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应用PCVD技术,以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了实验.结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性. 相似文献
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钛合金表面反应电火花沉积Ti(CN)涂层研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用自行研制的反应电火花沉积系统,以石墨为电极,以工业氮气为保护气,在TCA钛合金基体上原位反应合成了Ti(CN)金属基陶瓷复合涂层.利用SEM分析了涂层单沉积点表面形貌和组织结构,利用X射线仪测定了涂层的物相组成,利用XPS分析了涂层表面元素组成,利用SEM和AES分析了涂层断面形貌、结合状态和元素组成;结果表明,涂层表面单沉积点形貌呈不规则的"溅射状",涂层主要由呈球块状晶和枝晶的TiC0.51N0.12相、Ti080V0.20 相和C相组成且晶块平均尺寸为626nm,涂层与基体的结合致密,呈冶金结合. 相似文献
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利用波长为10.6mm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。结果表明,当激光功率为600W,扫描速度为2mm/s,通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV。 相似文献
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利用波长为10.6 μm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜.采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构.实验表明,当激光功率为600W,扫描速度为2 mm/s时,通过H2、N2和TiC14之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV. 相似文献
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利用波长为10.6mm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。结果表明,当激光功率为600W,扫描速度为2mlrffs。通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV。 相似文献
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用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AIN薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,以AlCl3作铝源在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜,探讨了不同沉积时间和温度对薄膜硬度的影响,并对AlN薄膜的耐蚀性进行了研究。试验结果表明,经500~550℃沉积4h,可以在不锈钢表面得到组织致密的AlN薄膜,其显微硬度最高可达1750HV0.025,在HCl溶液中的耐蚀性超过未镀膜的1Cr18Ni9不锈钢。 相似文献
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PAN Ying-jun CHEN Shu-hua WU Xin-jie LI Ping-sheng ZHANG Xi-ju Department of Material Metallurgy Wuhan University of Science Technology Wuhan China 《材料热处理学报》2004,25(5)
THE PLASMA-assisted chemical vapor deposition(PCVD)technique is industrially important because itis the coating process available at low temperature(<600°C)like PVD,favorable for mass-production andsuitable for complex-shaped tools due to its goodstep-coverage characteristics"'21.Therefore,TiN-basedfilms have been extensively prepared by PCVD for thepurpose of increasing the service life of cutting tools,forming tools and die molds.HC1,by-product of the common usedTiCl4-H2-N2-Ar ga… 相似文献
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脉冲直流PCVD制备Ti(C,N)薄膜及其组织结构分析 总被引:3,自引:0,他引:3
用工业型脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)设备,针对不同混合气体CH4所占比例,在H13模具钢表面沉积了Ti(C,N)薄膜。用SEM观察薄膜断口形貌,用XRD及XPS分析薄膜相组成和价态。结果表明:一定量碳元素的加入,抑制了TiN薄膜中柱状晶的生长,并且阻止了TiN晶粒的长大。Ti(C,N)的相结构可能为TiN和TiC两相混合,但在C(或N)含量较低的膜层中,c(或N)原子也会以置换的方式存在于TiN(或TiC)单相组织中。 相似文献
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采用粉末真空脱氧处理、SPS烧结、合金固溶处理制备Ti(CN)基金属陶瓷.用XRD、SEM等分析烧结体的物相、显微组织、断口形貌.结果表明:通过对原料粉末在800℃下进行2 h真空脱氧处理可降低金属陶瓷的孔隙率和增加WC固溶,使抗弯强度从482 MPa提高到655 MPa.在1250℃对SPS烧结后的金属陶瓷进行45 min真空固溶处理,其抗弯强度提高到1250 MPa,但是如果温度继续升高至1300℃,由于包覆相的厚度增加,抗弯强度降低.分析发现:高的抗弯强度主要源于环形相的形成和孔隙率的进一步降低. 相似文献
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Electric-spark deposition (ESD) was adopted for depositing a Ti(CN)-based ceramic coating on the TC4 titanium alloy substrate using a laboratory-developed electric-spark deposition system, a nitrogen-sealed atmosphere and graphite electrode. The surface morphology, microstructure, interfacial behavior between the coatings and substrate, phase and element composition of the coatings were investigated by scanning electron microscope(SEM), X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES). Microhardness profile was measured with a Vickers microhardness tester. The results show that metallurgical bond between the coating and substrate is realized and the phase of coatings are made up of Ti(CN ) spherocrystal and dendritic crystal, TiV and C. Ti(CN) ceramic particles, which is in-situ synthesized by the reaction among titanium from the substrate, carbon from the graphite electrode and nitrogen from the shielding nitrogen gas, is about 600nm and distributes dispersively among the coatings. Microhardness profile falls off with the coatings thickness increasing and the highest microhardness values of the superficial coating could be up to 1496HV, which is six times more than that of the substrate. 相似文献
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碳含量对Ti(CN)基金属陶瓷力学性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了Ti(CN)基金属陶瓷的碳含量对其物理力学性能的影响。结果表明 ,在一定范围内 ,随着碳含量的减少 ,Ti(CN)基金属陶瓷的矫顽磁力、钴磁和硬度降低 ;而抗弯强度则明显增高。 相似文献
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LIU Changqing JIN Zhujing WU Weitao DAI Shaoxia LI Meishuan SHI Changxu Institute of Corrosion Protection of Metals Academia Sinica Shenyang China LIU Changqing Institute of Corrosion Protection of Metals Academia Sinica Shenyang China 《金属学报(英文版)》1990,3(10):246-251
Using free bending method,the residual stress of the Ti(CN)coating on alloy Nb-752 wasmeasured to be 2-3 GPa of which the thermal stress cmounts to 10—20%.An analysis oncoating/substrate interface stress state shows that the share stress at it is about O.1—0.2GPa.The demage mode of the coating under external loading was proposed in terms of theamount and the direction of loading. 相似文献