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1.
用两步射频溅射法在n型Si(111)片和熔融石英片上沉积出不同体积分数的立方氮化硼(c-BN)薄膜,薄膜的成分由傅里叶红外吸收谱标识;用紫外-可见分光光度计测量了沉积在石英片上的BN薄膜的透射光谱Te(λ)和反射光谱Re(λ),薄膜的厚度用台阶仪测得。由透射、反射光谱计算了薄膜的光吸收系数a,进而采用有效的中间形式,确定了氮化硼薄膜的光学带隙。结果表明:随着c-BN体积分数的增加,光学带隙随之增大。确定出的光学带隙和经验公式的计算结果相吻合。 相似文献
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利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,并在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.研究发现,沉积时工作气压的变化对BN薄膜的场发射特性有很大影响,工作气压为2Pa时沉积的BN薄膜样品的场发射特性较好,其阈值电场为6V/μm,场发射电流为320μA/cm^2.F—N曲线表明,在外加电场的作用下,电子是通过隧道效应穿透BN薄膜表面势垒发射到真空的. 相似文献
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高品质立方氮化硼薄膜的制备及应用基础研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用射频(RF)磁控溅射的方法,成功地在(100)单晶硅片上沉积制备出了高品质的c-BN薄膜,并通过对基片的高能离子束的预处理,有效地改善了c-BN薄膜中因内应力导致的差的附着性能.进一步研究了衬底负偏压、温度与薄膜质量的关系,讨论了薄膜中内应力的状态.在此基础上,深入开展了硬质合金上沉积c-BN薄膜的工作,为c-BN薄膜的实际应用奠定了基础. 相似文献
4.
介绍了立方氮化硼单晶、聚晶立方氮化硼、氮化硼纤维材料的制备、性能及应用,对聚晶立方氮化硼的特殊性能和其作为刀具材料的应用进行了特别的分析,并指出了氮化硼的发展趋势 相似文献
5.
本文采用扩散的方法实现了立方氮化硼的硅掺杂,分析了扩散温度、时间对其电阻的影响.实验结果表明:在扩散的初始时段,立方氮化硼的电阻下降很快;而随着掺杂时间的增加,电阻变化趋缓,说明掺杂浓度随时间增加将出现饱和现象.另外,当扩散温度增加时,立方氮化硼的电阻也随之下降,即较高的温度有利于获得较高的掺杂浓度. 相似文献
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于丽娟 《西安建筑科技大学学报(自然科学版)》1997,29(2):191-193,200
用氮硼化镁作触媒,用六面顶压机在高温、高压下合成立方氮化硼通过对合成cBN的压力,温度,时间及原料六方氮化硼等各种因素的研究,得到了合成cBN的压力,温度,时间及原料六方氮化硼等各种因素的研究,得到了合成cBN的最佳工艺条件,即温度1500℃左右压力5GPa左右。 相似文献
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聚晶立方氮化硼(Polycrystalline cubic Boron Nitride,PcBN)是继聚晶金刚石之后的又一超硬耐磨材料,广泛用于机械、冶金和电子等领域。就金属添加对烧结体的影响做了系统的实验研究,结果表明,烧结过程中加入少量的金属铝和钴,可以使氮化硼晶粒之间实现较强的结合,明显地提高PcBN烧结体的密度与机械强度,然而添加金属铜却起不到这种作用。定性分析了不同金属影响高压烧结PcBN的原因。 相似文献
9.
洪时明 《四川大学学报(工程科学版)》1989,(3)
1987年以来,在日本,以立方氮化硼大单晶的合成为基础,研制了能耐650℃高温的cBN_(p-n)结二极管,进而还发现cBN二极管作为固体发光元件其电致发光光谱在紫外光区域内。 相似文献
10.
杨洁 《长春理工大学学报(自然科学版)》2005,28(2):96-97
本文利用薄膜沉积和光刻方法,在Si掺杂的p型立方氮化硼单晶表面制备出微小测量电极,测量出高温高压合成的、并经过热扩散获得的Si掺杂p型立方氮化硼的电阻率和导电特性,为小尺寸晶体材料的电学性质测量提供了一个有效的方法. 相似文献
11.
硼碳氮薄膜的内应力研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频磁控溅射技术制备出硼碳氮(BCN)薄膜。傅里叶红外吸收光谱(FTIR)测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合,扫描电子显微镜(SEM)测量发现样品与衬底间存在较大的内应力。样品剥落后,应力的消除使红外吸收峰向低波数移动。实验还发现,对新制备的硼碳氮薄膜进行600℃热处理能有效释放薄膜中的压应力。 相似文献
12.
对六方氮化硼和立方氮化硼分别进行了剥离和羟基化改性,并采用X射线衍射、红外光谱分析、BET比表面积分析和热重分析对其结构进行了表征。将剥离前后的六方氮化硼,以及羟基化改性前后的立方氮化硼作为功能性填料应用于水性膨胀型防火涂中,研究了这4种氮化硼对水性膨胀型防火涂料性能的影响。结果表明,它们均能明显提高膨胀型防火涂料的阻燃性能,其中剥离后的六方氮化硼的阻燃效果最好。羟基化改性以及剥离均可提高氮化硼阻燃性能。剥离不仅可以提高六方氮化硼的阻燃性,还可以提高其涂料的耐水性,可能是因为剥离后的六方氮化硼纳米尺寸更小,更趋近于片状(层数减少),利于在涂料以及碳层中的均匀分散,但羟基化改性由于提高了立方氮化硼的表面亲水性,因而降低了其涂料的耐水性。 相似文献
13.
利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm^-1和780cm^-1).在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性,与沉积在硅片上的BN薄膜比较,沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射特性明显提高.开启电场为8V/μm,最高发射电流为300μA/cm^2.沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射FN曲线为两段直线,这可能是由于电子发射源于硅尖的尖部和根部造成的. 相似文献
14.
实验采用射频磁控溅射技术,制备了不同溅射时间下AlN缓冲层的ZnO薄膜,研究了薄膜的结构、形貌及电学性能.结果表明,不同溅射时间下AlN缓冲层ZnO薄膜的生长依然是(002)择优取向,而且当缓冲层溅射时间为60min时,ZnO薄膜的结构和电学性能最好. 相似文献
15.
该文采用RF磁控溅射工艺制备了射频薄膜电感用的铁氧体薄膜。为了降低铁氧体薄膜在高频下的涡流损耗、剩余损耗等,通过对铁氧体材料的磁特性分析,研究了不同的温度、成分掺杂对铁氧体磁性能的影响,获得了矫顽力为5.619 6Guss的铁氧体薄膜,并采用SEM、XRD对铁氧体薄膜表面结构进行了表征,采用VSM对薄膜磁性能进行了测试。 相似文献
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根据我国燃具设计规定的设计工况(大气压力为101325P_a,燃气温度为0℃,燃气额定压力为P_d),本文通过大量运算与测试分析了燃具使用地点的大气压力和燃气温度对其设计额定热负荷的影响。本文提出为补偿这一影响,燃具应在一定的工作额定压力下运行。作者建议将设计工况改为101325P_a和20℃,并提出了确定工作额定压力的原则及其计算关系式。 相似文献