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微电子技术中基板的金属化是为安装IC芯片和布线,应用较广泛的金属化方法是厚膜技术。厚膜金属化是一个复杂的物理化学过程,厚的附着主要通过玻璃结合和反应结合两种方法来实现,要提高厚膜的附着力和电性能等。必须考虑化学反应的热力学,选择合适的导体浆料,主要是玻璃料和活性粘合剂,有效地控制金属化层与陶瓷的界面,玻璃结合与反应结合是提高厚膜质量的有效手段。 相似文献
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臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
为了提高臭氧发生器的臭氧产量,要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率.本文研究了掺杂成分CaO、Y2O3、YF3、(Y,Ca)F3对臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的相对密度、热导率、介电常数、介质损耗等性能的影响.采用XRD分析其物相和SEM观察其显微结构,结果表明,掺杂成分对改善陶瓷基板材料性能的作用大小依次排列为(Y,Ca)F3>YF3>Y2O3>CaO,最适合的掺杂配方是(Y,Ca)F33.0wt%,YF32.0wt%,Y2O31.0wt%,CaO1.0wt%. 相似文献
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<正>日本电石工业(日本カーバイド工業株式会社)成功开发出适用于片状电阻的氧化铝基板。与传统的积层法多层板技术不同,该公司采用银电极立体印刷技术和沟槽蚀刻技术生产了具有3D结构的单层氧化铝基板。该技术工艺简便,成本低廉,目前不仅已推出部分样品,并且已正式决定投入生产。作为当前全球最薄的氧化铝基板,其在发光二极管、芯片等方面有着潜在的应用价值。 相似文献
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功率模块用陶瓷覆铜基板在电子行业中应用广泛,其质量对整个电子产品的性能和可靠性具有重要影响。本文综述了功率模块用陶瓷覆铜基板的发展现状,阐述了功率模块用陶瓷覆铜基板的质量评价相关性能要求,探索功率模块用陶瓷覆铜基板性能评价指标、测试方法,最终建立一套以市场为导向的,具有系统性、先进性和时效性的,涵盖产品性能符合性/工艺流程稳定性/服役适用性的功率模块用陶瓷覆铜板试验评价体系。通过实验测试和数据分析,建立质量评价的依据,使覆铜板生产单位和模块生产单位的工艺缺陷变得数据化、可计量,明确了自身产品性能表征指标,为工艺改进提供了评价标准和前进方向,为功率模块用陶瓷覆铜基板的质量控制提供了有力支持。 相似文献
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本文主要介绍了流延法生产氧化铝陶瓷基板的工艺.研究了原料粒度分布对基板微观结构的影响,用流延法制备了96%氧化铝陶瓷基板,并对基板表面被釉,试验了基板的性能,研究了基板生产过程中一些关键的因素. 相似文献
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采用凝胶注模成型工艺近净尺寸原位成型了性能优良的臭氧发生器用复合陶瓷基板。该陶瓷材料的介电常数达到80以上,介质损耗<2.5×10-4,击穿电压>16KV/mm,满足了大型臭氧发生器对介电体高介电常数、高击穿电压和低介质损耗的需要。该成型工艺克服了干压、流延成型等工艺对材料性能造成的不利影响。通过实验,确定了大规格超薄复合陶瓷基板的成型、干燥和烧成制度,测定了复合陶瓷基板在不同条件下的各种物理及电性能参数,并采用SEM方法对复合陶瓷基板进行了显微结构分析。实验结果表明:应用凝胶注模成型方法,可以获得高密度、高均匀性和高性能的臭氧发生器用复合陶瓷基板。用此复合材料制造的臭氧发生器在电源频率为30KHz,电压为3000V,电耗为18KW·h/kgO3的情况下,臭氧产量为1000g/h。 相似文献
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氮化硅陶瓷覆铜基板优异的高可靠性使其成为高铁、电动汽车等领域功率模块最有前途的基板材料之一,目前只有日本厂商具备量产能力,国内进口困难,阻碍了相关产业的发展.采用气压烧结实现了高性能氮化硅陶瓷基板的制备,并通过活性金属钎焊工艺获得了氮化硅陶瓷覆铜基板.氮化硅陶瓷的弯曲强度800 MPa,断裂韧性8.0 MPa·m1/2,热导率90 W/(m·K),交流击穿强度40 kV/mm和体积电阻率3.7×1014Ω·cm;氮化硅陶瓷覆铜基板的剥离强度达到130 N/cm.在-45~150℃高低温循环冲击下,氮化硅陶瓷覆铜基板的冲击次数分别达到氮化铝和氧化铝覆铜基板的10倍和100倍;在铜厚0.32 mm/0.25 mm冲击次数达5000次和铜厚0.5 mm/0.5 mm冲击次数达1000次的情况下,样品均完好无损;在铜厚0.8 mm/0.8 mm冲击次数达500次时,样品仍未产生微裂纹等缺陷,这与铜厚0.32 mm/0.25 mm时氮化铝覆铜基板的循环次数相当;氮化硅陶瓷覆铜基板的可靠性明显优于现有产品. 相似文献
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采用CuO浆料为布线导体材料是制造多层陶瓷基板的新技术,该方法可彻底除去浆料中的有机物,制造性能良好,易于推广和批量生产的多层陶瓷基板,本文总结了CuO多层陶瓷基板材料及其制造技术,分析了各工艺对基板性能的影响,确定了最佳技术条件。 相似文献
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讨论了用凝胶注模成型制备大尺寸臭氧发生器陶瓷基板的过程。本实验以化学式为Ba(Sm,Nd)2Ti5O14的介电陶瓷为固相粉末.以丙烯酰胺(MBAM)为凝胶有机单体,用传统球磨的方法制备出了高固相、低粘度的陶瓷浆料(浓悬浮体)。分析了凝胶注模成型与干压成型制备的Ba(Sm,Nd)2Ti5O14陶瓷基板的体积密度、结构均匀性以及电学性能不同的原因。结果表明:凝胶注模成型制备的Ba(Sm,Nd)2Ti5O14陶瓷基板具有体积密度商、结构均匀的特点。合理使用凝胶注模成型工艺可以提高陶瓷介电常数、抗电强度和降低介质损耗。 相似文献