共查询到20条相似文献,搜索用时 185 毫秒
1.
2.
3.
通过对石英晶体测温机理的简单介绍和分析,提出了用曲线拟合法来确定石英晶体频率与温度关系中的参数的方法,并通过计算机编程,实现其算法。实验结果证明采用该算法设计的温度传感器精度更高、胜能更好。 相似文献
4.
5.
应用石英音叉谐振器的智能温度传感器 总被引:1,自引:1,他引:0
为了实现高精密温度测量,设计了高性能数字温度传感器,该传感器由石英音叉谐振器,数字接口电路和基于现场可编程门阵列的传感器重置控制算法构成。依据石英晶体压电效应原理,对石英音叉谐振器的热敏切型和电极设置进行了研究;基于力学振动原理,导出石英音叉谐振器弯曲振动模式的微分方程;讨论了谐振式温度传感器的工作原理,提取出石英音叉温度传感器的特征参数并进行了非线性误差分析;采用光刻和侵蚀技术加工制作了石英音叉谐振器。该传感器的频率输出信号通过数字接口进入现场可编程门阵列,通过重置控制算法实现传感器的重置和现场自动校验。实验结果表明,在-20 ~140 ℃,该传感器的灵敏度可达65×10-6/℃,测温分辨率为0.001 ℃,响应时间为1 s,测温精度为0.01 ℃。 相似文献
6.
吕源申 《仪器仪表与分析监测》1993,(3):1-3
早在一百多年前,人们就发现晶体的压电效应.自1959年Sanerbrey提出石英晶体表面沉积物的质量与频率的变化定量关系以后,为石英晶体用于物性分析奠定了理论基础.1964年King首先用涂层晶体设计出一种称为“压电吸附探测器”的装置,测定了大气中微量水和碳氢化合物,从而引起 相似文献
7.
用石英温度传感器HTS-206实现高精度温度测量 总被引:1,自引:0,他引:1
文章介绍以AT89C2051及石英温度传感器HTS-206为核心组成的高精度温度测景系统,通过在中频段使用多周期同步法实现频率测量,从而实现对温度的测量,给出了用单片机测量温度的软、硬件组成,以及影响测量精度的误差因素,并给出了相应的解决方法.实验结果表明本系统的测量结果优于0.05℃,可以较好的满足目前工业生产上的测温要求,具有广泛的应用前景. 相似文献
8.
9.
薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系,采用差动测量技术,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成.该法具有精度高、温度稳定性好的特点. 相似文献
10.
本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性。 相似文献
11.
12.
13.
本文介绍近年来石英晶体微量天平(QCM)在大气污染检测、工业生产过程控制及液相色谱分析领域中应用的概况。 相似文献
14.
15.
一种新型高性能石英音叉温度传感器 总被引:4,自引:0,他引:4
文中阐述一种关于弯曲振动模式的石英音叉温度传感器的新型设计方案 ,该传感器用新的切型ZY(110°/10°)进行设计的弯曲振动模式的传感器优于其它切型 ,并对提高传感器的和减少环境等效电阻进行理论分析。采用可变结构方式调制传感器精确频率 ,同时提高传感器的灵敏度和减少非线性 相似文献
16.
石英晶体元件是目前应用非常广泛的高精度频率源的核心部件,本文从软、硬件思想两个方面介绍了一种测量石英晶体电参数微调系统的设计与实现方法,实际应用表明该系统具有宽频段、速度快、和精度高等特点。 相似文献
17.
石英晶体传感器传输模型 总被引:1,自引:0,他引:1
张祖荫 《仪表技术与传感器》1996,(6):7-9,12
本文依据石英晶体在各种条件下的谐振特性,导出它的传输模型,给出实验的、理论的曲线和数据。 相似文献
18.
提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法(ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性。该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点,有广阔的应用前景。 相似文献
19.
20.