真空镀金属膜厚度及光学常数的测量

本文提出用迈克尔逊干涉仪测量真空蒸发镀金属膜厚度和光学常数的方法。并对实际中测定了镀得的铝膜厚度及光学常数，对结果进行了分析。     

利用双波长测量金属膜的厚度

本文为测量金属膜的厚度提供了一种新的用双波长的测量方法。该方法测量简便，精度高，同时也适用于透明介质膜的厚度测量，测量范围从几十个波长至１ｃｍ。     

金属涂层SPR的单端面LPFG折射率传感器

提出了一种新型的单端面反射的镀有金属膜的长周期光纤光栅传感器.这种基于表面等离子体谐振的具有三层结构的传感器分为两个部分,光栅部分用连续CO2激光脉冲制作,金属膜是由真空镀膜制成.在光栅上镀上各种不同厚度的薄金属膜来激发表面等离子体波,用这种光纤光栅传感器来测量液体的折射率,并研究它的反射谐振谱的特性.在标准气压下,镀有80 nm银膜的光栅从水(ns=1.33)到酒精(ns=1.36)中光栅谐振波长改变了1.14nm,其敏感度达到折射率变化～5×10-4谐振波长改变20 pm.研究发现不同厚度的不同金属膜显示了不同的敏感度.通过比较光栅在空气,水,酒精,甘油,以及在它们的混合物溶液中的谐振波长,得到这种反射式的长周期光纤光栅传感器的敏感特性.为制作一种高性能的用来测量折射率的光纤光栅传感器提供了一个有益的参考.     

Al2O3陶瓷片上沉积钛膜的研究

采用电弧离子镀方法在Al2O3陶瓷片上沉积Ti金属膜,并对成膜厚度的影响因素进行分析,沉积Ti金属膜合适的工艺参数为:电流70A,时间20min～30min,工件转速2 r/min～4 r/min.     

锁相放大器测量金属膜厚度的原理

使用锁相技术,测量金属膜量,装置简单。这可利用对称法,在与工件对称的位置上放置一块由绝缘介质构成的基板。金属沉积于此基板上。利用专用锁相放大器能精确地测定小于0.001Ω电阻的特性,由数字显示已形成的金属膜厚度所对应的电压值。随着厚度的增加,电压值不断下降。从镀膜过程中电压的变化,间接显示厚度的变化。在达到预置厚度所对应的电压值时,自动控制系统立即停止镀膜。     

应用背散射技术研究固体薄膜

应用背散射(R.B.S)方法测量了单层金属膜(Fe膜、Au膜)、双层金属膜(Ti-Fe膜)、双层介质膜(Si-Si○_2-Si_3N_4 膜)的厚度。在对Si-Si○_2-Si_3N_4双层介质膜测厚的同时,还测出Si_3N_4膜中含有一定量氧的存在,检验了它的生长质量。用背散射方法对错(Zr)的氧化进行了初步研究,测定了在1964年于400 ℃干燥空气中分别氧化7＇、14＇、28＇、80＇的ZrO_2膜的厚度。实验结果大体上与锆氧化的抛物线规律     

磁控溅射超薄金属膜在太赫兹波段的光学特性

采用THz时域光谱测试技术，对Fe扣Co的超薄金属膜在0.2～2，5THz波段的吸收特性、透射特性以及折射率进行了研究。在室温并去除水份影响的氮气环境中，获得了不同种类扣不同厚度的薄金属膜在太赫兹波段的时域谱．利用Origin7．0扣Matlab7，0软件处理得到这些金属薄膜对太赫兹波的透射率，吸收系数扣折射率．对比发现金属超薄膜在太赫兹波段的光学特性随薄膜厚度以及太赫兹波频率的变化有很大的改变，也就是具有明显的尺寸效应．同时根据所得到的折射率开口吸收系数还可以理论上计算出不同种类与厚度的超薄金属膜在太赫兹波段的复介电函数．     

在塑料表面用磁控溅射制备电磁屏蔽膜的研究

随着电磁污染的日益严重以及塑料在电子产品封装上的广泛应用,对电子产品进行电磁屏蔽设计已成为必然趋势.本文采用磁控溅射的方法在PET塑料基底上沉积多种膜系的金属屏蔽膜层,并对金属膜层的制备工艺进行了研究,最后采用波导法对金属膜层的屏蔽效能进行测试.研究表明,采用Cu/1Cr18Ni9Ti双层金属膜层结构,可以获得良好的表面性能以及结合力,结合力达到500 kPa以上;总厚度仅为764nm的Cu/1Cr18Ni9Ti在2.5 GHz时可获得60 dB以上的屏蔽效能;在总厚度相等的情况下,双面金属层比单面金属层具有更高的效果.     

基于FPGA的金属膜厚检测系统

根据多频电涡流检测原理,设计了基于FPGA的检测系统,实现了涡流传感器的多频激励和阻抗分析,发现传感器的峰值特征频率与被测金属膜厚相关,进而从峰值特征频率捡取金属的膜厚信息.通过对多层铝箔进行测量实验,并采用保形拟插值对实验数据进行拟合,得到满意的测试结果.系统基于FPGA架构,可实现对金属膜厚度的实时、在线测量.     

差分表面等离激元共振传感仿真研究

从薄膜光学理论出发,对不同金属膜厚度、不同实折射率和不同复介电常数的环境介质的表面等离激元共振(SPR,Surface Plasmon Resonance)信号进行了分析,给出了最佳金属膜厚度,并且,折射率与共振角呈线性关系(R=0.999 4).分析了采用差分处理时,随环境介质的复介电常数变化的光反射率曲线.结果表明,同组两个探测器信号的和随环境介电常数的虚部变化,与实部无关,其信号差则相反,因此,能够同时测量环境介质的介电常数的实部和虚部.     

