CoMnNiO非晶薄膜热敏电阻

射频溅射CoMnNiO非晶薄膜是一种新型温度敏感材料。文中介绍了这种材料的材料常数、电阻温度特性以及薄膜电阻率与其厚度,指出薄膜老化是由结构驰豫引起的。文末还介绍了CoMnNiO非晶薄膜热敏电阻的设计原理及其制作方法。     

SiC非晶薄膜温度传感器

高频溅射生长的SiC非晶薄膜是一种含有Si-Si、Si-C、C-C键的混非晶结构。文中着重介绍了SiC非晶薄膜的直流电导、交流特性、退火性质、老化特性和R-T特性,为SiC薄膜温度传感器的设计提供了理论依据。     

非晶FeCoSiB磁弹性薄膜的应力阻抗效应

磁弹性薄膜中的应力阻抗效应有望在高灵敏应力/应变传感器中得到应用,这引起了人们的广泛研究兴趣.我们利用磁控溅射的方法在玻璃基片上制备了FeCoSiB薄膜和FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜,并在真空中退火以获得较好的磁弹性,接着在200kHz～1 0MHz范围内测试了薄膜的应力阻抗效应.结果表明,退火可增强磁弹性薄膜的应力阻抗效应,并且FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层薄膜比FeCoSiB薄膜具有更高的应力阻抗效应.     

以非晶软磁薄膜为磁芯的车轮传感器

车轮传感器是为保证铁路运输安全、提高运输效率及管理系统自动化所需的一种传感器.目前,国内外流行的铁轨车轮传感器有无源和有源两种.无源车轮传感器只能适     

非晶氮化镓纳米超薄膜PLD制备及其场发射性能

利用脉冲激光沉积法(PLD)制备了非晶氮化镓(a-GaN)5 nm超薄膜及300 nm普通薄膜并研究了其场发射性能.实验表明:较之于普通非晶GaN薄膜,a-GaN纳米超薄膜具有更为优异的场发射特性,在设定阈值电流密度为1μA/cm~2时,其阈值电场仅为0.78 V/μm(为目前报道的GaN薄膜场发射最好结果);而当所加的电场为3.72 V/μm时,发射电流密度高达42 mA/cm~2.研究结果从实验上验证了基于宽带隙半导体超薄膜场发射的理论机制(Binh等.Phys Rev Lett,2000,85(4):864 867),即由于超薄膜导致的阴极表面势垒显著降低,从而极大地增强了场发射性能.     

光物理研究中的薄膜热释电探测器

报告ＰＶＤＦ薄膜热释电探测器及其在非线性光学、激光等离子体物理等项研究中作为激光和其它辐射强度测量系统的设计和应用。     

基于ABAQUS的复合薄膜热结构有限元分析

半导体硅基复合薄膜悬臂梁在温度场、加速度以及二者耦合场作用下,挠度和应力会发生变化.通过加热可使得驱动元件本身的温度升高,结构内部将会产生热应力,会导致两种薄膜各自产生线应变,线膨胀系数小的薄膜受到拉力作用,线膨胀系数大的薄膜受到压力作用,自由端会受到力矩作用而向线膨胀系数小的薄膜方向弯曲,从而导致悬臂梁的挠度发生变化.当弯曲悬臂梁有加速度作用时,会产生一个与加速度方向相同的力作用在悬臂梁上,同样会导致悬臂梁的挠度发生变化[1].通过ABAQUS软件仿真[2],分别给出不同物理场中弯曲悬臂梁相对位移的大小,所得的结论为半导体硅基复合薄膜弯曲悬臂梁的应用装置提供了理论依据.     

ANSYS在热释电薄膜红外探测器二维热分析中的应用

根据热释电薄膜红外探测器的结构和实际的测试条件,利用有限元软件ANSYS建立了不同结构组成的热释电薄膜红外探测器的二维模型,并对其进行了热分析,得到了探测器内的温度场分布.分析了复合热释电薄膜红外探测器的绝热层对温度场的影响,并将复合热释电薄膜红外探测器与微桥结构探测器的性能进行了比较.     

