阴极电弧沉积类金刚石膜在电声中的应用——高保真DLC／Ti高音扬声器振膜的研发和生产

阐述高保真类金刚石／钛高音振膜的研发和生产．在制备品质及外观兼优的纯钛振膜的基础上，利用阴极电弧沉积技术在钛膜上沉积类金刚石(DLC)膜层．结果显示各项物理性能及主观听感明显改善，并实现了批量生产，进入市场．     

阴极电弧沉积类金刚石膜在电声中的应用--高保真DLC/Ti高音扬声器振膜的研发和生产

阐述高保真类金刚石/钛高音振膜的研发和生产.在制备品质及外观兼优的纯钛振膜的基础上,利用阴极电弧沉积技术在钛膜上沉积类金刚石(DLC)膜层.结果显示各项物理性能及主观听感明显改善,并实现了批量生产,进入市场.     

真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究

克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些观点，成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜，并对其表面形貌，硬度及结合强度，结构进行了分析，结果表明，真空阴极电弧沉积法是制备综合性能良好的光亮类金刚石膜的有效方法。类金刚石膜为非晶结构，具有明显的ｓｐ＾３结构特征。     

H13钢等离子渗氮-类金刚石膜(DLC)复合处理的性能研究

研究了等离子渗氮-离子镀类金刚石膜复合处理工艺与未氮化离子镀类金刚石膜处理工艺对H13钢表面性能的影响.结果表明,经过等离子渗氮后镀类金刚石涂层复合处理的H13钢表面硬度、膜/基结合强度、耐磨性能等均优于未氮化镀类金刚石涂层的样品.     

H13钢等离子渗氮-类金刚石膜(DLC)复合处理的性能研究

研究了等离子渗氮-离子镀类金刚石膜复合处理工艺与未氮化离子镀类金刚石膜处理工艺对H13钢表面性能的影响.结果表明,经过等离子渗氮后镀类金刚石涂层复合处理的H13钢表面硬度、膜/基结合强度、耐磨性能等均优于未氮化镀类金刚石涂层的样品.     

复合技术在超硬材料上的应用

介绍了复合技术在超硬材料（如金刚石镀层，金刚石／树脂复合体，金刚石／金属复合体，聚晶金刚石）上的应用现状及方法特点，并对复合技术在超硬材料工具制造方面的应用前景和努力方向进行了探讨。     

镀膜黄玉及其特征分析

本文选取近年来市场上出现的三种类型的镀膜黄玉为研究对象，对镀膜黄玉技术及其宝石学特征进行了初步探讨，并利用扫描电镜分析了三类镀膜黄玉样品的膜层特点和膜层厚度，为进一步浑入研究镀膜黄玉的工艺及其鉴别特征奠定基础。     

掺钨类金刚石膜的制备与性能研究

采用无灯丝长条离子源结合非平衡磁控溅射的方法，在不同基体上制备了面积较大、光滑、均匀的掺钨类金刚石（W-DLC）膜层，用SEM、Raman、XPS、XRD、硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验机等手段分析和研究了膜层的形貌、结构及部分性能．结果表明：膜／基硬度高，W—DLC／Si为Hv0.02515=3577；膜／基结合力在45-75N之间；摩擦系数小，抗磨损性能良好．     

RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究

采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF-PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压Uz、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009 W.cm-2.Pa-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜.     

RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究

采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF-PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压Uz、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009 W·cm-2·Pa-1、C-H浓度即体积分数0.9%～1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜.     

硬质合金刀具的类金刚石涂层的研究

采用优化的沉积类金刚石（DLC）涂层工艺及过渡层技术,在硬质合金上制备出性能优良的DLC膜,实验室切削试验与工业生产现场切削表明：在切削铝青铜和共晶铝硅合金时,DLC膜涂层刀具使用寿命明显高于末涂层刀具。     

Study of relationship between structure and transmittance of diamond-like carbon (DLC) films

1IntroductionArtificial synthesis of diamond and diamond-like carbon(DLC)have beenthe advanced andfocused re-search aspect in materials science for about twenty years.As a wear-resistant protective fil m,diamond-likecarbon fil m has extensive applications.Due to different matrix and service conditions,different requestswere proposed to properties and deposition conditions of diamond-like carbon.There has been many methods to prepare DLCfil m,however,most of DLCfil ms were not transpar-ent.…     

Study of relationship between structure and transmittance of diamond-like carbon (DLC) films

In this paper, the transparent hard diamond-like carbon (DLC) films were deposited on glass substrate by magnetic confined radio-frequency plasma chemical vapor deposition. The structure of films was studied by Raman spectra and X-ray photoelectron spectra (XPS), the transmittance of films by Spectrophotometer. The mechanism of the influence of films structure on transmittance of the films was discussed. The results show that the thickness of films was lower than 100nm, and the transmittance was over 90, in 380-780 nm region. Discussion in theory on the influence of film structure on transmittance was correspondence to experiment results.     

Study of relationship between structure and transmittance of diamond-like carbon (DLC) films

In this paper, the transparent hard diamond-like carbon (DLC) films were deposited on glass substrate by magnetic confined radio-frequency plasma chemical vapor deposition. The structure of films was studied by Raman spectra and X-ray photoelectron spectra (XPS), the transmittance of films by Spectrophotometer. The mechanism of the influence of films structure on transmittance of the films was discussed. The results show that the thickness of films was lower than 100nm, and the transmittance was over 90% in 380-780 nm region. Discussion in theory on the influence of film structure on transmittance was correspondence to experiment results.     

真空阴极电弧沉积TiB2薄膜的组织结构及其摩擦学性能的研究

用TiB2作阴极靶，采用优化的真空阴极电弧沉积工艺制备的TiB2薄膜是由TiB2，Ti2B5,TiB和Ti组成的多相结构。薄膜的摩擦磨损试验表明：TiB2薄膜的摩擦系数为0.139，膜层寿命超过60min，是TiN和（Ti,Al)N膜层的2倍。     

中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义.采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化.在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.     

钛/钢层状复合板焊接技术的现状与展望

兼具钛合金和钢优点的钛/钢复合板,被广泛应用于海洋、船舶、机械化工等工业领域中,而焊接技术在其推广应用的过程中发挥了不可替代的关键作用。讨论了钛/钢复合板焊接的特点,重点从坡口形式和过渡层的设计、选择与添加两方面综述了钛/钢复合板的钨极氩弧焊、熔化极气体保护焊及激光焊等焊接方法的研究现状,分析了不同工艺下接头的微观组织、力学性能等特征。结果表明,通过合理的坡口设计和过渡层的添加,可以实现钛/钢复合板的良好焊接。然而,当前钛/钢层状复合板焊接还存在工艺复杂、效率低等主要问题,有待进一步解决。同时,还对钛/钢复合板焊接技术未来发展的方向进行了展望。     

工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层形貌及性能的影响

研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流>基体负偏压>氮分压。对膜基结合力影响次序为:基体负偏压>氮分压>TiAl合金靶电流。在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa。