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本文介绍了一种新型RP技术-激光内切割技术。这种技术由于它自身的特性会引起光束在材料内部传输时产生自聚焦效应,从而影响激光内切割的切割质量。这种影响可以通过对数控程序中机床步距进行修正来削弱或者消除。 相似文献
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综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景.与刀片切割技术相比,激光切割技术具有切割质量好、切割速度快等优点.详细介绍了以进一步改善晶圆切割质量和提高切割速度为目的的几类整形激光切割技术,包括微水导激光切割技术、隐形切割技术、多焦点光束切割、“线聚焦”切割、平顶光束切割和多光束切割等.随着技术的不断完善、切割设备的不断成熟,整形激光切割技术在未来的晶圆切割领域将具有广阔的应用前景. 相似文献
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王磊 《电子工业专用设备》2010,39(4):13-16
介绍了紫外激光切割技术的优越性,综述了紫外激光切割技术在半导体芯片切割中的应用.指出了传统砂轮切割技术在半导体芯片切割工艺的局限性,对各自的工作原理、特点、作了重点阐述。对传统砂轮切割技术和紫外激光切割技术进行了实验比较,并对紫外激光切割技术在半导体芯片切割工艺上的发展前景作了展望。 相似文献
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随着激光加工技术的不断发展.激光切割在越来越多的领域中发挥起重要作用.介绍了国内外高功率激光切割技术的发展现状、发展趋势、市场应用现状及前景分析,提出了我国高功率激光切割产业的技术发展方向. 相似文献
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为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm~20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的. 相似文献
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为了解决毫/纳秒激光加工微孔质量低的问题,利用脉冲宽度为200ps的脉冲激光,采用高速旋切法对厚度为0.2mm的SUS 304不锈钢薄板进行直径为200μm的微孔加工试验,用激光共聚焦显微镜观察孔的外观形貌,研究旋切速率、激光功率和离焦量等因素对孔径、锥度和热影响区等加工质量的影响。结果表明,旋切速率对微孔内壁质量有直接的影响;通过提高转速来降低激光脉冲重叠率可以减小微孔内壁的热影响区;适当增加激光功率,能够改善旋切加工微孔切口处的加工质量;采用正离焦加工能够一定程度减小孔的锥度。优化工艺参量能够加工出热影响区小、边缘质量好的小锥度微孔。 相似文献
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工艺参数对激光切割工艺质量的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
对汽车用冷轧钢板进行了激光切割工艺试验,研究了激光切割速度与激光功率对切缝宽度、表面粗糙度、挂渣等切割质量的影响。结果显示在相同的条件下,切缝宽度随切割速度的增加而有一定的变化,随激光功率的增加而显著增加。切割速度及激光功率对切割表面粗糙度的影响是一抛物线规律,随切割速度的变化,切割边部形貌存在分形现象。金属材料激光切割后其热影响区非常小,受激光切割工艺参数的影响不大。 相似文献
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为了获得聚晶立方氮化硼(PCBN)最优的激光切割质量和切割效率,依据烧蚀直径和入射激光脉冲能量的函数关系,得出PCBN烧蚀阈值为1.796J/cm2。采用Nd:YAG激光器对型号为BN250的PCBN进行切割试验,分析了切割速率、激光功率以及脉冲频率对切割质量的影响规律。通过切缝的显微观测对比,总结出不同激光工艺参量下PCBN缝宽的变化趋势。结果表明,对于脉宽为100μs的激光,当激光功率为28W、脉冲频率为60Hz、切割速率为20mm/min时,能够获得PCBN激光切割的最优切缝和较高的切割效率。该工艺方法和数据的建立,对今后PCBN或其它超硬材料的激光加工有着重要参考价值。 相似文献
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本文将结合JSG—I型CO2激光切割机的研制和使用实践,在剖析CO2激光切割非金属材料的物理过程与大量切割试验数据的基础上,阐述基于高斯光束输出动特性的调焦原理与方法。分析了在激光功率和材料特性一定的条件下,调焦、切割速度、压缩气体成份与压力对切割深宽比、热影响区及切口光滑度的影响和相互关系。 相似文献
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在激光热裂法切割玻璃的过程中,温度起着至关重要的作用。为了准确掌握切割过程中温度场的分布,提高切割质量,提出了一种CO2激光切割玻璃基板的数值模拟方法。在ANSYS有限元环境下,建立了激光热应力切割电子强化玻璃的三维有限元分析模型,对温度场进行了分析。通过实验验证,得到了切割过程中温度场在不同参数下的变化及其对切割质量的影响以及温度分布与激光功率、光斑尺寸和扫描速度的非线性关系。 相似文献
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为了获得36MnVS4连杆裂解槽最优的切割质量,采用正交实验法对裂解槽进行了激光切割理论分析和实验验证,通过激光共聚焦显微镜测量裂解槽的深度、宽度、张角及曲率半径等几何尺寸,同时采用扫描电镜观测裂解槽底部微观形貌及热影响区的厚度,采用极差分析法得到了峰值功率、脉冲宽度、切割速率和脉冲频率对裂解槽几何尺寸的影响,并获得了最优实验参量组合。结果表明,裂解槽热影响区厚度皆小于100μm且裂解槽底部存在微裂纹及气孔,各参量组合对裂解槽宽度、张角及曲率半径的影响较小,对裂解槽深度的影响较大;脉冲宽度和峰值功率对槽深的影响较大,脉冲频率和切割速率对槽深的影响较小;优化后切割速率为1.0m/min,峰值功率为700W,脉冲频率为1000Hz,脉冲宽度为50μs。这一结果对实际生产具有重要意义。 相似文献
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《Solid-State Circuits, IEEE Journal of》1985,20(6):1259-1264
The laser cutting of aluminium stripes on a semiconductor integrated circuit chip is investigated using a nitrogen-laser-pumped dye laser with a 12-ns pulse duration of 0.51-/spl mu/m wavelength. Stripe cutting, without damaging the underlayers, is performed using an aperture projection method in which laser power density is uniformly distributed and edge resolution is sharp. The effects of stripe and SiO/SUB 2/ layer thicknesses, laser power, and aperture size on the removal of stripes are presented. In addition, the thermal effects on device characteristics are calculated. This technique is shown to be effective as a debugging tool in VLSI development, either at the research stages or at the production stages. 相似文献