真空校准装置测控系统的设计

介绍了真空比对校准装置的测量原理和工作方法,动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法等三种方法,满足了拓宽量程的需求.测控系统是真空比对法校准装置的核心系统,开发了基于虚拟仪器LabVIEW软件的控制程序,并在真空校准装置中的主标准器电容薄膜规和磁悬浮转子规等中得到了应用.详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计.实现了数据的自动采集和保存.提高了校准装置的自动化水平和工作效率.该装置可以对1×105～5×10-4Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置.     

紫外-真空紫外光谱辐照度校准系统

为了适应紫外探测技术的迅速发展,满足对紫外光源和紫外探测器校准的需求,建立了紫外-真空紫外光谱辐照度校准装置。装置由标准光源（氘灯）、标准探测器（增强型硅光二极管探测器）、紫外单色仪、真空仓等组成。装置采用双标准比对的方式对被测仪器和器件进行校准。即用标准光源和标准探测器分别对被检紫外光源和被检探测器进行量值传递。校准的光谱范围为110~400 nm。对探测器校准的不确定度最大为12%（k=2）,对光源的校准不确定度最大为20%（k=2）。     

压力真空扬程仪校准方法的研究及不确定度评定

压力真空扬程仪广泛应用于石油化工及水泵等企业,为了使其提供的液体、气体、压力及真空的分析数据准确、可靠,总结了压力真空扬程仪的计量校准方法。该文结合在压力真空扬程仪计量实践中遇到的一些问题对压力真空扬程仪的校准结果进行不确定度评定。建立了实验过程中相应分量的数学模型,分析了测量不确定度的来源,通过计算确定了各分量的不确定度和测量结果的扩展不确定度。     

置换法气体流量标准装置的研究

气体流量计量是科学计量的一个重要组成部分,目前采用的气体流量标准装置对于小流量气体计量准确度低,并且校准费用大,实现高精度的气体流量计检定及校准较为困难。本课题利用液体置换法设计了检测高精度气体流量的标准方法,同时该标准装置的研究可以使不同型式的气体流量标准之间的量值比对途径多样化。通过检定结果分析可得出下列结论:该方法可以使装置的扩展不确定度为0.09%,校准精度达到0.2级,达到课题设计的要求。该气体流量标准装置具有操作方便、稳定性高、重复性好等优点,特别是在高准确度小流量气体测量方面具有极大优势。     

真空电子技术

TB71,046 99010087真空漏孔的校准方法/孟扬,李旺奎(兰州物理所)11真空科学与技术学报一1 998,15(2)一135一242文中在检漏工作中,要定量地确定被检漏孔的漏率,需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪.在这个传递过程中,对参考漏孔的校准是一个很重要的环节.以国内外有关的标准和文献为基础,对真空漏孔的常用校准方法一一定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍.图7表1参1s(许)化和气体吸附等干扰效应,分析了标准装置的不确定度(1 a).该标准的校准范围为1。”一10“Pa,校准电容薄膜规和…     

微压力表测量不确定度的评定及CMC表达探讨

微压力表是测量物体的压力并指示出具体数值的工具,其将弹性元件设定为敏感元件,广泛应用于液体、真空、蒸汽压力等方面的测量工作,在工业流程与科研领域中是不可或缺的测量仪器.微压力表是依照国家计量检定规程进行测量工作,不确定度的评定与校准测量能力的表达能够反映出微压力表的计量性能.文章分别对不确定度与校准测量能力(CMC)进...     

744作为温度二次仪表检定装置不确定度的评定

系统地介绍了过程校准仪FLUKE744检定装置的测量所依据的检定规程、测量方法,并建立了数学模型,分析了不确定度来源,详细的进行了标准不确定度的评定,计算出了装置的合成不确定度、扩展不确定度和可开展的工作,是建立标准所必须的。     

真空低背景红外高光谱亮温计量标准装置研制

为满足红外遥感载荷在辐射定标方面的量值溯源需求,中国计量科学研究院研制了真空低背景红外高光谱亮温计量标准研究装置。介绍了红外高光谱亮温计量标准装置的设计方案和高光谱分辨的量值传递方法和溯源链等。设计了用于放置用户被校黑体的模拟太空环境的真空低背景实验舱,建立了包含固定点黑体源和标准变温黑体源在内的标准器,通过傅里叶变换红外光谱仪将标准黑体源的量值传递给被校黑体辐射源。研制的标准变温黑体辐射源的温度范围覆盖125~500 K,口径为30 mm,空腔发射率为0.999 7,亮度温度标准不确定度优于0.026 K@300 K/10 m。真空固定点黑体包含汞固定点、镓固定点和铟固定点黑体,口径为25 mm,温度不确定度优于0.020 K@10 m。该装置具有高温度不确定度水平、高光谱分辨率和扩展性强等特点,能够满足大部分红外载荷量值的溯源需求。     

