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原子力显微镜(AFM)是进行纳米材料力学特性(如材料黏弹性)测量的重要工具.压电陶瓷驱动器作为AFM的核心部件,由于其迟滞和蠕变特性的影响,致使在材料黏弹性纳米测量过程中,不仅测量速度慢,而且测量误差较大.为了解决以上问题,提出一种基于逆的迭代学习控制方法.通过在频域内学习系统的动态特性,补偿AFM的z轴动态误差,从而实现AFM系统的快速准确定位.该方法不仅避免了复杂的AFM系统建模过程,而且提高了系统输出时期望输入的跟踪精度.用美国DI公司的纳米原位测量仪对聚二甲基硅氧烷(PDMS)的纳米黏弹性进行了测量,验证了算法的适用性和有效性. 相似文献
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激光跟踪仪作为大尺寸精密坐标测量仪器,其动态定位误差精度备受关注。而其校准技术还停留在静态校准和动态跟踪性能校准的状态下。在少有对激光跟踪仪动态定位误差校准的前提下,通过对激光跟踪仪的误差分析,提出了基于速度三角波的激光跟踪仪动态定位误差校准方法,并对校准模型中运动目标的规律和运动轨迹进行了分析,设计了激光跟踪仪校准实验。实验结果论证了校准方案的可行性和必要性,对最大测量速度赋予了更为详细的定义。 相似文献
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基于球杆仪和光栅尺的工作台精度调整 总被引:1,自引:0,他引:1
用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动.结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差源是定位误差.尽管对于单轴实时位置反馈来说,光栅尺的测量精度已经足够,但是两个方向光栅尺的测量数据不能反映两轴间的相对精度.通过对光栅尺和球杆仪测量的工作台走圆运动测量数据的分析,建立了测量系统的数学模型,在此基础上解耦并识别出了球杆仪和光栅尺的定位误差.提出了根据光栅尺倾角误差实现工作台精度调整的策略. 相似文献
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基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量 总被引:4,自引:0,他引:4
动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性. 相似文献
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一、概述我们在本厂激光定位动态光刻台的基础上,增加光栅参数处理的电气装置,构成了激光定位光栅动态检测仪(以下简称检测仪), 用于光栅综合参数的测定。该仪器既能直接打印测量数据,又能自动绘制光栅尺全长精度曲线、相位漂移曲线、直流电平漂移曲线及交流幅度漂移曲线。此外,还能测出光栅尺的相邻误差(以栅距计),为分析全长精度与光栅其 相似文献
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一种新的被动融合定位方法 总被引:2,自引:0,他引:2
提出了一种通过综合多部声呐信息实现被动高精度定位的新算法.该算法通过使用高精度DOA估计结果。并对多阵三角定位后形成的初估值空间区域进行峰值搜索,提高了被动定位的精度.仿真试验表明:算法定位迅速。且精度较常规方法有了较大提高,适用于对较近距离的目标进行精确定位。 相似文献
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目的 为了解决传统交流永磁同步电机伺服自抗扰控制系统中外界扰动、非线性特性和本身自抗扰控制中参数较多且整定难的问题.方法 利用小波神经网络对自抗扰控制中的扩张状态观测器的误差校正系数进行在线整定,设计出基于小波神经网络优化的自抗扰控制器及相关的控制系统,以实现对整体控制系统的性能优化,并通过在Matlab/SIMULINK仿真实验与传统PID伺服控制系统和未进行优化的交流自抗扰伺服系统进行对比验证.结果 仿真结果表明,基于小波神经网络优化的交流永磁同步电机伺服自抗扰控制系统对目标位置动态响应快、稳态误差小、抗干扰能力强,稳态时转矩脉动小.结论 与常规未优化自抗扰伺服系统和传统PID伺服系统相比,基于小波神经网络优化后的自抗扰伺服系统,能有效地提高伺服系统控制性能和鲁棒性. 相似文献
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针对需要考虑参数不确定和负载扰动的永磁同步电动机位置伺服系统,提出了一种新型的自适应神经网络控制方法。首先,利用神经网络建立永磁同步电动机的智能模型。其次,针对模型特点,在反步递推设计框架下,应用神经网络基函数的本质特征,并引入动态面控制技术克服控制设计中存在的“复杂性爆炸”问题,设计基于自适应神经网络动态面控制的位置跟踪算法。最后,仿真结果表明该控制方案是有效可行的,与反步递推控制方案相比,基于神经网络动态面控制的位置伺服系统的跟踪误差具有更快的收敛速度。通过设计新的神经网络自适应律,提出的自适应神经网络控制方法可以避免现有反步递推控制设计中存在的代数环问题。此外,提出的控制算法不仅能够克服不确定性因素对系统性能的影响,而且算法结构简单,易于实现。 相似文献
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杨喜玲 《成组技术与生产现代化》2006,23(3):58-60
在卷烟机中采用交流伺服驱动代替传统传动方式,实现多电机同步驱动,采用速度环和位置环嵌套的闭环控制技术进行实时跟踪,以减小传动误差、减小噪音,增强机组的控制精度与稳定性,简化机电系统的维护与修理. 相似文献
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阐述了一种以ARM9内核处理器作为控制芯片的新型制袋机控制系统的设计方案。基于ARM9内核处理器可靠性高、数据处理能力强的特点,控制系统分解为2个独立的子系统:定长定位控制系统由单片机DSPIC、交流伺服驱动器及主电机组成;张力控制、光电纠偏各组成独立的子控制系统。实际运行的结果表明,该方案有效地提高了系统控制精度。相对于以PLC或工控机为控制核心的控制系统,以ARM9为核心的制袋机控制系统使生产线获得了更高的运行速度和更好的稳定性。 相似文献