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本文介绍了软X光多层膜反射镜的发展过程和应用前景。讨论了软X光多层膜计算的衍射动力学理论和薄膜光学理论。设计了周期和非周期多层膜系。用磁控溅射制备了171Å21层周期和17层非周期Mo/Si结构反射镜。用电子束蒸发制备了256Å21层周期Mo/Si结构反射镜。对所制样品进行了X光小角衍射实验,俄歇电子能谱分析和反射率测试,并对实验结果进行了一些讨论。 相似文献
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对软X射线与界面相互作用的规律进行初步研究,给出了软X射线界面散射的一级近似一般理论推导,从中给出了粗糙界面软X射线的散射传输特性,表明在粗糙表面上软X射线的镜向反射系数,需要做与粗糙度有关的数学修正。作为形式上的一种方法,本文还给出了粗糙表面对软X射线全反射的动力学模型,以及一维软X射线散射测量粗糙度原理。通过实验测量了λ=243Å,256Å时具有超光滑表面的Mo,Si样品之反射率和λ=44.6Å时石英超光滑样品的反射率。采用镀碘化铯的方法,使“真空紫外-软X光反射率计”的可测量短波长从200Å降至10Å.对44.6Å进行了散射测量,可以明显看到软X射线的非正常反射现象;还对积分散射测粗糙度方法进行了初步研究。最后给出了X线聚焦装置的理论公式和设计实例。 相似文献
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软X射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外、可见和紫外扩展到软X射线波段。由于软X射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高,因此由两块同心球面反射镜组成的Schwarzschild物镜在软X射线波段得到了广泛的应用。本文从多层膜带宽匹配条件、Schwarzschild显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发,研究了实现Schwarzschild显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程,为实际制备Schwarzschild显微物镜用多层膜提供理论指导。 相似文献
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用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性 总被引:1,自引:1,他引:0
软X射线多层膜是当前应用光学和工程光学的研究热点之一,反射率是其性能和膜层质量最直观的参数,它的测量对了解多层膜性能和改进多层膜制备工艺具有重要意义。本文介绍采用带有前置光学系统的大面积透射光栅光谱仪分光,让软X射线多层膜反射+1级或-1级软X射线,用国产的SIOFM型X射线胶片接受软X射线,通过测量可定性地判断多层膜制备质量,为改进多层膜制备工艺提供重要的参考依据。 相似文献
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18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析 总被引:1,自引:0,他引:1
软X射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外、可见和紫外扩展到软X射线波段.由于软X射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高,因此由两块同心球面反射镜组成的Schwarzschild物镜在软X射线波段得到了广泛的应用.本文从多层膜带宽匹配条件、Schwarzschild显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发,研究了实现Schwarzschild显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程,为实际制备Schwarzschild显微物镜用多层膜提供理论指导. 相似文献
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软X射线激光多层膜均匀性控制技术 总被引:1,自引:1,他引:0
软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究,以期得到更加精确的膜层结构. 相似文献
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本文介绍我们首先使用一块软X射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软X射线反射率计的软硬件结构、功能与特点,并报告了实测结果。 相似文献
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用磁控溅射法制备软X射线多层膜 总被引:3,自引:0,他引:3
本文介绍用直流-射频平面磁控溅射法制备软x射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下,采用计算机定时控制膜厚的方法,严格按照设计周期制备了多层膜样品,并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。 相似文献
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利用X射线衍射,是目前国际上对超薄多层膜进行检测常用的方法之一,但只局限于双晶或小角衍射仪。本文利用的方法解决了广角衍射仪在低角区测量时由于样品放置误差所造成的衍射峰偏移和得不到衍射曲线的问题,从而使广角衍射仪得以应用在小角区测量。文中重点对测量曲线进行了分析,准确计算了多层膜的周期和单层膜厚度,并与测量值进行了比较,结果表明利用广角衍射仪测量膜厚是切实可行的。在目前我国X射线波段反射率测量装置还没有完善的条件下,利用X射线衍射仪对超薄膜的检测更显得格外重要。 相似文献
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本文介绍了工作于1~67A波谱范围的多靶面低功率软X光源的工作原理、具体结构及实验结果。文章推导了电子束斜入射条件下极值靶电压的计算公式,并详尽地讨论了靶电压的选定。该X光源通过可转动的靶面支承轮,使4个(或8个)不同元素的靶面依次接受高速电子的轰击,从而获得4种(或8种)元素的特征X射线。靶极消耗功率为12mW,无需冷却即能正常工作。文中示出了Al—Ka(8.34Å)、C—Ka(44.7Å)及B—Ka(67.6Å)等特征谱线测试结果。 相似文献
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Soft X-ray microscopy with a cryo scanning transmission X-ray microscope: I. Instrumentation, imaging and spectroscopy 总被引:1,自引:0,他引:1
We have developed a cryo scanning transmission X-ray microscope which uses soft X-rays from the National Synchrotron Light Source. The system is capable of imaging frozen hydrated specimens with a thickness of up to 10 μm at temperatures of around 100 K. We show images and spectra from frozen hydrated eukaryotic cells, and a demonstration that biological specimens do not suffer mass loss or morphological changes at radiation doses up to about 1010 Gray. This makes possible studies where multiple images of the same specimen area are needed, such as tomography ( Wang et al. (2000 ) Soft X-ray microscopy with a cryo scanning transmission X-ray microscope: II. Tomography. J. Microsc . 197, 80–93) or spectroscopic analysis. 相似文献
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