共查询到12条相似文献，搜索用时 62 毫秒
1.
2.
本文基于作者提出的“函数逼近的数值迭代概念”，修正了电磁复合场中电子成像系统的三级几何像差方程式，给出了具有更高精度的像差计算公式和用集中参数形式描述的像差系数表达式，为像差的数值计算和电子光学系统的计算机优化设计提供了实用的理论依据。 相似文献
3.
以静电极板为电子束曝光机偏转负载，用双通道扫描原理进行扫描，并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由SDS-3电子束曝光机试验结果表明，复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差水平。 相似文献
4.
5.
在部分相干光理论中,决定像衬度的是积分项：式中的 Ｔ为完全相干光传递函数： Ｔ ＝ Ｐ ．式中的 Ｅ为部分相干光传递像差调制包络因子：（１）式显示出,Ｔ受到Ｅ包络因子的调制,其包络性状由光源和像差决定． 该结果应用到电子束情形,取一级近似：光源分布Ｓ（ ０）为圆盘型：对应的包络因子为：Ｅ１＝（贝塞尔函数形式）．考虑轴对称保差对应的ｗ有： ．求得圆盘分布电子枪的包络函数为：当源分布是高斯型分布： ,求得高斯分布电子枪的包络函数为： 若对（２）式取二级近似… 相似文献
6.
为了方便快速地计算像差,采用MATLAB中GUI工具,从球面光路计算的向量公式出发,得到了一计算像差的程序界面,在程序界面输入各个相关参量,点击界面上各种像差菜单就能得到不同视场角在光瞳上不同入射点的各种像差,并可以计算系统的焦距和理想像面的像距以及给出像面的模糊程度(同一物点发出的不同方向光线的聚焦程度的具体数值。结果表明,该软件程序语言简单,程序语句大大减少,占用机时少,运行结果正确。程序通过编译后可以脱离MATLAB运行环境独立运行。 相似文献
7.
以SDS-3电子束曝光机为基础,用折板结构静电偏转替代直板结构静电偏转,探讨了电子束曝光机折板静电偏转场的电子轨迹与电位分布应满足的要求。导出了折板静电偏转灵敏度与电位分布之间的关系,给出静电偏转像差方程及像差系数。用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差系数,给出了折板结构方程与参量。像差系数适应计算机辅助运算。结果表明,折板结构静电偏完成的图像像差明显优于原直板结构静电偏。提供了静电折板偏转与直板偏转的相关计算数据及摩尔栅条纹图。 相似文献
8.
9.
10.
本文提出了利用函数逼近的数值迭代方法精确求解电磁复合场中电子成像系统三级几何像差方程式的概念,避免了传统电子光学近似计算造成的附加误差,提高了像差计算的精度,为高精度电子光学设计提供了可信的依据。 相似文献
11.
本文对透镜后偏转和透镜中偏转的两种静电聚焦一偏转复合系统的三级几何象差和一级色差进行了数值计算。计算结果表明,在匹配弯曲轴的情况下,这种复合系统有可能获得较小的偏转象差,同时本文也给出了判断复合系统中聚焦场与偏转场真正匹配的某些判据。 相似文献