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介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器,叙述了它的工作原理,硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。 相似文献
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纳米级电子束曝光机用图形发生器 总被引:4,自引:3,他引:1
为满足纳米级电子束曝光系统的要求,设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度的模拟量,驱动扫描电镜的偏转器,实现电子束的扫描。通过图形发生器还可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台和激光干涉仪,还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件可以新建或导入通用格式的曝光图形,进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、临近效应修正等工作,完成曝光图形的准备。结果表明,该图形发生器能够与整个纳米级电子束曝光系统协调工作,刻画出纳米级的图形。 相似文献
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本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。 相似文献
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介绍了新研制的PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节。 相似文献
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在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式。该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的。它采用Niklans Wirth的表示方法进行定义,消除了二义性。经过实验性的程序验证,它不仅能很好地解决版图制造业标准数据格式不支持二次曲线的问题,而且图形设计人员可以直接以该数据作为标准,进行曝光图形的设计与存储。该数据格式的出现,为二次曲线单元图形在电子束曝光技术中的广泛应用奠定了良好的基础。 相似文献
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本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题,提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。 相似文献
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卢维美 《电子工业专用设备》1996,25(3):20-24
介绍了美国瓦里安公司1979年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式,以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。 相似文献
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一种新型图形发生器硬件方案的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案DSP处理器为核心,通过USB接口与上位机通讯,具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能。通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器,使各种图形硬件化,提高了图形的运算和处理速度,克服了以前图形发生器存在的许多弊端。 相似文献
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基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。 相似文献
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能通信保密机课题为背景,介绍以数字信号处理器芯片TMS320C50为核心的保密机实现方案。该方案采用一片TMS320C50即可完成所有的加解密、回波抵消运算,并为密钥控制、自适应均衡等运算保留了系统资源。 相似文献