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真空炉气体冷却过程分析及冷却系统设计 总被引:1,自引:1,他引:0
本文分析了气冷真空炉冷却过程的各个环节,对其影响因素及各个状态参数进行了较详细的分析讨论,提出了提高各个环节性能的措施,指出了气冷系统设计过程中应注意的一些问题。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(2)
十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空,效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境。本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用;重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。对同类真空炉的研发和低温泵的应用都有参考价值。通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,除气和烘烤,最后真空炉的极限压力达到了2×10~(-7)Pa,将常规的真空炉极限压力延伸了近一个数量级。 相似文献
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奥氏体化温度的冷却方式对元件和工具在热处理时的变形和裂纹的产生具有决定性的作用。使用新一代的真空热处理设备能使用户做到按工件比例关系进行定量冷却。本文介绍了作针对性冷却的途径及其效果。 相似文献
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本文叙述一种高温超高真空炉,该炉是为锯或其它(吸气)金属无污染热处理或脱气发展起来的。 圆筒形试样室直径为550毫米,长度为1200毫米。炉被设计得适于2300K(2030 ℃)的最高工作温度。在锯试样最高容许处理温度(2100K)时,就剩余气体气氛而言,在一个标准试样附近曾测得几个都为10-9 的压力。试样本身周围的剩余气体压力在1700K时大约相当于10-10乇,在1000K时大约相当于10-11乇。炉是按照双真空原理制成的。试样室被连接于超高真空泵系,在实际上没有传导值损失。尽管传导值大规定了辐射损失大,可是由于采用了一种新型热绝缘而炉的所需功率却比在采用常规解决方法时更小。 相似文献
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1.前言 英国研制过作为飞机垫圈用空心金属O型环,当时主要作为高温液压密封材料使用。因为液体密封的特点是密封面的压力低,所以不适合作真空密封材料。 1976年,在与核聚变有关的各种试验设备中,迫切需要直径约1320毫米并能耐450℃烘烤的超高真空垫圈。可是当时国内外能满足 相似文献
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研制了一种用于小样品在低温冷却介质中实现超快速冷却的实验台。通过该实验台对小样品实施弹射,其弹射速度在较宽范围内可调,同时能对小样品的沉浸速度和淬冷温度进行准确的测量。将其应用于小样品在过冷液氮中的超快速冷却过程,可以实现较高的沉浸速度和冷却速率。实验研究表明随着小样品沉浸速度的增大、液氮过冷度的增加,冷却速率明显增加。 相似文献
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CCQ-400型超高真空闸板阀的研制是根据兰州近代物理研究所建造的重粒子加速器的要求,作为3500升/秒的分子泵配套的主阀门被提出来的,要求阀门具有高度的可靠性,不允许阀门在中途出现任何一点故障。 我们针对着阀门的结构、性能、可靠性展开了研究试制工作。 一、超高真空阀门的 相似文献
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结合超高真空对焊缝的要求,通过对板厚为2 mm的超高真空重离子加速器冷却储存环中一个零件的焊接工艺分析,总结了不锈钢超高真空容器薄壁件的焊接要点. 相似文献
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针对热处理设备无温度检测孔不能进行温度测试以及真空炉和气氛保护炉等因结构原因而造成的测试复杂等情况,设计制作在线检测系统并进行在线检测。 相似文献
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为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10-8 Pa;烘烤温度25~600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。 相似文献