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《仪表技术与传感器》1974,(2)
一、序言在现代科学技术蓬勃发展的形势下,要求光学镀膜工艺能够精确地控制真空蒸发金属或非金属薄膜的厚度,以满足广泛应用的各种光学系统的需要。目前国内外镀膜工作中控制光学镀膜厚度 相似文献
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《仪表技术与传感器》1974,(2)
在辽宁省机械工业局的主持下,于一九七三年十二月二十一日至二十四日,在沈阳对沈阳仪器仪表研究所研制的“波长调制法膜厚控制仪”进行了鉴定。来自全国十个省市,二十五个兄弟厂,所,以及高等院校的四十余名代表,对该仪器进行了鉴定、并作了指导。一机部仪表局、辽宁省机械工业局的领导同志也参 相似文献
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随着科学技术的发展,光学薄膜在各个领域中得到了广泛的应用。在薄膜系统中,常用的是经典的λ_0/4膜系。这种膜系厚度整齐,都是1/4波长的整数倍厚度。因此,这种厚度制备和监控方便,采用光学极值法和波长调制法就能成功地进行监控。但是,光学薄膜的应用日益广泛,对膜系的特性提出各种新的要求,采用经典的λ_0/4膜系已不能满足,而必须是任意厚度的新膜系。例如:在激光技术中,要求可见区和1.06微米减反射膜系,这种膜系的厚度必须是不整齐的。另外,当必须使膜堆的光学导纳匹配以降低其光学损失时,也应是非λ_0/4的膜系。任意厚度的膜系具有优良的光学 相似文献
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吴秉海 《仪表技术与传感器》1988,(1)
随着现代科学技术的飞跃发展,光学行业搞真空镀膜的同志都希望有一套性能稳定,使用方便,控制准确的膜层监控系统。沈阳仪器仪表工艺研究所研制的MKY-Ⅲ型光学膜厚控制仪及膜层监控系统就是这种设备。为使大家更加了解它的性能,根据我在 相似文献
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陈瑜 《仪表技术与传感器》1981,(4)
借助沙敏干涉仪的原理,增设显微观察系统(还可用照相机摄影记录),采用TEMoo模式氦氖激光器做光源(高斯光束近场照明),组成了一种激光双光路显微干涉仪,它具有很高的灵敏度和测试精度,而且装置简单、调整容易、图象直观、照片清晰。可测量极薄的透明光学材料和介质材料的厚度(当折射率已知)或折射率(当材料厚度已知),可测量均匀厚度的透明材料的折射率分布,还可以借助标准光学块做相对比较测量等。 相似文献
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刘志伟 《仪表技术与传感器》1988,(6)
一、引言 现在人们已经掌握了用各种半导体材料诸如硅、GaAs制造太阳能电池的技术。其制造工艺是采用半导体平面微电子技术。随着厚、薄膜混合微电子技术的飞速发展,工 相似文献
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考虑红外多波段双视场共光路系统多谱段色差严重且能量透过率低,本文设计了结构简单的红外中波/长波双波段双视场折射系统,实现了成像系统的功能多样性。该系统采用了320pixel×240pixel红外中波和长波双色焦平面阵列探测器,通过引入非球面元件提高了系统校正像差的能力,实现了镜片组的结构性调整。系统包括变焦和二次成像两个子系统,其中变焦系统短焦距为50mm,长焦距为200mm,满足100%冷阑匹配。像质评价结果表明:在17lp/mm处,调制传递函数(MTF)在中波处大于0.5,在长波处两个视场下都接近衍射极限;另外80%左右的能量都能被集中在一个像元上,光谱透过率均匀,且无严重的冷反射现象。优化后的光学系统具有适用范围广,结构紧凑以及成像效果好等优点,在机载光电侦察跟踪设备上有较好的应用前景。 相似文献
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设计出双光路的露点测量仪,测量光经分光后,一路直接被光电管接收,作为参考信号,能够对光强自动进行温度补偿;另一路经镜面反射和散射后被光电管接收,使反射光和散射光线都可以聚焦于测量,不浪费光线,光信号经光电转换及放大后控制制冷器制冷,使气体中的水蒸气在镜面上冷凝并达到相平衡状态,通过测温电路测出露层温度。同时合理选择各个部分的材料和元器件并设计出高精度的硬件电路及控制系统。通过实验验证,仪表可以快速稳定,测量精度大大提高。 相似文献
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《仪表技术与传感器》1975,(1)
序言在多层膜工作中,当选定膜层材料和基底以后,准确地控制每一个膜层的厚度对整个膜系的光学性能起着决定性的作用。因此,膜厚控制已成为镀膜技术中的重要环节。在多数情况下,膜层厚度的允差约为2%,在个别情况下,允差可大至5%或10%,通常使用的极值法的精度不容易达到2%,因此,需要使用具有较高精度的其他方法。 相似文献
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李欣波 《仪表技术与传感器》1994,(2):39-40
本文介绍一种厚膜电阻压力传感器,该传感器只需通过改变膜片的厚度和直径,就可检测10Pa~60MPa的压力。焊接在膜片上的厚膜应变片构成惠斯登电桥,能够抑制失调电压和温度的影响。精度达到1%F·S,温漂小于0.01/K F·S。足以满足很多工业电气方面的应用。 相似文献
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于春泽 《仪表技术与传感器》1983,(2)
本文介绍的是利用涡流效应对厚度(金属板上的绝缘材料)进行测定的原理和选用这种膜厚仪时应注意的事项。一、涡流电流效应呈水平状态放置的线圈所产生的交流磁场使其作用于具有厚度δ的金属板(导体)上时,当忽略了泄漏磁通,认为所产生的磁通密度 B 完全贯通整个金属板。如果选择金属面的中心 O 为圆心,则涡流电流沿半径为 r 的圆周方向流动,垂直通过该面的磁通量φ则为πr~2B。假设磁通密度是具有最大值为B_m、角频率为ω=2πf 的正弦波。则 B=B_msinωt。 相似文献
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郑阳新 《仪表技术与传感器》1979,(6)
利用憎水性的硅石做为粘结剂,用厚膜工艺制造了以SnO_2为基本材料的气体传感器。这种工艺生产率高,传感器受湿度影响小,机械强度大。掺有ThO_2(二氧化钍)的SnO_2厚膜传感器呈现出对从H_2气中分离出来的CO气体有很高的探测能力;也就是说,在浓度为50ppm的H_2和CO中,对CO的灵敏度比对H_2的高42倍,同时灵敏度几乎与湿度无关。 相似文献
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针对通过测量输出光椭圆度对环形激光器进行调腔的要求,研究并建立了环形激光器双光路椭圆度测量系统.计算分析了无源环形腔对S线偏光和P线偏光的频率响应特性,得出S线偏光谐振峰频率特性更适于无源环形腔的稳频.采用S线偏光作为外部输入光来提高稳频精度,搭建了环形激光器双光路稳频与测量系统.环形激光器稳频系统在10 s内就能完成稳频,稳频效率高,稳频后光强波动幅度为1.8%.提出的椭圆度测量方法使椭圆度变化幅度约为0.65%,减小了光强波动对测量精度的影响.实验显示,构建的测量系统可满足椭圆度测量的要求. 相似文献
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