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文章简单回顾了氮化镓基雪崩光电二极管的发展现状,从制作高响应率、低漏电流的雪崩器件出发,详细阐明了制作氮化镓基雪崩光电二极管的工艺过程,特别考虑了干法刻蚀带来的物理损伤以及后续的消除损伤处理.由于雪崩器件对于材料的质量具有较苛刻的要求,因此特别对材料进行了必要的筛选.通过一系列工艺上的改进,成功地制作出国内第一只氮化镓基雪崩光电二极管,器件的光敏面直径是40μm;并对其进行了光电性能测试.测试结果表明,当反向偏压是58V时,漏电流大约是1.18×10-7 A,雪崩增益是3. 相似文献
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文章简单回顾了氮化镓基雪崩光电二极管的发展现状,从制作高响应率、低漏电流的雪崩器件出发,详细阐明了制作氮化镓基雪崩光电二极管的工艺过程,特别考虑了干法刻蚀带来的物理损伤以及后续的消除损伤处理。由于雪崩器件对于材料的质量具有较苛刻的要求,因此特别对材料进行了必要的筛选。通过一系列工艺上的改进,成功地制作出国内第一只氮化镓基雪崩光电二极管,器件的光敏面直径是40μm;并对其进行了光电性能测试。测试结果表明,当反向偏压是58V时,漏电流大约是1.18×10-7A,雪崩增益是3。 相似文献
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美国Kyma公司新推出高掺杂n~+型氮化镓体单晶衬底,尺寸为10´10mm~(-2)和18´18 mm~(-2),同时他们也正在研发直径2英寸的氮化镓衬底,下一步是进入量产阶段。这次Kyma新研制的高掺杂n型氮化镓衬底的电阻率小 相似文献
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文章简单回顾了氮化镓基雪崩光电二极管的发展现状,从制作高响应率、低漏电流的雪崩器件出发,详细阐明了制作氮化镓基雪崩光电二极管的工艺过程,特别考虑了干法刻蚀带来的物理损伤以及后续的消除损伤处理。由于雪崩器件对于材料的质量具有较苛刻的要求,因此特别对材料进行了必要的筛选。通过一系列工艺上的改进,成功地制作出国内第一只氮化镓基雪崩光电二极管,器件的光敏面直径是40μm;并对其进行了光电性能测试。测试结果表明,当反向偏压是58V时,漏电流大约是1.18×10^-7A,雪崩增益是3。 相似文献
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《固体电子学研究与进展》2017,(1)
介绍了一种SiC基GaN激光划片工艺。通过对划痕形貌、裂片效果、热效应和装配适应性四方面的分析,在几种氮化镓激光划片试验中优化得出高质量划切工艺,并通过小批量生产证明新工艺在良率、效率方面有一定的优势。 相似文献
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《激光与光电子学进展》2007,44(6):7-7
2007年4月30日,由中国科学院半导体研究所研发的氮化镓蓝光半导体激光器研究取得重大突破,首次实现室温连续激射的氮化镓半导体蓝光激光器。这是继2004年11月16日由半导体所首次在中国大陆实现氮化镓激光器脉冲激射后的又一个重大突破,标志着我国氮化镓(GaS)基蓝光半导体激光器研究向产品化、产业化迈出了极为关键和坚实的一步。 相似文献
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在这篇论文里,我们通过在InGaN/GaN 多量子阱和n型氮化镓层中间插入一层低温生长的n型氮化镓显著提高了LED的抗静电能力。通过引入低温生长的氮化镓插入层使得LED抗击穿电压超过4000V的良品率从9.9%提升到74.7%。低温生长的氮化镓插入层作为后续生长的多量子阱的缓冲层,释放了量子阱中的应力并且改善了量子阱的界面质量。另外,我们证明了在氮气气氛下生长低温氮化镓插入层对于LED抗静电能力的改善要强于氢气气氛,同时也进一步证明低温插入层对量子阱中应力的释放有利于提高LED的抗静电能力。光电测试结果表明,在引入低温nGaN缓冲层后,LED的电学特性并没有衰退,并且LED的光输出功率提高了13.9%。 相似文献
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首先,介绍了氮化镓器件的基本特征,以一款氮化镓功率器件为例,介绍了其基本结构、应用场景和关键参数,并研究了其导通电阻的测试;其次,介绍了浮动源的特点,研究了使用浮动源测试氮化镓器件导通电阻的方法,在测试方案的软件、硬件设计上提出了一些建议;然后,将所提出的测试方案运用于实际测试,结果表明,得到的测试数据与理论值吻合地较好,证明了测试方案的有效性;最后,对测试过程中常见的问题进行了分析,对于提高氮化镓器件导通电阻测试精度具有一定的参考价值。 相似文献
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正高性能射频组件以及复合半导体技术设计和制造领域的全球领导者RFMicro Devices日前宣布,扩展其RFMD业界领先的氮化镓工艺技术,包括功率转换应用中专为高电压功率器件而优化的新技术。RFMD推出的最新氮化镓工艺技术一rGaN-HV~(TM)-可在功率转换应用(1至50KW)中大幅度降低系统成本和能量消耗。RFMD推出的rGaN-HV~(TM)技术可为器件实现高达900伏特的击穿电压,具有高峰值电流功能并可在氮化镓电 相似文献
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当前固态功放的功率放大技术主要采用氮化镓和砷化镓器件,基于氮化镓的固态功放是近年来出现的一种性能优越的高功率放大器,由于其高效率、高热导率、高可靠性,是固态功放的主流发展方向.特别是在高功率应用领域,将显示出卓越性能.氮化镓和砷化镓固态功放在我站均有使用,本文将联系实际,对两者的性能进行分析,研究并总结出各自的工作特性,与大家共同分享,为今后的使用提供良好的借鉴. 相似文献