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用虚光栅移相莫尔条纹法测量光学元件的角度偏差 总被引:2,自引:0,他引:2
引入一种处理静态干涉图的新方法———虚光栅移相莫尔条纹法,详细介绍了此方法的原理。它是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,用这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹移相的效果,且没有移相误差。以玻璃立方体楔角为例,介绍了虚光栅移相莫尔条纹法在光学元件的角度偏差测试方面的应用,给出了实验结果,并与ZYGO的测试结果进行比对,结果吻合,从而证实了这种方法的可行性。测量精度可达到0.1″,因此可应用于对角规精度的标定。 相似文献
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一、前言计量光栅技术或莫尔条纹技术是近二十几年来发展起来的一种新技术。光栅早在一百多年以前已经开始被人们应用于光谱分析、测定光波波长等方面,主要是利用光栅的衍射现象。直至本世纪五十年代,方始应用于机床和计量等方面,主要是利用光栅的莫尔条纹现象。由于光栅具有一系列优点, 相似文献
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针对方位瞄准过程中的强光干扰问题,在结合光电自准直测角和光栅测长原理的基础上,提出了基于莫尔条纹的自准直测角方法.分析了基于莫尔条纹自准直测角原理,即利用自准光栅像和透射光栅重叠产生莫尔条纹,将角量变化转变为线量变化进行测量.根据该原理设计了光学系统,建立了基于莫尔条纹自准直测角的数学模型,给出了理论计算公式,并进行了测量精度分析.理论计算结果显示,在±15′的视场范围内,系统精度达到1″,优于采用狭缝时光电自准直测量的精度. 相似文献
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对两种莫尔条纹(光闸条纹和横向条纹)信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析,并用实测数据加以比较,指出在光栅系统中,取横向莫尔条纹信号的谐波量小,正弦性好,细分误差小,在其它参数相同的情况下,可提高系统的测量精度2倍左右。 相似文献
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利用在准直状态下光栅的同莫尔条纹,探讨了一种测量透镜焦距的新方法,这种方法简单方便,可以达到较高的测量精度。 相似文献
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高精度编码器的裂相指示光栅 总被引:3,自引:1,他引:2
通过动态莫尔条纹方程,用数学分析的方法,并结合GBJ280等高精度绝对式光电轴角编码器,详细讨论了裂相指示光栅的布局特点,光电信号相位相位补偿原理,以及对编码器精度的影响。 相似文献