混合微电子技术

本报告从市场前景及技术趋势出发，预测本世纪末国外混合微电子技术可望达到的水平，从半导体ＩＣ技术、混合集成技术、垂直集成技术的相互影响了发明混合微电子技术的某些走向及关键技术；从国内混合微电子技术的现状、与国际水平的差距以及工业食物链原则出发，预测我国混合微电子技术应当达到的水平，建议拟应采取的几项对策。     

真空微电子技术

本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。     

微电子技术新领域

微电子技术新领域陈克金,邵凯（南京电子器件研究所,南京,２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体,将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,将这...     

微电子机械系统

概述了微电子机械系统（MEMS）的特点,理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（MOEMS）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用,最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。     

微电子机械系统

本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述，介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。     

微电子封装

本文较全面地介绍了微电子封装，包括封装定义，封装功能，封装分类，封半发展的历史，发展趋势和现状，以及现实问题。着重介绍了芯片直接安装－倒装焊，板上芯片，球形阵栅，芯片级封装，多芯片模块，多芯片封装，三维封装，ＧＨｚ封装，功率封装等。     

真空微电子器件

最近两年里,微电子器件家族增添了一个新成员,它是半导体技术与真空技术相结合的产物,这就是真空微电子器件或真空半导体器件.由于它具有明显的优点和潜在的应用领域,特别是它采用类似于集成电路工艺就可以制造出来,引起了美国、法国和苏联等国家的注意,并且积极地进行着这种新型器件的研究.1986年12月美国宣布制成了第一支真空FET.     

微电子机械系统的研究进展

本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。     

微电子机械工程

在过去的35年中,电子技术发展十分迅猛.电子工业正凭借它的优势,从每18个月使一个微芯片上半导体管数翻一番的速度运行着,并引起了电子工业的革命.在一个邮票大小的范围内制造出数百万个微单元器件已引起手提电话和个人计算机等制造领域的极大兴趣.利用微电子材料和工艺,可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及电机,微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀.这些机械元件的大小要用微米来计算.并且象半导体工业一样,一次能制造出数百万个元件.     

微密封真空微电子二极管

本文介绍了一种微密封真空微电子二极管的工艺及实验结果。     

微电子技术纵横谈

借此晶体管诞生５０周年之际，回顾半个世纪以来微电子技术的发展历程，介绍了当今世界集成电路大国的生产和技术情况，展望了我发展微电子产业的美好前景。     

微电子技术进步与微电子技术课程的教学改革

本文根据微电子技术发展的现状和方向,对微电子技术的教学改革课题进行了讨论,提出了分阶段和分层次微电子技术教学系统的设想,其中贯穿着与相关学科理论和技术整体配套的思想,希望能对微电子技术学科的教学改革工作有所帮助。     

微电子机械系统的发展及未来

介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。     

微电子的进展

随着电子产品的广泛应用和技术发展,人们对电子产品的微型化提出了迫切的要求。经过长期努力,只有在半导体器件和微细加工技术出现后,才能使人们的这种愿望得以实现。当硅单片集成电路问世后,人们就把这种集成电路叫作微电子,把研究集成电路的学问叫做“微电子学”,即“Mieroelectronics”。硅单片集成电路的确使电子产品达到了微型的境界,今天已可以将一台彩色电视机,一台计算机或一台通信机的核心部分作在一个小小的半导体芯片上。但只是半导体芯片对构成一部完整的微型化电子设备还感不足。随着技术的发     

微电子技术新领域

（二）纳米电子技术１引言世界微电子技术的发展趋势表明，９０年代是亚微米、深亚微米生产技术蓬勃发展的时代。预计到２１世纪２０年代，硅加工技术将达到极限，进入纳米技术的新时代。在纳米尺寸（０．１～１００ｎｍ）空间内，原来的晶体管理论已不再适用；原来概念上...     

关于在非微电子专业开设微电子技术概论课程的思考与实践

分析了微电子技术发展对当代电子系统设计的影响,讨论了在非微电子专业开设“微电子技术概论”课程的必要性和紧迫性,并对该课程的课程特点、教学内容及教学方法进行了探讨。