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国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已经建成的光束线,要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的,最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果,可将840 l/mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭缝后面色散出射光,用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线,然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了不同厚度的Al(200、400和600 nm)、Si3N4/Mo/Si, Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片(100/50/200 nm, 100/50/150/150/250 nm)和Al/Mg/Al 滤片对13~43 nm光谱高次谐波的抑制效果。 研究结果显示,400 nm厚的Al滤片适合于17~33 nm光谱高次谐波的抑制,在保证探测器信号强度的条件下,高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例<2%,经探测器量子效率修正后,高次谐波比例<0.6%。Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片可以有效地抑制13~19 nm的高次谐波,Al/Mg/Al滤片对30~43 nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确定标奠定了基础。 相似文献
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利用840 l/mm的金膜透射光栅分光和AXUV100G 光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17~33 nm波段高次谐波的抑制情况。结果表明,Al滤片厚为400 nm时,在17~33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%。经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义。 相似文献
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计量线高次谐波的定量研究 总被引:1,自引:2,他引:1
采用自制的840/mm金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUV100G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5~140 nm波段的高次谐波。研究了Al、Si3N4和Zr滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线。实验结果显示:在5~15 nm波段,不用任何滤片高次谐波的信号强度<7%;在5~34 nm波段,适当的选用Al、Si3N4和Zr滤片可有效地抑制高次谐波,将高次谐波占基波的积分信号强度比例控制在<14%,经探测器的量子效率修正后高次谐波的百分比在6.5%以内。在经过MgF2窗滤波的115~140 nm波段,高次谐波的衍射峰几乎完全被抑制。这一研究为软X射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础。 相似文献
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通过分析变频器高次谐波的产生原理及干扰的途径、常见的危害,根据笔者的经验阐述了几类抑制高次谐波的方法。 相似文献
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多步法圆度误差分离的演化形式及其谐波抑制分析 总被引:2,自引:0,他引:2
论述了多步法圆度误差分离技术原理,并通过测量次数、向量权函数的不同选择演化出了等转角多步法、两步法、反转法及不等角两次转位法,并对其逐一进行了谐波抑制分析. 相似文献