纳米薄膜厚度的X射线测量

研究了通过小角度X射线衍射(XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法,并测定了在SiC表面沉积Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率。结果表明,采用小角度XRD技术测量纳米薄膜厚度和沉积速率,能克服基片性质、表面平整度和金属膜氧化的影响,准确、方便地测量纳米薄膜的厚度和沉积速率。     

电沉积结晶形态研究进展

电沉积金属膜层的物理、化学性质以及力学性能与其组织结构密切相关,而沉积金属膜层的组织结构受诸多电沉积工艺条件的影响.为此,综述了近年来关于基体材料、沉积金属类型、过电位、表面活性剂等对镀层结晶形态影响的研究成果.介绍了沉积金属结晶过程中的过电位和晶粒尺寸、基体材料种类以及沉积膜层厚度增加对沉积组织的影响和溶液中表面活性剂对形核自由能、位错密度、沉积膜层显微组织的影响.     

金属光子晶体薄膜可见光和微波波段传输性能

一维金属光子晶体薄膜是由金属-介质多层结构组成的等效均匀的各向异性超构材料。相比单层金属膜层,该结构在色散调控方面具有更多的自由度。在该结构中由于表面等离子体激元(SPP)的存在,可实现倏逝波的定向传输。在本文中,等效介质理论、时域有限元差分法(FDTD)的计算结果和实验结果都表明,传输倏逝波的波长、频宽和强度可通过金属光子晶体结构调整实现主动设计。金属膜厚比例越小,传输波长的中心和截止波长越长,频带越宽。当金属膜层厚度小于SPP穿透深度时,可获得宽频段的倏逝波的传输。同时,对金属光子晶体在微波波段的传输性能也进行了研究,发现其在微波波段等效介电常数为负,具有良好的反射性能。该结构的屏蔽效能远大于厚度相近的ITO薄膜的电磁屏蔽效能。在厚度只有几百纳米时,该结构即可实现良好的电磁屏蔽效能。通过金属光子晶体薄膜可实现电磁屏蔽材料的薄膜化、轻质化和可视化。     

多孔金属膜研究进展

通过多孔金属膜与有机膜和陶瓷膜的对比,阐述了多孔金属膜的优点,金属膜的发展及现状,重点阐述了多孔金属膜的制备方法,并对这几种制备方法进行了分析、比较.最后简要介绍了多孔金属膜的发展动态及趋势.     

一种铋膜亮室胶片

阿克发-吉伐(Agfa-Gevaert)公司试制成功了一种铋金属膜亮室胶片—RAPILUX片,这种胶片有很高的再现精确度,所形成的网点可以任意腐蚀。这种胶片是以聚酯薄膜作片基,在它上面用真空蒸发法沉积薄薄的一层金属膜作为成像层,在金属膜层上面,再覆盖一层适合的光刻胶。胶片通过透射原稿曝光以后,光刻     

SK-3型石英晶体振荡膜厚监控仪

石英晶体振荡膜厚监控仪是真空镀膜时对薄膜厚度增长进行动态监控的仪器。它可配备在真空电阻蒸发源以及电子束蒸发源的镀膜机上,用来监控金属膜、半导体膜和介质膜的厚度变化。该仪器采用荧光数码管显示频率变化结果,字迹清晰,读数方便。石英晶体具有压电效应,它的固有振荡频率取决于晶体切割类型和晶体的质量(包括晶     

金属膜开发应用研究新进展

通过对金属膜研究背景和研究现状进行了较深入的分析,指出目前金属膜研究的热点问题是多孔金属膜(如烧结不锈钢)和致密钯及其合金膜的应用研究是;阐述了钯基金属膜在开发应用方面存在的问题、解决办法以及发展趋势;详细介绍了多孔金属膜和致密钯基复合膜在膜反应器、氢分离器等方面的重要应用;展示了金属膜对于加氢、脱氢、部分氧化等重要反应,以及生产高纯、超高纯氢气等方面的广阔应用前景.     

刮脸刀片的刃口涂复技术

在刮脸刀片的刃口上,涂一层或多层金属膜(或化学膜),将会改善刀片的剃刮性能,提高其锋利度和耐用度。根据刀片材料的不同,选择不同的涂复材料。涂复材料中有铬、钨、钼、钻等,可做金属膜涂复用;铬铂、铂铑合金做合金膜涂复用;聚四氟乙烯、四氟乙烯一六氟丙烯共聚物等,可做化学膜涂复用。对碳素钢刀片可采用化学膜涂复,也可用金属膜涂复;对不锈钢刀片采用金属膜(包括合金膜),最好是采用复合膜涂复(即先涂金属膜后涂化学膜)。金属膜     

自清洁金刚石复合材料在染料废水处理中的应用研究

利用自制的废水处理组件,分别用金属钛膜和金刚石复合膜作阳极对分散蓝2BLN溶液进行处理.比较不同电极处理水中的COD值,并用高效液相色谱仪确定两电极对有机物的处理能力.结果表明,金刚石复合膜作阳极时自清洁能力更强,能更好地维持膜的通透性.延长了金属膜的使用寿命,提高了金属膜的利用率.     

BOPP耐高温电容器薄膜初探

由于BOPP电容器薄膜具有较高的机械、电气性能,其品种有镀金属膜(MPP)、粗化膜(RPP)二大类,薄膜厚度(3——18μm)范围较宽可供选择,从而被国内电容器制造行业