离子准分子研究的进展

到目前为止,已观察到许多碱金属卤化物离子准分子(AX)+、稀有气体碱金属离子准分子(RgA)+、稀有气体卤化物离子准分子(RgX)+、同核和异核稀有气体离子准分子的荧光谱以及Cs2+F-离子准分子的光学增益现象和Ar的离子准分子激光振荡现象.从光谱学和动力学的角度描述这些离子准分子研究的进展,并指出快速、高强度、大体积和均匀泵浦是实现离子准分子布居反转的关键所在.     

准二维磁光阱中俘获长条形冷原子团

介绍了在准二维磁光阱(2D+MOT)中获得超冷原子的实验装置及结果。利用四个矩形线圈、四束椭圆形光斑光束加两束圆形光斑激光束,得到准二维磁光阱,它的特点是势阱为长条形,轴向束缚较小,势阱整体体积比较大,因而可以俘获到数目较多的超冷原子。实验中心附近的磁场梯度为13×10-3Tcm,椭圆型光斑的长短轴为24mm7mm,圆形光斑直径为7mm,光斑功率分别为18mW,6mW。在该势阱中俘获长条形冷原子团的长度为12mm,直径为15mm,原子数为11×107,温度为400μK。     

用激光溅射的方法在离子阱中产生和囚禁碳原子团簇离子

利用激光溅射的方法，已经在离子阱中产生并囚禁了Ｃ＋ｎ（ｎ＝１～１３）原子团簇离子，并取得了溅射产生原子团簇的质量范围随激光脉冲能量的变化以及原子团簇离子的稳定存储随囚禁时间的变化关系等结果。囚禁时间可达２０ｓ。     

短波长自由电子激光的分析与研究

本文根据自由电子激光的基本理论分析了各种可能获得短波长自由电子激光的利与弊，在此基础上，提出了新型波动器，分析了该波动器获得短波长自由电子激光的可能性。最后，文章指出了短波长自由电子激光尚待解决的一些困难。     

光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究

面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板光波导上,研究了激光能量、激光脉冲次数与刻蚀深度、端面粗糙度等参量之间关系,通过刻蚀参数的优化,刻蚀后端面光耦合损耗增加量约1.3 d B。     

利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究

分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析。     

长脉冲XeCl激光的特性研究

利用自动预脉冲方法获得了长脉冲ＸｅＣｌ激光。研究了长脉冲ＸｅＣｌ激光的能量、脉宽和电压、气压、气体组份、输出耦合镜反射率等的关系，获得了能量为１５０ｍＪ左右、脉宽为１００～１５０ｎｓ的长脉冲ＸｅＣｌ激光输出。     

准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究

为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。     

氟化氪真空紫外辐射的观察

实验观察到一种新的离子准分子──氟化氪离子准分子产生的真空紫外连续谱辐射，其峰值位于１４８ｎｍ处。实验结果与理论计算值符合很好。     

Hg蒸气中双光子共振四波和频产生XUV相干光的研究

我们以Ｈｇ蒸气为非线性光学介质，用毛细列阵做输出窗口，成功地得到了波长小于１００ｎｍ的可调谐ＸＵＶ相干辐射。本文深入研究了毛细列阵作为输出窗产生ＸＵＶ相干辐射的可行性，以Ｈｇ的６＾１Ｄ、６＾３Ｄ为共振能级的双光子共振三次谐波过程产生ＸＵＶ可调谐相干辐射的机制；以及影响ＸＵＶ光产生效率的因素，诸如光学斯塔克效应，介质对泵光及产生光的吸收，不同非线性过程的相互竞争等，燕在此基础上提出改进方案。     

部分相干激光匀束器的设计及应用

传统激光匀柬器的设计是假设输人场为完全相干的，但对于准分子激光器等输出为部分相干场的光束匀滑并不适用。利用部分相干场的传输及衍射理论．开展了这一类激光器匀滑的方法研究。推导出部分相干场与完全相干场下激光匀束器的目标像面的关系式，总结出这一类器件的设计方法。仿真结果表明，上述方法设计的匀束器在全相干场下像面出现激烈的振荡，但在部分相干场下得到了理想的平滑输出强度分布。介绍了部分相干激光匀束器在新一代光刻机照明系统、材料加工、激光医疗中的应用前景。     

短波长半导体激光器开发动向

对ＧａＮ系和ＺｎＳｅ系两类主要材料制备蓝绿光激光器方面的问题和发展动向作了介绍。     

激光等离子体空间分辨XUV光谱技术

本文描述了环面镜-掠入射光栅谱仪系统获得激光等离子体空间分辨XUV光谱的原理,系统结构参数和实验结果,并讨论了这种环面镜技术和交叉狭缝技术各自的优缺点。     

非线性光学产生VUV／XUV相干辐射的发展和研究

本文对近年来非线性光学效应产生VUV/XUV相干辐射的理论和实验进展进行了概括和总结,作者首先对该方面工作的理论和实验背景进行了回顾,然后重点阐述了各种产生VUV/XUV相干辐射的方法,如金属蒸汽中的双光子共振四波混频,惰性气体中的非共振和共振四波混频以及强激光场下的高次谐波过程等,最后本文简要地讨论了非线性光学效应产生VUV/XUV应用,并对本工作的发展前景进行了展望。     

193 nm和308 nm准分子激光对聚合物刻蚀特性的比较

描述了两种典型准分子激光 (XeCl:30 8nm ,30ns和ArF :193nm ,17ns)对三种常用聚合物PC ,PI和PMMA的刻蚀实验研究。着重讨论准分子激光对聚合物的刻蚀机制 ,并比较了这两种激光对三种聚合物的刻蚀性能。     

短脉宽XeCl激光器的实现及光脉冲参数的测量

研究了高气压短脉宽 Xe Cl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试。在大体积高气压下 ,采用同步紫外预电离产生辉光放电方法 ,结合激光器物理设计、电路、光学系统设计 ,调整气体配比、气压、放电电压 ,在气体配比为 HCl:Xe:He=0 .1 %:1 %:98.9%下 ,实现了纳秒放电激励的紫外 30 8nm准分子激光激射 ,脉冲能量 5 30 m J,最小脉冲宽度 1 3ns,矩形光斑 2 cm× 1 cm,束散角 3mrad,最高重复频率 5 Hz,并总结了实验规律。     

KrF激光在氢－惰性气体体系中的反斯托克斯拉曼转换

通过氢－惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制，抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激拉曼转换，提高了低价反斯托克斯拉曼转换的效率。