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正一项能够为半导体制造商每年节省数十亿美元的测量性能上的基础性突破为其发明者——美国国家标准与技术研究院(NIST)研究人员在2013年赢得RD 100大奖。这项由NIST研究人员开发的被称作定量混合测量法的技术(Quantitative Hybrid Metrology,QHM),利用统计技术以及由两种或两种以上仪器测量所获得的测量值,来严格确定半导体芯片上纳米 相似文献
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<正>最新实验结果证明:美国国家标准与技术研究院(NIST)几年前研发的技术可以使光学显微镜以纳米级的分辨力测量物体三维形状,远低于光学显微技术正常的分辨力极限(对于绿光大约是250nm)。该成果有望使这项技术成为纳米器件,例如,下一代微芯片制造的有用质量控制工具。NIST实验显示离焦扫描光学显微(TSOM)技术能够探测3-D形状细微差别,揭示直径小于50nm的物体中尺寸小于1nm的变化。2013年NIST的模拟研究显示:TSOM技术理论上可以达到这一点,目前新的测量结果使其在实际中得到证实。 相似文献
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正美国国家标准与技术研究院(NIST)物理测量实验室(PML)半导体和长度测量部的测量服务项目,专注于几微米至一米的测量,实现长度量值传递,提供促进美国创新、工业竞争力的测量、标准和基础的技术服务。NIST维护和开发先进的干涉系统,用于将基于频率的SI长度单位复现传递到实物上。推动三坐标机的技术发展、开发用来定量评价三坐标机特性的方法,通过引领和参与活动,对于国际和国内长度计量提供积极支持。 相似文献
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正美国国家标准与技术研究院(NIST)的科学家开发出一种新的标准参考物质(SRM),这是首个此类测量工具,能使医院把计算机断层扫描(CAT)得出的重要的组织密度测量结果与国际标准联系起来。CAT扫描是指通过计算机处理,融合多重X射线生成类似人体组织的三维扫描图像。这些横截面扫描结果十分有用,能够识别出普通二维X射线图像难以觉察的变动,如能显示肺组织中出现癌变或气肿的一些变化。仅在美国每年就有数以百万次计的CAT扫描,但NIST物理学家Zachary Levine称,随着时间推移,扫描设备的输出结果总存在一种"略微偏离"的趋势。 相似文献
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美国国家标准和工艺研究所(NIST)报道,他们开发出一个廉价的测量薄膜强度和挺度的方法。测量仅需2s钟并适用于高产量测试,它可在一个快速传送带中测试成百上千的样品。 相似文献
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1 NIST为了测量纳米级的比热容量,研究出用光学、电子技术检测和加热双层微悬臂梁(Pt-SiNx)的新方法。该方法中双层微悬臂梁同时起加热器、温度传感器和质量传感器(0.01ng分辨力)的作用,通过对沉积铝纳米粒子熔点和比热容的测量,证实系统可以对0.72ng的质量进行校准。2NIST报道了一种基于激光的新型温控器,室温下的敏感度为0.2mK。因无色氟碳流体的高热光系数 相似文献
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美国国家标准技术学会(NIST)和 LosAlamos国家实验室(LANL)的研究人员已研究出一种低温钻石切削方法,可以在不锈钢零件上形成光学质量表面。这种低温切削方法可用来加工紧凑式圆盘读出器、条型码扫描器及其它一些装置上的光学元件。钻石切削是一种用计算机控制的高精度加工方法,能够加工出光学质量表面。然而,由于受现有技术的限制,刀具磨损太厉害,使这种方法只能应用于某些材料。采用低温加工技术可使钻石切削法的应用范围扩大到不锈钢、钼、钛等一些有用的材料。 NIST和LANL的研究人员认为不锈钢 相似文献
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陈益生 《现代测量与实验室管理》2002,10(2):44-46
1成功基础上的建筑 近100年来,NIST开发了美国在技术创新方面保持领先所需的测量与标准.例如,远程通讯工业依靠NIST标准提高光纤通讯的速度与效率,美国的汽车及零件制造商应用NIST的校准、标准与技术以保证产品的质量与可靠度,半导体晶片制造商需要大量的NIST的测量以生产更小且运行更快的电子产品. 相似文献
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中国计量科学研究院于1978年建成了中频振动基准,主要包括正弦振源、振动台振幅测量、中频标准加速度计和电压测量等部分。在该基准中,振动台的加速度失真小于1%,横向振动分量小于3%;振动台的振幅测量采用激光干涉条纹计数的方法;中频标准加速度计采用天然石英晶体作敏感元件;采用真有效值电压表测量电压,测量误差为±0.05%,并采用了隔振基础隔振。该中频振动基准的不确定度示于表1。经过长时期的实际使用,证明它的工作是稳定可靠的。 伹在工作中存在一个问题,即一般被检定的中频标准加速度计的使用范围,在保证误差 相似文献