PZT微位移装置控制系统的设计

本文提出了以ＰＣ机作为锆钛酸铅压电陶瓷堆（ＰＺＴ）微位移装置控制系统主机的方案，从而高效，高速地控制ＰＺＴ微位移装置、使其能实现变速，线性微位移的功能。     

一种微小角位移测试系统

本文利用几何光学原理设计了一种利用ＣＣＤ测量微小角位移的装置可监控、测量秒级角位移。     

基于多普勒效应的激光微位移测量系统

介绍了一种可进行动态微位移测量的激光微位移测量系统。该系统以多普勒效应为理论基础，以He-Ne激光器为光源，配置了判向变频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图像处理软件包等，较传统测量方法其精度、误差、灵敏度及稳定度都有较大提高，并实现了微位移的全自动测量。     

模板匹配算法在高精度压电微位移测量中的应用

提出了一种压电微位移器的微位移测量方法,即通过模板匹配算法测量Twyman-Green干涉系统中对应干涉条纹的移动量,进而实现对应位移量的高精度测量.为确保测量结果的可靠性,同时利用匹配模板的归一化转动惯量特征对测量结果进行实时验证.应用该测量方法对自制的压电微位移器的电压位移特性曲线进行了实测,并详细分析了模板大小的选取对于测量结果的影响,实验中的归一化转动惯量相对误差均小于5%,且模板匹配互相关系数大于0.97;同时运用一高精度纳米微位移平台对测量方法的可行性进行了实验验证,测量精度达到了λ/50.实验结果表明,运用本方法测量压电微位移,具有较好的噪声抑制能力和可靠性,可实现纳米量级的测量精度.     

微机械测量子系统

本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ,它就可应用于机器人系统中。     

微区电化学测量技术在金属电偶腐蚀中的应用

微区电化学测量技术可在微米级甚至亚微米级尺度对金属电偶腐蚀进行原位检测,为深入研究金属电偶腐蚀提供了新途径。介绍了金属电偶腐蚀的基本原理及其主要影响因素,综述了丝束电极技术(WBE)、局部电化学阻抗谱技术(LEIS)、扫描振动电极技术(SVET)、扫描电化学显微技术(SECM)、扫描开尔文探针技术(SKP)等常用的微区电化学测量技术的优缺点及应用现状,最后对其未来发展进行了展望。     

光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统.该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm.信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰.实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-Ⅱ所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性.并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化.     

改善PZT微位移器线性的一种方法

根据锆钛酸铅压电陶瓷的逆压电效应。设计了以８０３１单片机为核心的压电陶瓷堆微位移器提高了ＰＺＴ的线性，从而满足了在天文自适应系统中所要求的精确微位的应用。     

电感测试法在位移测量中的应用

介绍一种实用的小型制冷压缩机气阀运动规律电感测试方法的基本工作原理，电感式位移传感器的制作以及测试电路的组成，最后给出了测试结果。     

微流量测量与控制系统

本文在一些成功的微流体器件的设计加工基础上，提出了一种计算机控制的微流量测量与控制系统。对各个微机械器件做了介绍，并分析了系统的可行性。     

PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究

采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜／金属内电极共烧技术,制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器．该器件具有体积小、工作电压低、位移量大（38V,1.05μm）的特点．本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性,从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究．     

微惯性测量组合的计算机测试系统

介绍了一个微惯性测量组合(MIMU)的计算机测试系统,对该系统的结构,硬件组成、软件设计进行了描述,重点介绍了系统软件设计中的关键技术：RS232通讯测试技术、VC和Labwindows／CVI的混合编程技术、多线程技术、VC和Matlab的混合编程技术。该系统具有良好的通用性和可扩展性,基于高性能CPU和(CPLD、FPGA等技术的微惯性测量组合的测试过程可以大大提高工作效率,缩短研发周期。     

计算机图像检测在干涉测量中的应用

介绍了利用ＣＣＤ固体摄像传感器和奔腾微机测量干涉条纹的方法,介绍了干涉条纹数字图像检测的原理和软件设计思想。根据此原理,提出了一种微小位移的高精度测量方法,测量精度可达到λ／１００的数量级以上。     

微位移视觉测量系统光学结构参数设计方法研究

在激光三角法原理的微位移视觉测量系统中，根据成像公式和原则提出了一种基于Visual C＋＋ 6．0的计算机辅助公式设计法，可以对光学系统结构进行简便、快速和精确计算。该方法不仅可以迅速得到光学系统相关结构参数，还可以应用于光学成像系统光学参数的设计和优化，使整个测量系统的设计和完善更加快速有效。     

微位移高精度测量控制设计

微机械研究是近年来世界各国科技界研究的一大热点，其中的微测量、控制成为微机技术群的一个重要课题。本文介绍一个为配合压电型微驱动器的研制而设计的高精度的微位移测量、控制系统，它由显微镜ＣＣＤ视觉系统、Ｄ／Ａ及精密直流电压放大电路等环节组成，控制精度达到了０．７μ     

微纳米尺寸测量技术

随着精密和超精密加工技术的迅速发展,亚微米和纳米级的测量方法不断出现,本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。     

用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量...     

一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器

本文在已有的研究成果基础之上，介绍了一种小型相位光栅干涉式(Phase Grating Interference)微位移传感器，该传感器具有大量程、高分辨力的特点。