电子束曝光机特殊图形辅助发生器

介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器，叙述了它的工作原理，硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。     

纳米级电子束曝光机用图形发生器

为满足纳米级电子束曝光系统的要求，设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点，然后通过优化设计的数模转换电路，将数字量转化成高精度的模拟量，驱动扫描电镜的偏转器，实现电子束的扫描。通过图形发生器还可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台和激光干涉仪，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件可以新建或导入通用格式的曝光图形，进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、临近效应修正等工作，完成曝光图形的准备。结果表明，该图形发生器能够与整个纳米级电子束曝光系统协调工作，刻画出纳米级的图形。     

一种新型的电子束图形发生器

本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。     

基于PC机控制的电子束图形控制器

介绍了新研制的PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节。     

一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式

在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式。该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的。它采用Niklans Wirth的表示方法进行定义，消除了二义性。经过实验性的程序验证，它不仅能很好地解决版图制造业标准数据格式不支持二次曲线的问题，而且图形设计人员可以直接以该数据作为标准，进行曝光图形的设计与存储。该数据格式的出现，为二次曲线单元图形在电子束曝光技术中的广泛应用奠定了良好的基础。     

电子束曝光机图形处理系统

本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。     

EeBES—40型电子束曝光机的图形生成系统

介绍了美国瓦里安公司１９７９年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式，以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。     

一种新型图形发生器硬件方案的研究

介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案，该方案DSP处理器为核心，通过USB接口与上位机通讯，具有标记检测和曝光扫描两项基本功能，同时增加了圆形和圆环图形的处理功能。通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器，使各种图形硬件化，提高了图形的运算和处理速度，克服了以前图形发生器存在的许多弊端。     

电子束曝光机激光工件台系统研制

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。     

基于TMS320C6713的USB数据传输系统设计

介绍了基于TMS320C6713的USB数据传输系统。该系统以TMS320C6713作为主控制器,通过CY7C68001USB控制器连接TMS320C6713与PC主机,克服了传统的数据传输量小,传输速度慢的缺点,能更好地满足大容量数据的传输要求。在此详细阐明了系统的硬件设计方案和软件设计思想,并进行实现。结果证明,研制的系统具有传输速率高,可靠性好的优点。     

基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计

基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。     

基于TMS320C6713的雷达信号实时模拟器

介绍了高分辨率逆合成孔径雷达中频回波信号形式。根据高分辨雷达回波信号特点，采用TMS320C6713和AD9857，设计了一种具有实时模拟能力的雷达中频回波信号源。针对DSP实时生成目标特征数据的速度问题，文中重点作了探讨，提出了一种基于直接数字合成思想的算法，给出了信号模拟的流程。实践证明，该模拟器达到了设计要求。     

基于DSP-TMS320C6713控制系统的最小系统板的设计

TMS320C6713是由TI公司生产的高精度浮点型DSP芯片。基于DSP6713设计的最小系统板对与DSP有关的科研试验以及工程等领域有着重要的应用价值。主要研究并介绍基于DSP-TMS320C6713控制系统的最小系统板的硬件设计,并就最小系统板设计过程中的注意事项做了详尽阐述。针对电源电路、复位电路、时钟电路、JTAG接口电路、扩展板接口电路和外部存储器扩展电路,提出可行的设计方案,该方案已作为模板电路实现。     

电子束曝光机传输片机械手研制

以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位。研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高。介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程。     

基于DSP的自适应回波抵消系统的设计

能通信保密机课题为背景,介绍以数字信号处理器芯片TMS320C50为核心的保密机实现方案。该方案采用一片TMS320C50即可完成所有的加解密、回波抵消运算,并为密钥控制、自适应均衡等运算保留了系统资源。