热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析

利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合。利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 ,另外也为此类传感器的设计和验证提供了一个非常简单而有效的方法和依据。     

铁电薄膜材料热释电系数测试系统的研究

本文介绍了铁电薄膜材料热释电系数的测量原理和电路,着重设计了ｐＡ级前置放大电路,并对ＰＬＴ铁电薄膜样品进行了测试。     

薄膜热电极尺寸效应分析及试验研究

薄膜型热电极作为薄膜热电偶结构的核心部位,其尺寸设计对热电偶功能及性能的实现起着重要作用;文章研究了热电偶电极薄膜的尺寸效应,建立了薄膜热电偶热电及热传导机理数学模型,分析了热电极尺寸对热电偶静态及动态特性的影响,设计并制作了不同尺寸规格热电极的薄膜热电偶,对热电极的尺寸效应物理性能开展了试验研究,试验结果表明热电偶电极薄膜厚度与动态响应时间呈正相关,长度、宽度、面积等尺寸参数对热电偶特性无明显影响,为薄膜热电偶电极尺寸设计提供了理论基础与工程依据。     

薄膜微量热计的信号采集与处理模块设计

薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段,针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块。微量热计原始信号经高精度仪用放大电路后,由高速数据采集卡采集送入PC机;采用LabVIEW软件编写的控制程序并采用Matlab软件实现数据的分析处理。对加载了70 nm厚度In薄膜的微量热计进行热容测试,观测到了In薄膜的熔化峰和熔点,表明系统具有足够高的信噪比和检测灵敏度。     

电导式液位变送器的设计

在成分和温度不变的情况下,导电液体的电导率是固定的。根据这一原理,可利用电极测量导电液体的电导来获得液位,此方法对于导电液体液位的可接触式测量能够得到较高的测量准确度。介绍一种电导式液位变送器的设计。这种液位变送器结构简单、性能稳定、成本低廉、便于安装和维修,已成功应用于实验室的液位测量和控制系统中。     

非晶半导体的最近进展

<正> 自1975年Spear等报导了对非晶硅(a-si)进行p型n型掺杂控制以来,大约过去已经八年,非晶硅作为计算器等家用电器的太阳能电池材料已大规模地进入了实用阶段,同时利用非晶硅的传真机器、电子复印机等也即将问市。这样,一方面使用非晶硅材料的制品已达到实用化阶段,但另一方面对非晶材料还有许多现象     

薄膜气敏元件用扩散电阻型热子的研制

作者综合文献[4,5]和[3]的构思制得如图1所示结构的气敏元件.其特点,在采用了硅平面工艺技术的扩散法制成的热子.如此,既符合集成化制作趋势,又省去另制热子的麻烦.1.热子设计思路(1)假设元件工作在绝热状态下,并认为SiO_2层和气敏膜的热容较衬底硅片的热容小甚多,可忽略不计.则面积为A、厚度为D、密度为η、比热为C_p的硅片,在时间间隔τ内,由室温t_0上升到工作温度t所需功率为     

非晶材料及其应用

对敏感功能材料研究开发所呈现的主要趋势之一就是从单晶材料向多晶材料和非晶材料方向过渡发展.由于非晶材料具有光吸收系数高、基片材料的限制性小、性能易于扩展、制作工艺简单等优点,因而受到多方面青睐.本文侧重介绍非晶材料的现状、制造方法、基本特性及其在传感器中的应用与展望.     

电导式相关流量测量传感器

在油水两相流条件下,水为连续相时,电导式传感器利用油相分布的离散性所造成的流体阻抗的随机变化检测流体流动噪声,通过对传感器中的上、下游传感器所检测出的流体流动噪声进行互相关运算,得到和流体流量相关的渡越时间,该传感器用于井下油水两相流量测量。文中给出了相关流量测量用电导式传感器检测流体流动噪声的原理、传感器中敏感器的结构及设计原则,同时给出了传感器激励源及信号处理电路的设计原则,文中最后给出了电导传感器在多相流模拟井上的流量测量实验及分析。     

双向电流法测量溶液电导

测量溶液电导时，用一等幅双向恒定的电流脉冲连续地施加于电导池，然后对该电导池的电压求积分，测得该电压与时间曲线下的面积值，而该面积即是与溶液的电阻值成正比。它与电导池自身的等效串联电容Ｃｘ无关，实际上只要再提供相应的脉冲周期，它也同样地独立干溶液自身的等效并联电容Ｃｐ。