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４０３激光诱导等离子体的粒子空间分布安承武，宋文栋（华中理工大学激光技术国家重点实验室，武汉４３００７４）Ｍ．Ｍｅｒｔｉｎ，Ｅ．Ｗ．Ｋｒｅｕｔｚ（ＬｅｈｒｓｔｕｈｌｆｕｅｒＬａｓｅｒｔｅｃｈｎｉｋ，ＲＷＴＨＡａｃｈｅｎ，Ｄ－５２０７４ Ａａｃｂｅｎ）... 相似文献
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６２０《圆形零件激光打标的质量研究》叶和清，李又生（华中理工大学激光所４３００７４）七、激光生物医学研究620《圆形零件激光打标的质量研究》@叶和清，李又生$华中理工大学激光所... 相似文献
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脉冲激光烧蚀（ＰＬＡ）技术是目前材料界和分析界最重要、最有发展前景的技术之一。本文对国内外脉冲激光烧蚀的气体动力学理论研究成果进行了系统论述。 相似文献
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之己 《大气与环境光学学报》1996,(1)
肿瘤的激光热疗激光的医疗应用依靠四种基本的激光与生物组织的相互作用。光化学反应作用应用于光动力学治疗（ＰＤＴ）；机械作用则为激光碎石术的基础；激光的烧蚀作用说明了用短脉宽准分子激光的组织切割过程；而光热反应则是激光应用于肿瘤学的非光动力学治疗的基础，... 相似文献
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《激光与光电子学进展》2001,(1):15-16
目前这是激光技术的一个新领域。激光烧蚀加工各种材料(金属、半导体、聚合物)的表面,用飞秒脉冲在这些表面形成微结构的质量,要比用长脉冲加工高得多。在这次研讨会上,有关用短脉冲(纳秒范围)和超短脉冲(皮秒和飞秒范围)来进行激光烧蚀的报告大体上可分下面几个：
* 用钕激光脉冲和准分子激光脉冲烧蚀金属和其他材料(石墨、蓝宝石)时机理的实验和数值研究; 相似文献
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孙再吉 《固体电子学研究与进展》1998,(1)
据日本《电子技术》1996年第8期报道，日本富士通公司为了1GbitDRAM的规模生产需要，开发了ArF准分子激光曝光技术，成功地形成了用于4GbitDRAM的0．13μm尺寸的图形。ArF准分子激光（波长193nm）因比原i线光学光刻（波长365nm）的波长短，所以必须同时开发新的光刻材料。该公司开发了环氧树脂类的单层胶（2MAdMA—MLMA）和超高分辨率技术。并结合移相掩模技术实现了最小线宽为0．12μm的图形。采用该技术适用于4GbitDRAM0．13μm尺寸的存储单元，单元尺寸为0．59μ×0．34μm，单元面积为0．20μm2。4Gbit DRAM用的ArF准分子… 相似文献
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高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性,因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性,并且不需要后续处理。紫外激光器直接输出需要的上转换能级的紫外（UV）光子很容易达到几百瓦的功率输出,这对于制造加工的高生产力和大规模生产是很关键的。特别是大平项准分子激光的外形非常适合于两维和三维微加工的高效并行加工。还将介绍特别适合于材料烧蚀和表面活化的紧凑微加工概念。 相似文献
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准分子激光器以其高精度和低热效应广泛用于各种材料的加工中，现已成为半导体芯片、微电子器件以及医疗设备制造商十分青睐的加工设备。当加工聚合物和陶瓷工件时，准分子紫外波长（157nm．193nm，248nm，266nm和355nm）进入靶材料时有很高的吸收率并会产生非常好的烧蚀结果。另外，通过简单地改变光学系统或气体即可将单个准分子激光器调谐至几个紫外波长，使其成为多用途加工设备。 相似文献