用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量...     

激光多普勒纵向位移测量系统的研究

本文介绍了一种应用激光多普勒效应测量物体纵向位移的方法,理论分析和实验证明该测量系统具有非接触性测量、动态响应快等优点,测量准确度可达３μｍ。     

激光干涉仪在校准拉绳式位移传感器的应用

拉绳式位移传感器是一种新型而简便的长度位移传感器,用途非常广泛.激光干涉仪技术现在已经十分成熟.本文详细介绍了利用成熟的激光干涉仪技术校准拉绳式位移传感器的方法.     

激光干涉仪

激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉。（图１略）（２）结构图２斐索干涉...     

第三代激光干涉仪

微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔荪干涉仪不同。主要差别是：激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm。它具有全固态,可测“黑”目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标。如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以HeNe气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光“自混合”原理可看成是第三代激光干涉仪。     

纳米级二维激光外差干涉仪的设计

提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度，、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。     

新型零差激光干涉仪测量误差因素分析

介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响。结果表明,干涉条纹宽度对振幅测量值影响并不明显,测量误差为0.5%;光强变化引起的振幅测量误差为0.5%,光强较弱会增大测量误差;散斑效应引起的振幅测量误差与透镜参数有关,测量误差为0.4%。该新型零差激光干涉仪可有效降低测振系统对测量环境的要求。     

外差激光干涉仪的实现方法及其特点

本叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用，介绍了实现激光外差的三种方法，双频激光法，频移器件法和半导体激光线性调频法，中分析了其特点及发展趋势。     

雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80

在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]     

基于多普勒效应的激光微位移测量系统

介绍了一种可进行动态微位移测量的激光微位移测量系统。该系统以多普勒效应为理论基础，以He-Ne激光器为光源，配置了判向变频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图像处理软件包等，较传统测量方法其精度、误差、灵敏度及稳定度都有较大提高，并实现了微位移的全自动测量。     

基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力.建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较.     

实时测量空气折射率的高精度激光干涉仪

本文介绍了一种与传统测量方式所不同的实时跟踪空气折射率的高精度激光干涉仪,它是在“激光拍频高精度测量空气折射率”课题的基础上提出的,以期在实现实时、自动测量空气折射率的同时,突破干涉测量10~(-7)的精度极限。     

新型激光干涉仪

ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪,一次安装调整能同时测出位置（长度）,Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点,同时实现了多参数同步测量,减少测量时间８０％,大大提高了测量效率。     

工厂实用型激光干涉仪

本文介绍的仪器采用实物长度标准定标,不需要测定空气折射率,在标准温度(20℃)时可直接读数。且仪器成本低,适合工厂使用。     

高精度衍射光栅干涉仪的研制

提出了一种新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合正交信号的解相位细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.由于光栅干涉测量系统以光栅栅距作为测量基准,相对于传统干涉仪,光栅尺系统受环境因素造成的测量误差影响较小.通过实验校正,得到不同行程范围内光栅干涉测量系统的纳米级重复性误差,新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统适合于较长行程的高精度位移测量.     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。     

基于激光干涉仪的角度测量装置

本文设计了基于激光干涉仪的角度测量装置,该装置通过丝杆与齿轮传动装置将直线位移转换为角位移,从而利用激光干涉仪位移测量的高分辨力实现角度的精密测量。     

新型高精度激光干涉小角度测量仪的研究

在分析小角度测量基本原理和特点的基础上，介绍了光波干涉小角度测量的方法和一种新型双参考镜激光干涉小角度测量仪的测角原理，功能特点及具体应用方法。