ZG—15型卷绕镀膜机感应加热式蒸发源的设计

感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛 地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加 热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感 应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题，诸如坩 埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍，并且指出了这 种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。     

带材真空镀铝设备蒸发源与最佳膜厚分布的探讨

长幅带材真空镀铝的膜厚均匀性问题,一直是研究真空镀铝的中心问题,尤其是镀制电容器膜。本文通过计算和比较,对蒸发源的选择及蒸发源的最佳排列与膜厚分布等问题进行探讨。     

一种能获得膜厚均匀的筒状蒸发源

本文介绍的筒状蒸发源，可以获得大面积的均匀膜厚分布．采用迭代法计算的相对膜厚分布和用干涉法测量的相对膜厚分布能较好地符合。相对偏差可＜０．３％。     

半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨

本文对引进镀膜机蒸发源的排列从理论上进行了分析，根据分析结果将蒸发源重新排列，在生产实践中取得了明显的节材、节能的经济效益。     

用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源

本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上，发展了多功能受控电弧蒸发源，它可在自由电弧状态下运行，而在２００～２５０Ａ高参数运行时，可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转，使阴极烧蚀均匀，提高了镀膜沉积速率，薄膜质量也相应提高。研制的另一种环形阴极旋转电弧蒸发源，可基本消除液滴，使阴极利用率更高。     

蒸发源位于半球面正下方膜厚分布理论研究

对蒸发源位于非平面基底一半球面正下方时膜厚均匀性进行了理论研究。通过建立无量纲模型计算了此种几何配置下,半球表面在两种常见理想蒸发源下各位置的膜厚公式以及膜厚分布方程。选择基底与蒸发源问较大的距离,可获得更大的可镀膜区域,同时该距离对基底上镀制的膜层厚度分布影响也较大。最后对实用蒸发源的发射系数,对该几何配置下半球面膜厚分布影响进行了理论研究。     

蒸发镀膜基片工装改进与镀膜均匀性研究

红外滤光片,尤其是中长波红外窄带滤光片等光谱指标要求较高的红外光学薄膜,膜层厚度能达到几十微米,因而对膜料的需求非常大.当镀膜真空室较大时,一次填料不能满足膜料用量需求,通常采用减小蒸发距离的方式提高膜料的利用率,但同时会使膜厚均匀性变差,光谱性能变差.通过镀膜理论分析,在满足产品镀膜均匀性的前提下,设计了一套可自由调...     

多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研究

多弧离子镀技术近年来发展极为迅速，已生产出多种类型的多弧离子镀设备并已投产使用。设备中阴极电弧蒸发源工作性能的好坏直接影响到产品质量。本文在大量实验的基础上对蒸发源的工作稳定性，进行了探讨、研究，分析其影响因素和原因，并提出一些解决办法。     

超高真空中使用的高纯过渡金属蒸发源

设计了一种超高真空使用的低电流过渡金属蒸发源 ,它能产生高纯金属原子束 ,且具有一定的寿命。该蒸发源是将过渡金属Co,Ni或Cr电镀到一个由W丝弯成的U形加热器上构成的。装入超高真空中 ,利用W丝自身的电阻加热 ,去气后 ,可获得数小时的清洁蒸发。实验结果表明 ,在离蒸发源约 5cm处 ,其淀积速率最高可达 1 0nm/min ,总的淀积厚度超过 5 0 0nm ,而且Auger分析结果显示 ,在超高真空中淀积的上述几种过渡金属薄膜 ,其纯度相当高 ,杂质含量均小于仪器的检测灵敏度。本文详细介绍了这种过渡金属蒸发源的制作技术及性能     

脉冲电弧蒸发源的研究

本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标.     

新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制

新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述，并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明。     

Simulation of the organic thin film thickness distribution for multi-source thermal evaporation process

A model of multi-source thermal evaporation process was proposed to achieve higher deposition rate and uniformity of organic thin film. In this model, several point type sources were uniformly distributed around a circle and evaporated simultaneously to form a surface-like source. Based on the Monte Carlo method, the evaporation process was simulated, and the effect of the number of point type sources, circle radius and source-substrate distance on the uniformity was analyzed. Based on the method proposed in this paper, the uniformity of the thickness in the organic layer was successfully controlled in 5%.     

Effect of a bell-shaped cover in spin coating process on final film thickness

Thin polymer films can be prepared by spin coating with thicknesses ranging from nanometers to micrometers. The film thickness is controlled by concentration of the polymer solution, molar mass of the polymer and spinning speed. The patented GYRSET system for spin coating applications provides a fundamental modification. The bell-shaped cover minimizes air turbulences inside the process chamber; therefore, better uniformity of the layer is produced. This leads to highly reproducible results, uniform coverage, and reliable and uniform material application, in particular at lower spin speeds. We focus on the question how does the GYRSET system change the final film thickness. In particular, we have investigated modifications of the existing spin coat equation for solutions of polystyrene dissolved in toluene using the GYRSET system. In addition, we compare homogeneity of films prepared by open spin coating and GYRSET systems. Received: 9 October 2000 / Reviewed and accepted: 10 October 2000     

微型滑块轴承润滑油膜厚度光学测量系统

针对微型滑块轴承润滑试验研究测量复杂、精度低、不能实时测量等问题,提出一种微型滑块轴承润滑油膜厚度光学测量系统。通过基于平行并联机构的调节装置实现试样与玻璃盘倾角的调节与固定,上位机控制电机带动玻璃盘转动形成动压油膜。通过光栅获取玻璃盘的实时转速,通过双色光干涉法利用光流算法和基于动态时间规整(DTW)算法实现最小膜厚的同步测量。在实验环境中,该系统运行平稳,对于宽度为0.8mm的滑块,倾角调节分辨率为1/7328,利用波长655 nm和532 nm的红绿双色光合成激光作为光源,实现膜厚在线追踪,可满足稳态以及时变的试验要求。     

水平管降膜蒸发器的研究进展

介绍应用于制冷空调系统的水平管降膜蒸发器的基本原理与结构,给出管间流动模式及传热预测模型的研究现状,分析布液器及管阵布置方式对其性能的影响,为设计制造降膜蒸发器提供一定的参考。     

板翅式蒸发器液冷系统设计

为了研究板翅式换热器在沸腾相变换热情况下的传热及压降特性,设计一套采用氟里昂蒸气压缩循环的液体冷却试验系统,其中板翅式换热器作为蒸发器,R22作为制冷剂,热水作为被冷却液体提供制冷剂蒸发所需热量。对该系统的运行工况、参数范围及系统各部件（包括压缩机、冷凝器、毛细管、板翅式蒸发器）进行设计及选择,并介绍所搭建的试验台。