电学计量中测量不确定度评定的应用

随着市场经济和技术的快速发展,检定和校准以其灵活多样的技术依据和分包方式等特点已经被逐渐接受。然而在电学计量的检定和校准中,导致系统产生误差的因素多而复杂,并且在计算不确定度的同时,也会受到不必要误差的干扰。为此本文着重介绍了测量不确定度评定理论以及造成电学计量中产生系统误差的主要原因,为电学仪器的计量提供参考并指出发展方向。     

S参数标准装置测量不确定度分析

S参数标准装置由标准失配器、标准衰减器和标准空气线组成,本文主要对其分析不确定度来源,进行合成计算,通过稳定性和重复性检验,得到S参数标准的测量不确定度,实现S参数的量值传递,开展日常计量检定工作。     

一种真空开关管真空度测量及校准方法

详细介绍了一种真空开关管真空度测量及校准方法。这种方法对规范真空开关行业真空度测量及校准将起积极的作用。     

铁路机车限界激光检测仪及标定技术研究

为了实现铁路机车限界的高效率、高精度测量,建立了一套基于激光扫描的限界检测仪.该检测仪通过固定在支撑框架四周的测距传感器来完成机车截面各部分扫描测量,重点研究了现场高精度标定方法,通过自行设计的标定卡规,借助激光跟踪仪完成系统参量标定.由测距传感器测得结果,结合系统参量标定数据,解算出所有被测点在铁轨坐标系下的3维坐标,进而求得截面轮廓到标准限界的距离,完成限界测量.结果表明,该系统测量效率高、测量精度达到0.5mm,满足限界测量需要.     

AMS2750E标准在真空炉中的应用

AMS2750E标准规定了各类真空炉型的温度校准精度和均匀性的要求,以及各类仪器、仪表的校准精度。目前各行业都在借鉴和使用该标准,而普通的真空炉不能满足AMS2750E标准要求。通过对其关键技术的解决和实施,研制了能够满足AMS2750E标准的真空炉,并且已经在航空、航天以及各行业领域内广泛使用。     

热真空环境下二维尺寸视觉测量标定方法研究

针对热真空环境条件对视觉测量精度影响的问题,提出了一种新的基于像素当量的二维尺寸视觉测量系统实时标定方法。该方法采用光刻已知尺寸线条的石英标准件作为测量基准,利用一阶微分期望亚像素细分算法和最小二乘拟合,可实时获取较高精度的像素当量值从而减小环境误差。热真空环境下的实验结果表明,该方法可用于热真空环境下二维小尺寸视觉测量的标定。     

便携式多光轴平行性检校系统的研制

为满足野外检测多波段光电设备光轴平行性的检校需求,研制了一套便携式多光轴平行性检校系统。系统采用反射式卡塞格林光学系统和ZnS晶体靶板,为被校系统提供无穷远的十字分划目标并以此作为瞄准基准,完成对被校系统电视轴和红外轴之间的平行性检校;采用CCD系统完成分划板十字线和靶纸上激光光斑的采集,并利用数据处理系统检测出分划板十字中心与激光光斑中心位置的偏差量,完成对被校系统激光光轴与可见光轴之间的平行性检校。利用高精度光学角规对所研制的检校系统进行了标定,精度可达亚秒级。实验结果表明,该检校系统测量电视轴与红外轴之间平行性标准不确定度为2″,检校激光瞄准轴与发射轴平行性标准不确定度为5″。     

中国计量科学研究院真空标准简评

本文介绍并简评了计量院的真空标准体系。包括绝对标准、相对标准及漏率标准;并提供了计量院标准相关的数据和１９８４ 年参加国际比对的结果。     

印制电路板应变测量用应变片选用方法研究

应变测量由于它的众多优点在电子产品可靠性领域的应用越来越广泛,但电阻应变片的类型繁多,功能各异,以至于使用者很难找到满足自己测试目的和测试环境的应变片。文章提出的选用方法从应变片种类、敏感栅材料、基底材料、电阻值、尺寸、敏感栅结构型式和测试量境温度等方面,综合考虑并结合生产商的应变片型号编码系统,可以快捷地找到适合的印制电路板应变测量用应变片,同时针对绝大多数电子制造商不具备专业应变片检定设备的现实,介绍了一套简单可行的应变片检定工具,并通过两个实例证明该检定方法的可行性。     

一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计

微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展.以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案...     

当代电子学的标志——真空微电子学

本文概述了真空微电子学的基本原理、特性、用途及发展现状。现在真空场发射三极管高频电压增益可做到11dB,跨导为38μS。预计真空微三极管的频率可达3GHz以上。指出,新研制的真空微电子微带放大器在35～1000GHz(1THz)频段下输出功率可达1～50W。