微细特种加工的最新研究进展

综述了国内外微细特种加工研究的最新进展，介绍了微细特种加工领域出现的新技术、新方法。指出了微细特种加工在微细加工中的优势，展望了微细特种加工的发展方向及其在微小零件制造中的应用前景。     

纳米技术与特种加工

对纳米技术与特种加工进行了简要的分析和讨论，内容包括：微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削、基于扫描探针技术的纳米加工等。     

微细轴的电加工技术

针对微细轴的加工问题，分析了当前普遍使用的特种加工方法。分别对线电极磨削、块电极反拷、单脉冲放电、电火花沉积、电解加工和电化学沉积等加工方法在微细轴加工方面的特点进行了归纳，并给出了具有代表性的加工实例。     

微细电火花加工技术及其应用

介绍了微细电火花加工技术的原理、特点及最新研究成果，简述了微细电火花加工技术的应用及发展趋势。     

微细电解加工机理探讨

介绍了微细电解加工技术的原理和特点，通过对其加工工艺的分析，简述了在微细电解加工过程中，影响其加工速度、精度、效率的主要因素，并通过对这些因素的综合分析，总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本条件。最后，针对微细电解加工技术的现状，对其发展提出了新的展望。     

微细电化学加工研究新进展

结合国内外微细电化学加工技术的最新进展，系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点，例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜(electmchemical STM)的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等。微细电化学在未来的微纳加工中必将大有作为。     

制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究

提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工；设计微细加工工艺系统，进行一系列微细加工基础工艺试验，验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性．展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势，研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。     

磨料喷射微细加工应用基础研究--喷嘴设计及加工试验

磨料喷射微细加工是利用高压气体为介质加速磨料对工件形式冲击、冲蚀作用而去除材料的一种特种加工方法，适用于零件微细结构的加工和零件的表现处理。本文主要分析了磨料喷射加工的原理，设计了一套原理性试验装置，通过实验观察分析了磨料喷射加工过程，分析了其加工特性，提出了改进方案。     

微细电火花加工实现条件的研究

介绍了微细电火花加工的原理和特点,从加工表面质量、脉冲电源、微细工具电极的制造和安装、放电面积效应的影响、伺服控制系统等方面对微细电火花加工的实现条件进行了研究,并给出了微细轴的电火花加工等具体加工实例.研究结果对微细电火花加工技术的具体应用具有重要的参考价值和指导意义.     

微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究

提出一种微细冲压加工和微细电火花加工交叉结合的微细阵列型孔复合加工方法。尺寸较大的过渡型腔采用微细冲压加工，以提高加工效率和保证加工尺寸的一致性；型孔喷口的最小特征尺寸采用微细电火花逐层扫描加工得到。设计制作了专用的微小型腔冲压实验装置，从机构设计上保证加工工艺对微小型腔冲压深度的精确控制。进行了非圆截面阵列微细型孔的加工实验，验证了所提出的工艺方法的可行性和合理性。     

微小整体构件加工技术的现状和发展

介绍了微小整体构件制造技术的现状,对数控切削、特种加工、精密铸造等加工工艺方法做出了相应比较.重点论述了以数控电解、数控电火花为加工代表的特种加工技术对微小整体构件的加工,以此为基础,阐明了组合/复合加工技术有望在未来制造中发挥更重要的作用.最后对微小整体构件的发展趋势及应用前景进行了展望.     

微细超声加工技术的发展现状与评析

对国内外微细超声加工技术的发展进行了系统的综述，重点介绍了机床结构与工具制备、加工模式和基础研究等几个方面的现状，并对其中的一些关键问题进行了分析。     

超声加工技术的现状及其发展趋势

结合近年来超声加工技术的发展状况,综述了超声加工在深小孔、难加工材料、超声复合加工和微细超声加工等方面的现状,并描述了超声加工技术的发展前景.     

电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究

针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法.此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1 mm以上),然后用加工的薄平板(中间电极)作电极,电火花摇动加工微细阵列轴(电极),最后用此微细阵列电极加工阵列孔.进行了电火花摇动加工微细阵列电极试验,得到了单电极直径为50 μm、长径比为16的3×3阵列电极,并用此电极在70 μm厚的不锈钢板上加工出单孔直径为70 μm的3×3微细阵列孔.试验结果表明,电火花摇动加工方法可实现微细阵列轴和孔的加工.     

国际特种加工研究趋势——第17届国际电加工会议综述

对第17届国际电加工会议论文进行了综述．介绍了近年来国内外特种加工领域的最新研究进展。主要内容包括电火花加工（EDM）、线切割加工（WEDM）、电化学加工（ECM）、超声加工（USM）、微细加工、激光加工（LBM）及相关复合加工工艺的研究成果。     

High surface quality micro machining of monocrystalline diamond by picosecond pulsed laser

In micro machining of monocrystalline diamond by pulsed laser, unique processing characteristics appeared only under a few ten picosecond pulse duration and a certain overlap rate of laser shot. Cracks mostly propagate in parallel direction to top surface of workpiece, although the laser beam axis is perpendicular to the surface. This processed area can keep diamond structure, and its surface roughness is smaller than R_a = 0.2 μm. New laser micro machining method to keep diamond structure and small surface roughness is proposed. This method can contribute to reduce the polishing process in micro machining of diamond.     

冷等离子体射流中微细电火花加工特性研究

采用晶体管脉冲电源,在氧气辅助氮气等离子体射流、氮氧混合等离子体射流及外部压缩空气辅助氮气等离子体射流等不同冷等离子体介质中进行了微细电火花加工特性的实验研究,以期确定加工过程稳定的工艺条件,达到提高加工效率和加工质量的目的。在氧气辅助氮气等离子体射流实验中发现,随着氧气流量的增加,材料去除速度和表面粗糙度值均有增大趋势;采用压缩空气辅助氮气等离子体射流的电火花加工在表面质量、边缘质量方面均优于氧气辅助氮气等离子体射流加工。     

微细电火花加工技术在组合加工中的应用

概述并分析了微细电火花加工技术的发展现状及遇到的问题.介绍了微细电火花加工技术与其他微细加工技术相互组合,完成微小零件制造的各种工艺方法.